獨(dú)擁四大連續(xù)制程設(shè)備 TEL成EUV出貨大贏家

國(guó)際設(shè)備大廠東京威力科創(chuàng)（TEL）為全球唯一擁有沉積、涂布／顯影、蝕刻、清洗四大連續(xù)制程設(shè)備之公司，是晶圓片進(jìn)入EUV曝光前重要步驟。TEL宮城總裁神原弘光指出，隨著芯片設(shè)計(jì)演進(jìn)，蝕刻技術(shù)不斷朝著3D化方向演進(jìn)，垂直堆棧發(fā)展、更有效利用空間，然而堆棧層數(shù)的增加，在成膜次數(shù)跟蝕刻時(shí)間、次數(shù)也會(huì)隨之增加，所需的機(jī)臺(tái)數(shù)量同步成長(zhǎng)。

EUV大廠擁有近乎100％市占率，TEL在涂布／顯影與之緊密配合，同樣近乎獨(dú)占；換言之，只要EUV出貨，TEL亦將同步受惠。TEL更透露，早已在臺(tái)設(shè)置研發(fā)中心，近期更會(huì)擴(kuò)增潔凈室規(guī)模，與最先進(jìn)制程業(yè)者合作，意謂著TEL也將擁有全球最先進(jìn)設(shè)備。

TEL于東京股市掛牌，27日以3.48萬日?qǐng)A收市，市值達(dá)16.41兆日?qǐng)A（，今年股價(jià)大漲37％。中國(guó)臺(tái)灣設(shè)置研發(fā)中心先鋒，TEL自1996年中國(guó)臺(tái)灣設(shè)立據(jù)點(diǎn)之初，便將總部二樓作為研發(fā)實(shí)驗(yàn)室，近期為因應(yīng)中國(guó)臺(tái)灣半導(dǎo)體地位提升，TEL近期擬規(guī)劃將三樓新增潔凈室，擴(kuò)大規(guī)模、因應(yīng)客戶先進(jìn)制程腳步加快。東京威力科創(chuàng)為全球前五大設(shè)備業(yè)者之一，核心業(yè)務(wù)涵蓋四個(gè)連續(xù)制程。

與合作伙伴Litho（微影）機(jī)臺(tái)搭配，TEL涂布／顯影市占率近乎100％，也因?yàn)楹献骰锇?、客戶都是業(yè)界最先進(jìn)，強(qiáng)大的護(hù)城河，持續(xù)維持業(yè)界領(lǐng)先地位。TEL目前遍布19個(gè)國(guó)家、共計(jì)87個(gè)據(jù)點(diǎn)，其中，中國(guó)臺(tái)灣員工人數(shù)僅次于日本，足見中國(guó)臺(tái)灣半導(dǎo)體地位之重要性。

進(jìn)入埃米時(shí)代，晶圓代工廠更加仰賴設(shè)備精細(xì)度，TEL已經(jīng)做好準(zhǔn)備，公司進(jìn)一步分析，微縮下晶圓要求越來越嚴(yán)苛，更高端的制程，更加要求平坦化。據(jù)了解TEL最新推出的Grinder產(chǎn)品，不只是是為了確保晶圓的平坦化，也做到部分蝕刻平坦化及表面清潔，使設(shè)備可以針對(duì)平坦度及清潔進(jìn)行量測(cè)。

日本政府與八家企業(yè)合力扶植的晶圓代工廠Rapidus作為2奈米晶圓代工，將開啟日本制造時(shí)代，Rapidus社長(zhǎng)小池淳義指出，日本有優(yōu)秀的設(shè)備和材料廠商，但缺少重要芯片供應(yīng)，期許日本半導(dǎo)體同業(yè)齊心協(xié)力，制造出能夠?yàn)槿蜃龀鲐暙I(xiàn)的日本芯片。

TEL作為重要關(guān)鍵設(shè)備伙伴，將扮演關(guān)鍵要角、攜手重振日本半導(dǎo)體雄風(fēng)。