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ASML:我們有五個(gè)EUV光刻機(jī)客戶

發(fā)布人:傳感器技術(shù) 時(shí)間:2023-05-12 來源:工程師 發(fā)布文章

韓國(guó)三星電子公司是總部位于荷蘭的 ASML Holding NV 的“苛刻客戶”,因?yàn)樗谠黾雍商m公司的極紫外 (EUV) 光刻系統(tǒng)的訂單,ASML 的高級(jí)執(zhí)行官表示。


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這家全球第一大內(nèi)存芯片制造商是該公司 EUV 光刻機(jī)的五個(gè)客戶之一,EUV 掃描儀是制造更小、更密集的半導(dǎo)體芯片的關(guān)鍵。ASML 是全球唯一的 EUV 光刻系統(tǒng)制造商。


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“三星是一個(gè)要求很高的客戶,我們感謝他們的反饋,因?yàn)樗麄冏屛覀兂蔀橐患腋玫墓?,”ASML 的首席財(cái)務(wù)官 Roger Dassen 在最近的一次采訪中告訴韓國(guó)經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)。


盡管利率上升、通貨膨脹和經(jīng)濟(jì)不景氣,但 ASML 今年開局良好,積壓訂單達(dá) 404 億歐元(430 億美元)。


今年,它計(jì)劃出貨約 60 個(gè) EUV 系統(tǒng)。此前,它每年生產(chǎn)約 40 臺(tái)。生產(chǎn)一臺(tái) EUV 掃描儀大約需要兩年時(shí)間,而每臺(tái)設(shè)備的成本為 1.5 億至 2 億美元。


EUV 掃描儀可以在半導(dǎo)體晶圓上繪制出最精細(xì)、最詳細(xì)的圖案。光刻機(jī)還通過減少創(chuàng)建精細(xì)電路所需的光刻工藝數(shù)量來簡(jiǎn)化芯片制造工藝。


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ASML 正在華城建設(shè)維修和再利用開發(fā)中心,以及一個(gè)大型培訓(xùn)中心,韓國(guó),以更好地服務(wù)三星和SK海力士公司——全球最大的兩家存儲(chǔ)芯片制造商。


這些設(shè)施將成為其韓國(guó)運(yùn)營(yíng)商的總部。三星電子在該市經(jīng)營(yíng)半導(dǎo)體工廠。


當(dāng)被問及將該工廠擴(kuò)展為制造基地的任何可能性時(shí),Dassen說:“目前,我們沒有在韓國(guó)制造光刻系統(tǒng)的具體計(jì)劃?!?/p>


以下是與羅杰·達(dá)森 (Roger Dassen) 的問答經(jīng)過編輯的文字記錄:



Q

您預(yù)計(jì) EUV 系統(tǒng)的競(jìng)爭(zhēng)會(huì)持續(xù)多久?

A

“我們有五個(gè) EUV 系統(tǒng)客戶......由于需求強(qiáng)勁,我們正在提高 EUV 系統(tǒng)的產(chǎn)能。”


“正如我們?cè)诮衲?1 月的 2022 財(cái)年第四季度財(cái)務(wù)業(yè)績(jī)演示中宣布的那樣,我們計(jì)劃在 2023 年出貨約 60 個(gè) EUV 系統(tǒng)(以及約 375 個(gè) DUV 系統(tǒng))。”


“在去年 11 月的投資者日期間,我們確認(rèn)了到 2025-2026 年 600 個(gè) DUV(深紫外)、90 個(gè) EUV 系統(tǒng)和到 2027-2028 年 20 個(gè) EUV 高 NA 系統(tǒng)的產(chǎn)能計(jì)劃。


“因此,我們正在大幅擴(kuò)大產(chǎn)能以滿足需求。”

Q

半導(dǎo)體制造設(shè)備市場(chǎng)的潛在威脅是什么?

A

“展望 2023 年,由于對(duì)通脹、利率上升、經(jīng)濟(jì)衰退和地緣政治環(huán)境(包括出口管制)的一系列全球宏觀擔(dān)憂,市場(chǎng)仍存在很多不確定性?!?/span>


“客戶仍然看到消費(fèi)者驅(qū)動(dòng)的終端市場(chǎng)需求疲軟,最顯著的是 PC 和智能手機(jī),數(shù)據(jù)中心需求的一些跡象顯示疲軟或增長(zhǎng)率下降,而汽車和工業(yè)等其他終端市場(chǎng)的需求依然強(qiáng)勁?!?/span>


“但總的來說,對(duì)我們系統(tǒng)的需求仍然強(qiáng)勁。今年,需求仍然超過我們的產(chǎn)能,我們以 404 億歐元的積壓進(jìn)入了這一年,因此我們的重點(diǎn)仍將放在最大化系統(tǒng)輸出上?!?/span>


“我們已經(jīng)經(jīng)歷了幾個(gè)季度非常強(qiáng)勁的預(yù)訂,現(xiàn)在積壓覆蓋范圍大大超過 2023 年,這幾乎是 2023 年預(yù)期系統(tǒng)銷售額的兩倍?!?/span>

Q

計(jì)劃于 2024 年推出的高 NA(數(shù)值孔徑)EUV 系統(tǒng)的開發(fā)有何進(jìn)展?

A

“我們所有的 EUV 客戶都為 High-NA 下了訂單。我們正在與所有客戶密切合作,支持他們將新技術(shù)引入他們的晶圓廠。”

Q

在韓國(guó)完成維修和再利用開發(fā)中心后,是否計(jì)劃在韓國(guó)建立制造工廠?

A

“目前,我們沒有在韓國(guó)制造光刻系統(tǒng)的具體計(jì)劃。”


來源:瘋狂機(jī)械控


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