到10納米工藝，半導(dǎo)體特殊氣體純度比其他材料高1000倍以上

　　在新一輪半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展周期中，芯片制造得到了前所未有的重視程度。毫無疑問，這是一個(gè)正確的決策，但材料與設(shè)備等芯片制造上游，同樣需要重視。尤其是材料方面，無論是硅片還是晶圓制造所需的各種化學(xué)材料，國(guó)內(nèi)起步都比較晚，市場(chǎng)基本控制在國(guó)外廠商手里，國(guó)內(nèi)制造商的議價(jià)能力不高，每逢上游漲價(jià)，就面臨利潤(rùn)被侵蝕的風(fēng)險(xiǎn)。

　　根據(jù)SEMI的數(shù)據(jù)，全球電子氣體市場(chǎng)規(guī)模2014年已達(dá)35億美元，其中特殊氣體約占65%。博純材料董事會(huì)主席兼首席執(zhí)行官陳國(guó)富表示，半導(dǎo)體行業(yè)使用的高純電子特氣幾乎全部依賴進(jìn)口。造成這一狀況的外因是國(guó)外公司不愿意向國(guó)內(nèi)轉(zhuǎn)移合成氣體技術(shù)，也無意在中國(guó)設(shè)廠;內(nèi)因是本土氣體公司小作坊式生產(chǎn)狀況普遍，很難達(dá)到晶圓制造的要求。

　　電子氣體市場(chǎng)狀況

　　“半導(dǎo)體氣體生產(chǎn)的瓶頸很多，從原材料純度開始，到工藝、集成方法，以及封裝過程中對(duì)于雜質(zhì)的控制，都會(huì)影響到整個(gè)產(chǎn)品的質(zhì)量。”博純材料產(chǎn)品經(jīng)理施宏偉表示。目前，博純材料能生產(chǎn)鍺烷、砷烷、乙硼烷等技術(shù)含量最高的關(guān)鍵氣體，并已成功通過臺(tái)積電、東芝等多家電子氣體最終用戶測(cè)試和現(xiàn)場(chǎng)管理稽查，成為直接服務(wù)國(guó)外最終客戶的中國(guó)電子氣體品牌。這次與英特格(Entegris)合作，代工英特格在芯片制造工藝中的壟斷性專利產(chǎn)品(SDS)，將進(jìn)一步加強(qiáng)博純材料在半導(dǎo)體供應(yīng)鏈中的地位。

　　“走到10納米節(jié)點(diǎn)，從顆粒和雜質(zhì)來說，半導(dǎo)體特殊氣體比其他任何專業(yè)都高1000倍以上。”英特格企業(yè)市場(chǎng)副總裁楊文革說道，“特殊氣體所需要的純度，相當(dāng)于5000升水里面，不能有1滴水的雜質(zhì)。半導(dǎo)體特殊氣體的安全性的問題更重要，只要百萬分之三的濃度，就可以殺人，一瓶氣體，就可以把整個(gè)廈門市人口消滅。”

　　那么，這樣高危險(xiǎn)、高純度的氣體該如何存儲(chǔ)運(yùn)輸呢?傳統(tǒng)方法是采用高壓鋼瓶，但高壓鋼瓶存在泄露風(fēng)險(xiǎn)，一旦出現(xiàn)泄露，砷烷、磷烷等高毒性氣體將將會(huì)造成極大的危害。

　　英特格SDS(Safe Delivery Source，安全原料運(yùn)輸)解決方案采用了負(fù)壓存儲(chǔ)，氣瓶壓力低于一個(gè)大氣壓或小于室壓，從根本上消除了高危氣體泄露的可能性。據(jù)楊文革介紹，SDS鋼瓶?jī)?nèi)部放置碳基吸附劑，將特殊氣體全部吸附，使用時(shí)采用真空泵抽取。所以即使瓶口打開，危險(xiǎn)性氣體也不會(huì)釋放出來。

　　“全球只有一條生產(chǎn)線生產(chǎn)SDS鋼瓶，供應(yīng)Entegris在美國(guó)、韓國(guó)與中國(guó)的三個(gè)工廠。”楊文革指出，全球半導(dǎo)體離子注入氣體市場(chǎng)80%以上由SDS方式存儲(chǔ)運(yùn)輸。

　　通過與博純材料合作，英特格成為全球首家在中國(guó)本地化生產(chǎn)特殊氣體產(chǎn)品的國(guó)際材料公司，英特格將繼續(xù)加強(qiáng)中國(guó)業(yè)務(wù)，為中國(guó)日益增長(zhǎng)的半導(dǎo)體市場(chǎng)提供支持。

　　在雙方合資新化學(xué)工廠的開幕式上，英特格首席運(yùn)營(yíng)官 Todd Edlund 也表示：“此次合作是我們持續(xù)計(jì)劃的一部分，通過本地化生產(chǎn)和技術(shù)支持更好地服務(wù)于中國(guó)客戶，滿足他們對(duì)于制造和工藝開發(fā)的需求”。“我們與博純材料合作，為我們的特殊化學(xué)品在中國(guó)生產(chǎn)建造出了世界一流的工廠。”