阿斯麥CEO：不賣EUV給中國(guó)大陸“是政府們的選擇”

（原標(biāo)題：光刻機(jī)巨頭阿斯麥CEO：不賣EUV給中國(guó)大陸“是政府們的選擇”）

【文/觀察者網(wǎng) 呂棟】

“這不是我們的選擇，而是政府們（《瓦森納協(xié)定》成員國(guó)）的選擇?！比涨埃商m光刻機(jī)巨頭阿斯麥CEO溫彼得再次就向中國(guó)大陸出口EUV光刻機(jī)一事解釋道。他今年1月曾表示，中國(guó)不太可能獨(dú)立復(fù)制出（replicate）頂尖的光刻技術(shù)，但也別那么絕對(duì)，“他們肯定會(huì)嘗試”。

觀察者網(wǎng)注意到，由于最先進(jìn)的EUV設(shè)備無(wú)法向中國(guó)大陸出口，溫彼得自2021年以來(lái)曾多次發(fā)聲。2021年4月，他曾喊話美國(guó)政府，對(duì)華出口管制不僅不能阻礙中國(guó)技術(shù)進(jìn)步，也將傷害美國(guó)自身的經(jīng)濟(jì)，限制出口只會(huì)加快中國(guó)自主研發(fā)的速度。

但美國(guó)顯然對(duì)溫彼得的表態(tài)視而不見(jiàn)。

2021年7月，美國(guó)官員曾透露，拜登政府在確認(rèn)EUV光刻機(jī)在科技產(chǎn)業(yè)中的戰(zhàn)略價(jià)值后，選擇延續(xù)特朗普時(shí)期的政策。隨后溫彼得表示，針對(duì)中國(guó)大陸的情況，該公司將不得不“靜觀其變”。

在全球芯片短缺讓產(chǎn)業(yè)鏈“叫苦不迭”之際，阿斯麥作為最關(guān)鍵半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備——光刻機(jī)的制造商，愈發(fā)引起產(chǎn)業(yè)界的關(guān)注。美國(guó)消費(fèi)者新聞與商業(yè)頻道（CNBC）近期對(duì)阿斯麥總部進(jìn)行了實(shí)地探訪。

圖源：ASML

因?yàn)槿毙?，“每天都在掙扎?/p>

在荷蘭南部靠近比利時(shí)邊境的小鎮(zhèn)費(fèi)爾德霍芬（Veldhoven），坐落著世界上唯一一家能夠生產(chǎn)極紫外光刻機(jī)（EUV）的企業(yè)——阿斯麥（ASML）。在為數(shù)據(jù)中心、汽車和iPhone提供算力的先進(jìn)半導(dǎo)體制造中，EUV光刻是最昂貴的一步。

“阿斯麥在極紫外光刻機(jī)制造方面處于壟斷地位，我們今天使用的每一塊先進(jìn)處理器都需要用到EUV光刻機(jī)?！泵绹?guó)塔夫茨大學(xué)（Tufts University）弗萊徹學(xué)院助理教授克里斯·米勒表示，每一臺(tái)EUV光刻機(jī)都是有史以來(lái)最復(fù)雜的設(shè)備之一，這種機(jī)器重達(dá)180噸。

EUV是極紫外光（Extreme Ultraviolet）的縮寫，這是一種波長(zhǎng)極短的光，阿斯麥生產(chǎn)的設(shè)備可以大量產(chǎn)生這種光，用于在硅片上雕刻小而復(fù)雜的電路。極紫外光是由二氧化碳激光去轟擊每秒噴出5萬(wàn)次的液態(tài)錫滴（molten tin）而產(chǎn)生，這種光通過(guò)一個(gè)直徑為0.65米的橢球反光鏡送進(jìn)光刻機(jī)內(nèi)。一部分極紫外光微粒被照射到硅片表面，進(jìn)而雕刻出決定每個(gè)芯片功能的微小圖案。

