MEMS

MEMS是微機電系統(tǒng)的縮寫。MEMS主要包括微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應的處理電路等幾部分，它是在融合多種微細加工技術，并應用現(xiàn)代信息技術的最新成果的基礎上發(fā)展起來的高科技前沿學科。 MEMS技術的發(fā)展...... [查看詳細]