cmp 文章 進入cmp技術(shù)社區(qū)
利用神經(jīng)網(wǎng)絡進行 CMP 氧化物沉積表面輪廓建模
- 簡介化學機械拋光 (CMP) 是當今集成電路 (IC) 制造工藝中的關鍵作業(yè)。由于設計極其緊湊,并且 縮小到最先進的工藝技術(shù)節(jié)點,CMP 后的平面性變化可能會對制造成功產(chǎn)生重大影響。為了減輕 CMP 工藝的負面影響,大多數(shù) IC 制造商使用 CMP 建模來檢測前道工序 (FEOL) 和 后道工序 (BEOL) 層中的潛在弱點,作為其可制造性設計 (DFM) 流程的一部分。CMP 弱點分 析旨在尋找設計中經(jīng)過 CMP 后出現(xiàn)缺陷的概率高于平均值的區(qū)域。不同材料在 CMP 工藝 下會表現(xiàn)出不同的腐蝕速率,因此
- 關鍵字: 神經(jīng)網(wǎng)絡 CMP 輪廓建模
用于扇出型晶圓級封裝的銅電沉積
- 隨著集成電路設計師將更復雜的功能嵌入更狹小的空間,異構(gòu)集成包括器件的3D堆疊已成為混合與連接各種功能技術(shù)的一種更為實用且經(jīng)濟的方式。作為異構(gòu)集成平臺之一,高密度扇出型晶圓級封裝技術(shù)正獲得越來越多的認可。此種封裝解決方案的主要優(yōu)勢在于其封裝的基片更少,熱阻更低,電氣性能也更優(yōu)秀。這是一個體現(xiàn)“超越摩爾定律”的例子,即使用 “摩爾定律”以外的技術(shù)也能實現(xiàn)更高的集成度和經(jīng)濟效益。圖1. 2.5D封裝中的中介層結(jié)構(gòu)異構(gòu)集成技術(shù)高密度扇出型封裝技術(shù)滿足了移動手機封裝的外形尺寸與性能要求,因此獲得了技術(shù)界的廣泛關注。
- 關鍵字: RDL CMP
數(shù)據(jù)處理指令之: CMP比較指令
- 電子產(chǎn)品世界,為電子工程師提供全面的電子產(chǎn)品信息和行業(yè)解決方案,是電子工程師的技術(shù)中心和交流中心,是電子產(chǎn)品的市場中心,EEPW 20年的品牌歷史,是電子工程師的網(wǎng)絡家園
- 關鍵字: 數(shù)據(jù)處理指令 CMP 比較 微處理器 ARM
高介電常數(shù)柵電介質(zhì)/金屬柵極的FA CMP技術(shù)
- 高介電常數(shù)柵電介質(zhì)和金屬柵極技術(shù)(以下簡稱HKMG)使摩爾定律在45/32納米節(jié)點得以延續(xù)。目前的HKMG工藝有兩 ...
- 關鍵字: 高介電 常數(shù)柵 電介質(zhì)/金屬柵極 FA CMP
中國半導體CMP市場潛力無限
- 作為芯片制造不可或缺的一環(huán),CMP工藝在設備和材料領域歷來是“兵家必爭之地”。中國自2007年以來一直是最大的半導體消費國,但半導體產(chǎn)量卻不足國內(nèi)消耗量的10%。未來幾年,中國預計將投資數(shù)十億美元來彌合產(chǎn)量與消耗量之間的差距,主要是從二級設備市場獲取工具以提高生產(chǎn)能力。 Entrepix Asia董事總經(jīng)理TK Lee表示,“Entrepix已經(jīng)充分準備好支持中國的發(fā)展。通過Entrepix Asia,我們?yōu)橹袊鴰砹舜罅糠逻^的化學機械研磨和度量及相關設備、
- 關鍵字: 芯片制造 CMP
Schiltron與Entrepix合作利用CMP達成3-D閃存制造新架構(gòu)?
- 3-D Flash新創(chuàng)公司Schiltron Corporation與專門提供化學機械拋光設備及代工服務的領先供應商Entrepix合作發(fā)展使用現(xiàn)有的材料,工具和制程的方法制造3-D Flash,從而利用簡單直接的方式擴大產(chǎn)量。 Schiltron 3-D Flash制造方式的最關鍵工藝的步驟是化學機械設備(CMP)的達成。該公司的聯(lián)合開發(fā)的努力已制造迄今為止最小的矽基薄膜電晶體(Silicon-base thin-film transistors) 。 晶體管結(jié)構(gòu)和低溫度預算工藝步驟(low
- 關鍵字: Entrepix 晶體管 CMP 矽基薄膜電晶體
2009年中國國際半導體技術(shù)研討會成功在上海舉辦
- 由SEMI、ECS及中國高科技專家組共同舉辦的中國國際半導體技術(shù)研討會成功于3月19-20日在上海召開。諾貝爾物理學獎得主、IBM院士Georg Bednorz、Intel資深院士Robert Chau、IMEC CEO Gilbert Declerck、Praxair CTO Ray Roberge為大會作主題演講,為550名與會的國內(nèi)外半導體產(chǎn)業(yè)界人士介紹國際最前沿的納米技術(shù)、微電子技術(shù)的發(fā)展趨勢。本次研討會的成功召開為提升中國半導體產(chǎn)業(yè)的技術(shù)水平,將國際最先進的技術(shù)與理念引進中國起到了積極的推動
- 關鍵字: Intel 半導體 光刻 薄膜 CMP
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