極紫外光刻機(jī)內(nèi)部

由于全球芯片短缺，從索尼的游戲機(jī)PS5到雪佛蘭汽車都開(kāi)始出現(xiàn)訂單積壓，芯片制造商對(duì)阿斯麥EUV光刻機(jī)的需求大幅提升。自2018年底以來(lái)，阿斯麥的股價(jià)已經(jīng)飆升超過(guò)340%，這使得該公司的市值超過(guò)英特爾等一些大客戶。

阿斯麥CEO溫彼得（Peter Wennink）表示，該公司成立38年以來(lái)一直致力于降低半導(dǎo)體的生產(chǎn)成本，并將在“未來(lái)幾十年”繼續(xù)這樣做?！笆澜缧枰嗟男酒?，”溫彼得表示，“所以我們需要制造更多機(jī)器，順便提一句，只要我們能繼續(xù)降低每個(gè)晶體管的生產(chǎn)成本，這些光刻機(jī)的平均售價(jià)就會(huì)不斷提升?！?/p>

即便如此，溫彼得也認(rèn)為，全球芯片短缺對(duì)阿斯麥來(lái)說(shuō)是“Catch-22”（第22條軍規(guī)，意即進(jìn)退兩難、左右為難）。

“我們收到很多來(lái)自供應(yīng)商的信息，他們說(shuō)，‘嘿，我們可能會(huì)延遲向你們交付模塊，因?yàn)槲覀儫o(wú)法獲得芯片?！覀冋f(shuō)，‘如果我們得不到芯片，我們就不能制造機(jī)器來(lái)生產(chǎn)更多的芯片?！睖乇说锰寡?，阿斯麥仍在經(jīng)營(yíng)，“但每天都在掙扎。”

阿斯麥CEO溫彼得

“嚴(yán)重依賴美國(guó)零部件的荷蘭公司”

據(jù)溫彼得透露，阿斯麥過(guò)去10年共賣出140臺(tái)EUV光刻系統(tǒng)，現(xiàn)在每臺(tái)售價(jià)高達(dá)2億美元，而下一代高數(shù)值孔徑（High NA）EUV光刻機(jī)的售價(jià)將超過(guò)3億美元。

市場(chǎng)調(diào)研機(jī)構(gòu)Semico Research的制造業(yè)務(wù)董事總經(jīng)理喬安妮·伊托評(píng)論稱，阿斯麥的EUV光刻系統(tǒng)過(guò)于昂貴，以至于大多數(shù)公司都買不起。她認(rèn)為，這會(huì)把很多廠商排除在市場(chǎng)之外，包括芯片制造商格羅方德。由于成本太高，格羅方德于2018年宣布停止7nm及以下先進(jìn)制程的研發(fā)。

如今，阿斯麥EUV光刻機(jī)的客戶只有五家（臺(tái)積電、三星、英特爾、SK海力士和美光）。2021年，最大的三個(gè)客戶——臺(tái)積電、三星和英特爾占阿斯麥業(yè)務(wù)量的84%。臺(tái)積電表示，該公司在2019年率先采用EUV光刻機(jī)大規(guī)模量產(chǎn)芯片，從那之后一直處于領(lǐng)先地位，芯片制程至少領(lǐng)先三星和英特爾一個(gè)節(jié)點(diǎn)。

CNBC認(rèn)為，阿斯麥在光刻機(jī)領(lǐng)域的主導(dǎo)地位仍是“一個(gè)相對(duì)較新的現(xiàn)象”。10年前，該公司開(kāi)始進(jìn)軍EUV研發(fā)是由英特爾、三星和臺(tái)積電的重大投資決定的。

“我們沒(méi)有錢，”1999年加入阿斯麥的溫彼得表示，“所以我們出去尋找合作伙伴，這實(shí)際上是我們建立公司的基礎(chǔ)。我們也因此被迫成為一個(gè)系統(tǒng)架構(gòu)師和系統(tǒng)集成商。”

