彌費科技8吋&12吋晶圓廠AMHS系統(tǒng)驗收，打破行業(yè)長期海外壟斷

彌費科技近期宣布已在兩家12吋晶圓廠完成自動物料搬運系統(tǒng)（AMHS）的驗收，成為國內(nèi)首家在晶圓廠領域打破海外長期壟斷的國產(chǎn)AMHS供應商。

在晶圓廠整廠AMHS系統(tǒng)級驗收上，彌費科技已累計完成一家8吋碳化硅晶圓廠，一家12吋IDM晶圓制造廠和一家12吋標準代工廠國產(chǎn)化驗證平臺，并打通了驗證平臺和量產(chǎn)代工廠之間的銜接，實現(xiàn)了該驗證平臺上的所有國產(chǎn)化晶圓生產(chǎn)設備和量產(chǎn)線之間的無縫切換，既完成了國產(chǎn)化率和供應鏈安全的目標，也幫客戶實現(xiàn)了整廠晶圓制造效率的顯著提升。

不同應用領域?qū)MHS系統(tǒng)的性能要求不同。相比于面板制造、硅片廠、封裝廠等應用場景，晶圓制造廠從制造工序、搬運量、調(diào)度頻率、天車設備性能要求、軟件調(diào)度要求和整體AMHS系統(tǒng)可靠性、穩(wěn)定性等要求上都相對最高，所以這一應用領域長期被兩家海外公司壟斷，全球95%以上的晶圓廠都使用海外供應商的產(chǎn)品。在晶圓廠領域的交付并驗收成功，充分證明了彌費科技AMHS系統(tǒng)的高品質(zhì)和可靠性，使我國AMHS產(chǎn)品在國際市場的競爭力得到了顯著提升。

彌費科技一直深耕在自動化搬運系統(tǒng)中最難的應用領域—晶圓制造廠。自2018年開始，針對晶圓廠的自動化需求，逐步開發(fā)完成了31類硬件產(chǎn)品、2類軟件產(chǎn)品，涵蓋軟件產(chǎn)品、傳輸產(chǎn)品、存儲產(chǎn)品、凈化產(chǎn)品和零部件。與同類型的供應商相比，產(chǎn)品線更齊全并且技術完全自主可控，具備技術平臺持續(xù)升級迭代、產(chǎn)品混合兼容部署的能力。

作為自動物料搬運系統(tǒng)（AMHS）國產(chǎn)化的先鋒，彌費科技成功攻克了在AMHS系統(tǒng)中最高難度的晶圓廠交付及驗收。開啟了國產(chǎn)AMHS系統(tǒng)在晶圓廠實際量產(chǎn)過程中的系統(tǒng)數(shù)據(jù)積累，通過數(shù)據(jù)分析和優(yōu)化，進一步提升了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性。此外，公司還不斷打磨優(yōu)化自身產(chǎn)品的供應鏈，并搭建了零部件的可靠性驗證到系統(tǒng)級的可靠性驗證測試平臺，鞏固和擴大在成本控制及項目交付方面的競爭優(yōu)勢。這一里程碑式的成就，預示著未來將逐步消除晶圓廠對國產(chǎn)自動物料搬運系統(tǒng)（AMHS）的疑慮和不信任。這不僅打破了當前國產(chǎn)AMHS供應商僅能獲得demo line的惡性循環(huán)，也預示著燒錢時代的終結(jié)。這一進展意味著國產(chǎn)AMHS將逐漸獲得更廣泛的市場認可，為我國半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展注入新的活力。

公司還充分發(fā)揮半導體晶圓廠中國AMHS企業(yè)標桿作用，引領行業(yè)標準的制定。由公司牽頭制定的AMHS行業(yè)首個團體標準——《集成電路晶圓廠用天車傳送系統(tǒng)應用要求》即將正式發(fā)布。立足于半導體晶圓廠對自主可控天車系統(tǒng)應用的迫切需求，將自身對天車傳送系統(tǒng)技術領域積累的應用成果與產(chǎn)業(yè)鏈、高等學府研究所及行業(yè)協(xié)會緊密融合。凝聚了5家協(xié)會及高校研究所、3家半導體晶圓廠、6家產(chǎn)業(yè)鏈上下游設備零部件及軟件企業(yè)的智慧和力量，共同打造出了高質(zhì)量的標準化成果。

在上海市集成電路行業(yè)協(xié)會組織的標準評審會上，該標準獲得行業(yè)專家高度認可。作為國內(nèi)首個天車傳送系統(tǒng)標準，對于該系統(tǒng)的研發(fā)與應用具有重要的指導意義，有助于建立和完善中國AMHS行業(yè)自律機制，推進行業(yè)健康可持續(xù)發(fā)展，提升中國企業(yè)在國際市場的競爭力。

彌費科技始終秉承技術創(chuàng)新驅(qū)動的理念，激勵了更多企業(yè)投入到這一領域的研究與開發(fā)中。作為國產(chǎn)AMHS供應商的領頭羊，彌費科技將繼續(xù)發(fā)揮自身優(yōu)勢，為實現(xiàn)AMHS領域的全面國產(chǎn)化不懈努力。