光刻儀公司延期交貨 臺積電制程研發(fā)恐受影響

　　據報道，臺積電的光刻儀供應商Mapper公司已經將300mm光刻設備交貨日延期近三個月之久。Mapper的多束e-beam光刻儀原計劃于今年第一 季度裝備臺積電300mm工廠，不過由于技術上的原因Mapper公司拖延了交貨日期，此舉可能對臺積電的制程研發(fā)進度造成一定的影響。

　　臺積電CEO蔡力行曾稱臺積電已在與合作伙伴聯合開發(fā)22nm及更高規(guī)格制程用多束e-beam光刻技術(multiple electron-beam (e-beam) maskless lithography equipment)，以便公司盡早實現向32nm制程的轉換。

　　2008年十月份，臺積電與Mapper公司簽署了一份供貨協議，根據這份協議，Mapper將為臺積電制造300mm多束e-beam光刻設備用于制程開發(fā)，并為該公司提供光刻原型機。