把時(shí)間拉回到1984年，阿斯麥剛成立時(shí)是荷蘭電子巨頭飛利浦的子公司。在荷蘭艾恩德霍芬飛利浦辦公大樓旁邊一間漏水的小屋子里，阿斯麥推出第一臺(tái)用于半導(dǎo)體光刻的設(shè)備，這種技術(shù)是20世紀(jì)50年代在美國(guó)軍事實(shí)驗(yàn)室發(fā)明的。

阿斯麥開(kāi)啟光刻機(jī)研發(fā)的地方 圖源：ASML

“第一臺(tái)光刻工具看起來(lái)就像一個(gè)投影儀，”阿斯麥負(fù)責(zé)EUV業(yè)務(wù)的執(zhí)行副總裁克里斯托弗·福凱（Christophe Fouquet）表示，“基本上會(huì)有一個(gè)標(biāo)線，用來(lái)保存你想要投射的影像。然后有一個(gè)光學(xué)系統(tǒng)，它會(huì)把圖像投射到晶圓上?！?/p>

到1988年，阿斯麥在美國(guó)擁有5個(gè)辦事處，共有員工84人，并在荷蘭費(fèi)爾德霍芬設(shè)置一個(gè)新的辦事處，該辦公室最終成為該公司總部。

“當(dāng)半導(dǎo)體行業(yè)準(zhǔn)備進(jìn)入EUV研究的早期階段時(shí)，沒(méi)有一家美國(guó)公司準(zhǔn)備冒險(xiǎn)嘗試這個(gè)昂貴而有風(fēng)險(xiǎn)的項(xiàng)目，但阿斯麥做出了不同的選擇，”即將出版的《芯片戰(zhàn)爭(zhēng)：世界最關(guān)鍵技術(shù)之戰(zhàn)》一書的作者米勒表示，“阿斯麥?zhǔn)且患液商m公司，但它也是一家嚴(yán)重依賴美國(guó)零部件的荷蘭公司，尤其是在其設(shè)備上?！?/p>

“這是政府們的選擇”

EUV光刻機(jī)由來(lái)自全球近800家供應(yīng)商的多個(gè)模塊和數(shù)十萬(wàn)個(gè)零部件組成。每個(gè)模塊都在阿斯麥全球60個(gè)辦公室中進(jìn)行研發(fā)生產(chǎn)，然后運(yùn)往費(fèi)爾德霍芬進(jìn)行組裝。每臺(tái)組裝好的機(jī)器經(jīng)過(guò)測(cè)試后，就會(huì)被拆解，然后發(fā)運(yùn)給芯片制造商。EUV光刻機(jī)的運(yùn)輸需要20輛卡車和三架滿載的波音747飛機(jī)。

中國(guó)大陸是阿斯麥沒(méi)有出口EUV技術(shù)的國(guó)家或地區(qū)一?！叭?2個(gè)國(guó)家（《瓦森納協(xié)定》成員國(guó)）已經(jīng)同意對(duì)其實(shí)施出口管制，因?yàn)樗浅ｊP(guān)鍵，”溫彼得稱，“所以這不是我們的選擇，而是政府們的選擇?！?/p>

美國(guó)對(duì)荷蘭政府的施壓早在特朗普任期內(nèi)便已開(kāi)始。據(jù)時(shí)任美國(guó)總統(tǒng)副國(guó)家安全顧問(wèn)的查爾斯·庫(kù)珀曼（Charles Kupperman）回憶，他2019年曾邀請(qǐng)荷蘭外交官前往白宮，并向后者施壓，稱“忠實(shí)的盟友”不會(huì)向中國(guó)大陸出售EUV這類設(shè)備。庫(kù)珀曼還警告荷蘭方面，如果沒(méi)有美國(guó)的零部件，阿斯麥的設(shè)備就無(wú)法運(yùn)轉(zhuǎn)，而白宮有權(quán)限制這些零部件向荷蘭出口。

“中國(guó)（大陸）想要加入這場(chǎng)競(jìng)賽，”Semico Research的喬安妮·伊托表示，“但由于政治原因，中國(guó)（大陸）無(wú)法獲得這項(xiàng)技術(shù)?！?/p>

