國資委加盟，沈陽集成電路產(chǎn)業(yè)再添創(chuàng)新平臺

4月8日，半導(dǎo)體設(shè)備廠商拓荊科技發(fā)布公告稱，擬攜手沈陽市國資委等共同發(fā)起設(shè)立集成電路裝備及零部件創(chuàng)新中心。
根據(jù)公告，拓荊科技擬與沈陽市國資委及其他產(chǎn)業(yè)合作方共同發(fā)起設(shè)立遼寧省集成電路裝備及零部件創(chuàng)新中心（暫定名，最終名稱以登記部門核準的名稱為準，以下簡稱“創(chuàng)新中心”）。

圖片來源：拓荊科技公告

拓荊科技是國內(nèi)知名的半導(dǎo)體設(shè)備廠商，主要從事高端半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與技術(shù)服務(wù)，目前已形成PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD、超高深寬比溝槽填充CVD等薄膜設(shè)備產(chǎn)品系列，該產(chǎn)品系列已廣泛應(yīng)用于國內(nèi)集成電路邏輯芯片、存儲芯片等制造產(chǎn)線。此外，拓荊科技還推出了應(yīng)用于晶圓級三維集成領(lǐng)域的混合鍵合設(shè)備產(chǎn)品系列，已實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。

對于此次攜手國資委等共同設(shè)立創(chuàng)新中心一事，拓荊科技表示，本次創(chuàng)新中心的設(shè)立，將充分整合多方優(yōu)勢資源共同發(fā)揮積極作用。一方面，沈陽市國資委發(fā)揮統(tǒng)籌協(xié)調(diào)作用，依托其豐富的資源，幫助創(chuàng)新中心對接投資人，為創(chuàng)新中心的發(fā)展提供資金支持并營造良好環(huán)境；另一方面，公司與其他產(chǎn)業(yè)方憑借在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的突出行業(yè)地位和深厚的技術(shù)優(yōu)勢，為創(chuàng)新中心的發(fā)展提供有力支撐。創(chuàng)新中心將基于這些資源和優(yōu)勢的整合，積極響應(yīng)國家戰(zhàn)略發(fā)展規(guī)劃，圍繞半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢布局前沿技術(shù)，進一步推動整機裝備和零部件企業(yè)集聚發(fā)展，不斷增強產(chǎn)業(yè)協(xié)同效應(yīng)和創(chuàng)新能力，助力國家集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)高質(zhì)量發(fā)展。

目前，創(chuàng)新中心尚處于籌劃階段，尚需當(dāng)?shù)匦姓鞴懿块T批準并進行登記，公司將積極推動創(chuàng)新中心的設(shè)立。

遼寧加速集成電路裝備產(chǎn)業(yè)推進

2025年是《遼寧省培育壯大集成電路裝備產(chǎn)業(yè)集群若干措施的通知》（以下簡稱《若干措施》政策實施的最后一年。

此前，遼寧省政府印發(fā)的《若干措施》明確提到，要加強創(chuàng)新平臺建設(shè)，對新認定和新批準設(shè)立的集成電路裝備整機和關(guān)鍵零部件領(lǐng)域國家級和省級重點實驗室、工程研究中心、技術(shù)創(chuàng)新中心、產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心、企業(yè)技術(shù)中心、制造業(yè)創(chuàng)新中心等創(chuàng)新平臺按規(guī)定給予支持。

當(dāng)前，遼寧正在加快培育壯大集成電路裝備整機和關(guān)鍵零部件產(chǎn)業(yè)，并有望在今年進一步加速集成電路裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展的步伐。沈陽作為遼寧的省會城市，目前已經(jīng)集聚了拓荊科技、芯源微電子、沈陽可儀、以及富創(chuàng)精密等龍頭企業(yè)。今年以來，沈陽在集成電路裝備產(chǎn)業(yè)更是大動作不斷。

其中芯源微電子總投資10億元的高端晶圓處理設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項目和拓荊科技總投資20億元的高端半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)化基地項目于3月相繼開建；富創(chuàng)精密則計劃聯(lián)合共同投資人收購浙江鐠芯合計80.81%的股權(quán)，從而間接取得新加坡半導(dǎo)體設(shè)備零部件公司Compart公司控制權(quán)；賀利氏石英沈陽新工廠竣工投產(chǎn)等。據(jù)遼寧日報等媒體報道，2025年，沈陽將推進74個集成電路裝備產(chǎn)業(yè)項目。

在產(chǎn)業(yè)部署過程中，沈陽主要將目標瞄向半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域，并且已經(jīng)形成了以整機和零部件為核心的產(chǎn)業(yè)集群。未來，沈陽有望在龍頭企業(yè)帶動、重點項目推進以及跨區(qū)域合作下，推動集成電路裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展，進一步助力沈陽打造全國集成電路裝備及零部件重點產(chǎn)業(yè)基地。