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Schiltron與Entrepix合作利用CMP達(dá)成3-D閃存制造新架構(gòu)?

• 　　3-D Flash新創(chuàng)公司Schiltron Corporation與專門提供化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備及代工服務(wù)的領(lǐng)先供應(yīng)商Entrepix合作發(fā)展使用現(xiàn)有的材料，工具和制程的方法制造3-D Flash，從而利用簡單直接的方式擴(kuò)大產(chǎn)量。 Schiltron 3-D Flash制造方式的最關(guān)鍵工藝的步驟是化學(xué)機(jī)械設(shè)備(CMP)的達(dá)成。該公司的聯(lián)合開發(fā)的努力已制造迄今為止最小的矽基薄膜電晶體(Silicon-base thin-film transistors) 。 　　晶體管結(jié)構(gòu)和低溫度預(yù)算工藝步驟(low
• 關(guān)鍵字： Entrepix  晶體管  CMP  矽基薄膜電晶體