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EUV面臨的問題和權衡
- 新的光刻工具將在5nm需要,但薄膜,阻抗和正常運行時間仍然存在問題。 Momentum正在應用于極紫外(EUV)光刻技術,但這個談及很久的技術可以用于批量生產(chǎn)之前,仍然有一些主要的挑戰(zhàn)要解決。 EUV光刻技術 - 即將在芯片上繪制微小特征的下一代技術 – 原來是預計在2012年左右投產(chǎn)。但是幾年過去了,EUV已經(jīng)遇到了一些延遲,將技術從一個節(jié)點推向下一個階段。 如今,GlobalFoundries,英特爾,三星和臺積電相互競爭,將EUV光刻插入到7nm和/或5nm的大容量
- 關鍵字: EUV
張忠謀:臺積電南京廠明年下半量產(chǎn)
- 臺積電(2330)南京廠今日上午正式舉行進機典禮,由董事長張忠謀親自主持,大陸中央及地方貴賓云集,顯示對臺積電南京投資案重視。 海思及聯(lián)發(fā)科將是首批客戶 張忠謀表示,大陸集成電路在中國制造,臺積電可助一臂之力。 南京廠預計2018年下半年量產(chǎn),陸媒預估中國海思及聯(lián)發(fā)科(2454)將是首批客戶。 工程師已陸續(xù)由臺灣進駐 今年上半年臺積電工程師已經(jīng)陸續(xù)由臺灣進駐南京廠協(xié)助建廠事宜,8月16奈米大型機臺陸續(xù)透過華航包機,由臺灣運往南京祿口機場,而南京市政府為了迎接重量級貴賓,加快浦口
- 關鍵字: 臺積電 EUV
KLA-Tencor宣布推出針對光學和EUV 空白光罩的全新FlashScanTM產(chǎn)品線
- 今天,KLA-Tencor公司宣布推出全新的FlashScanTM空白光罩*檢測產(chǎn)品線。自從1978年公司推出第一臺檢測系統(tǒng)以來,KLA-Tencor一直是圖案光罩檢測的主要供應商,新的FlashScan產(chǎn)品線宣告公司進入專用空白光罩的檢驗市場。光罩坯件制造商需要針對空白光罩的檢測系統(tǒng),用于工藝開發(fā)和批量生產(chǎn)過程中的缺陷檢測,此外,光罩制造商(“光罩廠”)為了進行光罩原料檢測,設備監(jiān)控和進程控制也需要購買該檢測系統(tǒng)。 FlashScan系統(tǒng)可以檢查針對光學或極紫外(EUV)光刻的空白光罩。
- 關鍵字: KLA-Tencor EUV
三星領先臺積電引入7納米EUV技術,今年代工市場欲超車聯(lián)電
- 據(jù)日經(jīng)中文網(wǎng)報道,7月11日,韓國三星電子在首爾舉行的說明會上,向客戶等各方介紹了半導體代工業(yè)務的技術戰(zhàn)略。新一代7納米半導體將采用最尖端的制造技術,從2018年開始量產(chǎn)。此次說明會上,三星展示了發(fā)展藍圖,記載了決定性能好壞的電路線寬的微細化進程。三星表示,采用“極紫外光刻(EUV光刻)”新技術的7納米產(chǎn)品計劃從2018年開始接單,5納米產(chǎn)品和4納米產(chǎn)品分別將從2019年和2020年開始接單。EUV能大幅提高電路形成工序的效率,7納米以下的產(chǎn)品曾被認為難以實現(xiàn)商用化,而EUV是
- 關鍵字: 三星 EUV
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