臺積電曝EUV主要機臺沒受損 美媒示警：強震后面臨考驗

昨日花蓮發(fā)生規(guī)模7.2地震，外媒高度關注是否對中國臺灣護國神山臺積電造成影響，臺積電表示，部分廠區(qū)的少數(shù)設備受損，但所有極紫外（EUV）光刻設備等主要機臺皆無受損?！度A爾街日報》撰文指出，臺積電坐落在世界上最大地震熱點之一的中國臺灣，在昨日強震后將受到考驗。

報導指出，在此次地震中臺積電是幸運的，因為其主要設施地點位在北、中、南部，與東部的震央距離相對較遠，這次臺積電新竹、龍?zhí)逗椭衲系瓤茖W園區(qū)的最大震度為5級 ，臺中和臺南科學園區(qū)的最大震度4級。

雖然臺積電工廠建筑物完好無損，但用于制造半導體的設備和材料非常精密，也可能出現(xiàn)不太明顯的損壞。報導提到，硅芯片約為1個披薩大小的薄片，只要有一點點小缺陷，就可能無法使用被丟棄。

此外，即使半導體工廠短暫停工，但也可能對生產(chǎn)造成很大影響，而且重新啟動需要時間，有可能造成高達千萬美元的損失。

臺積電則在官網(wǎng)上注明，從民國88年歷經(jīng)921地震以來，即采用超越法規(guī)的標準做好防震管理措施，不僅在震后全面檢視所有廠房與設施，陸續(xù)裝設阻尼器補強廠房結構，同時更積極采用新的設備減震與隔震技術，以降低地震可能對營運帶來的風險。

工商時報報導，臺積電昨日晚間發(fā)表聲明，在3日地震發(fā)生后僅10小時內(nèi)，晶圓廠設備的復原率已超過70％，新建的晶圓廠（如晶圓十八廠）的復原率更已超過80％。臺積電強調(diào)，雖然部分廠區(qū)的少數(shù)設備受損并影響部分產(chǎn)線生產(chǎn)，主要機臺包含所有極紫外（EUV）光刻設備皆無受損。