半導(dǎo)體業(yè) 重視EHS管理體系成趨勢

　　如果半導(dǎo)體、面板、印刷電路板等企業(yè)對環(huán)境保護、工業(yè)安全缺乏足夠重視，各家生產(chǎn)線所產(chǎn)生的廢棄物將對外圍自然環(huán)境造成難以挽回的負(fù)面影響，工業(yè)安全意外也將在自家廠房內(nèi)頻繁發(fā)生。這正是EHS(環(huán)境、健康、安全)管理體系日漸受到相關(guān)企業(yè)重視的主要原因。

　　創(chuàng)新打造綠色產(chǎn)業(yè)鏈

　　半導(dǎo)體制程極為繁復(fù)，多達數(shù)百道工序，每個步驟的制程設(shè)備若在設(shè)計時，便考慮到能源和原料節(jié)省，以及減少排放的廢料，將會比起產(chǎn)生出廢氣和廢水后再處理，更能提高環(huán)保效率。這也是為什么需要產(chǎn)業(yè)鏈上下游整體共同進行規(guī)劃，從生產(chǎn)兼顧環(huán)保，走向綠色制程，提高綠色競爭力。記者采訪中發(fā)現(xiàn)，作為國內(nèi)半導(dǎo)體制造業(yè)巨頭之一，中芯國際在打造綠色產(chǎn)業(yè)鏈方面做出了許多有益的嘗試，將環(huán)境保護和安全延伸到設(shè)備設(shè)計和制程規(guī)劃階段，同時對供應(yīng)鏈也設(shè)立同等環(huán)境質(zhì)量安全標(biāo)準(zhǔn)，比如北京廠B2FAB的整個建設(shè)都遵循LEED認(rèn)證過程。

　　中芯國際還一直致力于通過創(chuàng)新手段來促進節(jié)能環(huán)保及清潔生產(chǎn)。在半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)中，制冷機系統(tǒng)大多采用敞開式運行，產(chǎn)生了大量的余熱。而由于芯片生產(chǎn)中，又需要用到純水清洗，需要花費大量的蒸汽來加熱自來水。中芯國際自主研發(fā)了一套冰機熱回收系統(tǒng)，在冰機背后設(shè)置了一塊類似于擋熱板的裝置，而這塊“板”不但能擋住余熱的流出，還能吸收余熱，用來加熱自來水。這套裝置能將自來水從10℃加熱到22℃，每年可節(jié)省市政蒸汽2.32萬噸，折合標(biāo)煤1994噸。該技術(shù)已經(jīng)獲得國家專利。

　　中芯國際十分重視生產(chǎn)工業(yè)安全，公司ESH部門制定并實施了“SMIC環(huán)境保護暨安全衛(wèi)生政策”，強調(diào)“預(yù)防環(huán)境污染、善用資源能源、保護人力資源和防范事故損失”，并通過廠區(qū)責(zé)任和評分制使中芯國際在過去的3年里百人可記錄工傷率持續(xù)降低。在2013年，百人可記錄工傷率降低到0.01，已經(jīng)低于同行業(yè)的最高標(biāo)準(zhǔn)。

　　重視EHS成趨勢

　　重視EHS管理體系是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的未來趨勢。中芯國際CEO邱慈云對記者表示：“我們在生產(chǎn)和運營中必須時刻把我們的社區(qū)、環(huán)境、后代考慮進去。我們絕對不會把損害環(huán)境和危害安全作為追求利潤的代價?！?/p>

　　面對北京水資源嚴(yán)重缺乏的現(xiàn)狀，中芯國際在公司籌備初期就將水資源回收與節(jié)能等先進的設(shè)計理念融于全廠的規(guī)劃設(shè)計中。根據(jù)廠區(qū)實際狀況規(guī)劃了雨水回收系統(tǒng)，用于收集建筑屋頂與路面的雨水，并將過濾處理后的雨水重新用于綠地的灌溉。中芯國際公司的雨水回收系統(tǒng)于2004年7月投入使用以來，廠區(qū)綠地灌溉用水得到節(jié)約，截至目前，該系統(tǒng)共收集到9.7萬噸雨水。另外，2012年北京廠通過自然冷卻系統(tǒng)，利用冬天室外冷空氣進行冷熱交換，4個月內(nèi)共節(jié)約電力561萬千瓦時;2013年天津廠節(jié)約電力351萬千瓦時。