全國首臺國產(chǎn)商業(yè)電子束光刻機(jī)在杭州“出爐”

據(jù)杭州日報，近日，作為基地首批簽約孵化項目之一，全國首臺國產(chǎn)商業(yè)電子束光刻機(jī)“羲之”已進(jìn)入應(yīng)用測試，其精度比肩國際主流設(shè)備，標(biāo)志著量子芯片研發(fā)從此有了“中國刻刀”。

在測試現(xiàn)場，浙大余杭量子研究院相關(guān)團(tuán)隊緊張忙碌著，一臺模樣酷似大型鋼柜的機(jī)器正在做應(yīng)用測試，電子顯示屏上不斷閃爍著實時參數(shù)?！斑@不是普通的機(jī)器，而是一支能在頭發(fā)絲上雕刻出整座城市地圖的‘納米神筆’！”團(tuán)隊負(fù)責(zé)人告訴記者，依托省重點實驗室，這臺研究院自主研發(fā)的新一代100kV電子束光刻機(jī)“羲之”已正式投入市場。

“羲之”取名自書法家王羲之，“只不過我們的‘毛筆’是電子束，在芯片上刻寫電路。”研發(fā)團(tuán)隊相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，這臺設(shè)備專攻量子芯片、新型半導(dǎo)體研發(fā)的核心環(huán)節(jié)，它通過高能電子束在硅基上“手寫”電路，精度達(dá)到0.6nm，線寬8nm，可靈活修改設(shè)計無須掩膜版，如同用納米級毛筆在芯片上精準(zhǔn)作畫，特別適合芯片研發(fā)初期的反復(fù)調(diào)試。