EDWARDS發(fā)布IXL120 面向真空半導體工藝應用

　　全球領(lǐng)先的真空設(shè)備供應商Edwards近日發(fā)布iXL120設(shè)備，拓展了其面向半導體制造工藝的干泵設(shè)備產(chǎn)品。iXL120具有專為負載時鐘和其他清洗應用的設(shè)計，在同等產(chǎn)品中可達到最快速的抽取速度，同時還具有低能耗、高吞吐量的特點，降低擁有者成本。