極紫外光刻機(jī)在工作 圖源：阿斯麥

不過(guò)，阿斯麥在用另一種方式和中國(guó)大陸做生意。該公司更新了被稱為深紫外線（DUV）的老式光刻系統(tǒng)，并將其中的許多設(shè)備賣給中國(guó)大陸。溫彼得透露，阿斯麥?zhǔn)鄢龅脑O(shè)備中96%仍在使用。

“關(guān)于向中國(guó)大陸出售更多的DUV設(shè)備，提高其生產(chǎn)接近尖端半導(dǎo)體的能力，是否也是一種‘國(guó)家安全風(fēng)險(xiǎn)’，這其中存在很多爭(zhēng)議，”米勒稱，“我認(rèn)為，在未來(lái)幾年，阿斯麥向中國(guó)出售DUV設(shè)備的能力可能也會(huì)受到新的限制?！?/p>

EUV出現(xiàn)之前，芯片制造商可以從阿斯麥、尼康和佳能三家公司購(gòu)買DUV光刻機(jī)。

雖然日本尼康仍然是光刻機(jī)市場(chǎng)的競(jìng)爭(zhēng)者之一，但阿斯麥?zhǔn)荅UV的唯一供應(yīng)商。國(guó)外行業(yè)專家認(rèn)為，其他公司可能需要幾十年時(shí)間才能趕上，一方面是因?yàn)榘⑺果湏碛袑Ｓ屑夹g(shù)，另一方面是因?yàn)榘⑺果溑c數(shù)百家供應(yīng)商達(dá)成了復(fù)雜且往往是獨(dú)家的協(xié)議。

“我們對(duì)一些客戶來(lái)說(shuō)是獨(dú)一無(wú)二的，一些供應(yīng)商對(duì)我們來(lái)說(shuō)也是獨(dú)一無(wú)二的，”溫彼得稱，“有些人說(shuō)，這種近乎共生的關(guān)系比結(jié)婚還要糟糕，因?yàn)槟悴荒茈x婚。”

2021年四季度，阿斯麥光刻機(jī)出貨信息

今年1月，溫彼得曾針對(duì)中國(guó)大陸市場(chǎng)表示：“中國(guó)不太可能獨(dú)立復(fù)制（replicate）出頂尖的光刻技術(shù)，因?yàn)榘⑺果溡蕾囉诓恍傅膭?chuàng)新，以及整合只有從非中國(guó)供應(yīng)商處才能獲得的零部件。但我的意思并不是絕對(duì)不可能，因?yàn)橹袊?guó)的物理定律和我們這里是一樣的。永遠(yuǎn)別那么絕對(duì)，他們肯定會(huì)嘗試的。”

半導(dǎo)體是一種高風(fēng)險(xiǎn)的行業(yè)，阿斯麥?zhǔn)棺约好馐芄?yīng)鏈風(fēng)險(xiǎn)的一種方式是收購(gòu)一些供應(yīng)商，例如位于美國(guó)圣地亞哥的Cymer，它是EUV大功率光源制造商。阿斯麥還在2020年收購(gòu)了德國(guó)Berliner Glas，這是一家陶瓷和光學(xué)模組制造商，“對(duì)于支持實(shí)現(xiàn)EUV和DUV的產(chǎn)品開(kāi)發(fā)藍(lán)圖很重要”。今年1月，Berliner Glas曾發(fā)生一場(chǎng)火災(zāi)，但溫彼得表示，這場(chǎng)火災(zāi)不會(huì)對(duì)今年的設(shè)備出貨造成重大影響。

財(cái)報(bào)顯示，阿斯麥2021年總營(yíng)收為186億歐元（約合人民幣1339億元），同比增長(zhǎng)33%；凈利潤(rùn)為59億歐元（約合人民幣425億元），同比增長(zhǎng)66%；毛利率為53%，比上年同期提高4個(gè)百分點(diǎn)。 該公司預(yù)計(jì)，2022年的銷售將增長(zhǎng)20%，未來(lái)10年的年復(fù)合增長(zhǎng)率為11%。