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MEMS硅膜電容式氣象壓力傳感器的研制

  • 　　1 引言 　　大氣壓力傳感器在工業(yè)生產(chǎn)、氣象預(yù)報、氣候分析、環(huán)境監(jiān)測、航空航天等方面發(fā)揮著不可替代的作用。傳統(tǒng)的壓力傳感器一般為機械式，體積比較大，不利于微型化和集成化。利用MEMS技術(shù)不僅可以解決上述缺點，還能極大地降低成本，而性能更為優(yōu)異。如今基于MEMS技術(shù)得到廣泛應(yīng)用的壓力傳感器主要有壓阻式和電容式兩大類，壓阻式壓力傳感器的線性度很好，但精度一般，溫漂大，一致性差;電容式壓力傳感器與之相比，精度更高，溫漂小，芯片結(jié)構(gòu)更具魯棒性，但線性度差且易受寄生電容的影響。目前MEMS電容式壓力傳感器多用
  • 關(guān)鍵字： MEMS  

MEMS固態(tài)風速風向傳感器的設(shè)計與制作

  • 　　1 引言 　　風速及風向的測量是氣象觀測中重要的一環(huán)。風速風向可以基于流體力學(xué)原理、熱學(xué)原理、聲學(xué)原理和仿生學(xué)原理來測量。熱式測風儀基于風對熱體的對流作用來測量風速和風向，其存在一個精密的熱源，通過把兩對相對的熱源與熱電偶正交放置測量風向。超聲測風儀可以同時進行超聲波的發(fā)射和接收，基于多普勒效應(yīng)測量風速，用三個或者四個探頭根據(jù)三角關(guān)系測量風向信息。基于MEMS技術(shù)傳感器有體積小、重量輕及成本低的特點，基于MEMS技術(shù)的風速和風向測量傳感器受到了研究者的重視。 　　本文介紹了基于MEMS的固態(tài)風速風
  • 關(guān)鍵字： MEMS  

SRC基于CMOS工藝的汽車雷達硅芯片取得新進展

  • ????? 據(jù)報道，佛羅里達州大學(xué)以及半導(dǎo)體研究公司(SRC)在開發(fā)基于CMOS工藝技術(shù)的汽車雷達集成電路上以及取得進展。 ????? 現(xiàn)有的雷達芯片由昂貴的材料制成，如砷化鎵(GaAs)以及磷化銦(InP)。據(jù)研究人員透露，用于制造汽車雷達的電子電路價值幾百美元。 ????? 新型的基于硅片的雷達芯片可能只要10美元就能制造出來，據(jù)佛羅里達大學(xué)以及SR
  • 關(guān)鍵字： CMOS 汽車雷達 芯片  

意法半導(dǎo)體通過CMP為科研機構(gòu)和設(shè)計公司提供45納米互補金屬氧化物半導(dǎo)體制造工藝

  • 　　意法半導(dǎo)體和CMP (Circuits Multi Projects ?) 宣布，通過CMP提供的硅中介服務(wù)，大學(xué)、科研院所和公司可以使用意法半導(dǎo)體的45納米互補金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)制造工藝進行原型設(shè)計。這項消息在巴黎舉行的CMP用戶年會上發(fā)布，會中集結(jié)了采用CMP多項目晶片服務(wù)的大學(xué)院校、科研機構(gòu)或私營企業(yè)的代表。通過CMP的服務(wù)，他們可以委托芯片廠商小批量制造幾十個到幾千個的先進集成電路。 　　45納米CMOS工藝的推出，是延續(xù)ST與CMP授權(quán)大學(xué)使用上一代65納米和90納米CM
  • 關(guān)鍵字： 意法半導(dǎo)體 CMP CMOS   200802  

3G大門開啟 IC廠商研發(fā)提速

  • 　　編者按：2008年3G的覆蓋和推廣將上一層樓。在中國市場，中國移動采購了首批3G終端，這預(yù)示著中國將開啟3G的大門。產(chǎn)業(yè)鏈上游相關(guān)IC公司也開始加緊布局，在3G手機基帶、射頻和電源管理領(lǐng)域不斷推陳出新，來適合中國的市場應(yīng)用。 　　鼎芯通訊(上海)有限公司總裁兼CEO陳凱 　　增強CMOS和SoC技術(shù)競爭力 　　在3G研發(fā)方面，鼎芯去年的主要工作集中在兩個方面：一個是全面推動原有射頻-模擬基帶芯片組CL4020/CL4520的產(chǎn)業(yè)化，包括嚴格的工業(yè)指標和客戶驗證;另外一個是進一步的演進，后續(xù)的產(chǎn)品
  • 關(guān)鍵字： 3G IC CMOS   

MEMS傳感器進駐汽車發(fā)動機

  • 　　近年來，從半導(dǎo)體集成電路(IC)技術(shù)發(fā)展而來的MEMS (微電子機械系統(tǒng))技術(shù)日漸成熟。利用這一技術(shù)可以制作各種性能敏感的力學(xué)量、磁學(xué)量、熱學(xué)量、化學(xué)量和微生物的微型傳感器，這些傳感器的體積和能耗小，可實現(xiàn)許多全新的功能，便于大批量和高精度生產(chǎn)，單件成本低，易構(gòu)成大規(guī)模和多功能陣列，這些特點使得它們非常適合于汽車方面的應(yīng)用。 MEMS將成為汽車傳感器的主流技術(shù) 　　20世紀80年代微型加速度傳感器開始用于汽車安全氣囊，它們是到目前為止大量生產(chǎn)的、并在汽車中得到廣泛應(yīng)用的微型傳感器。然而微型傳感器的
  • 關(guān)鍵字： MEMS 傳感器  

MEMS機油壓力傳感器可靠性研究

  • 1 引言 　　MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專用的微機電加工方法的基礎(chǔ)上蓬勃發(fā)展起來的高新技術(shù)，用MEMS技術(shù)研制的壓力傳感器具有體積小、重量輕、響應(yīng)快、靈敏度高、易于批量生產(chǎn)、成本低的優(yōu)勢，它們已經(jīng)開始逐步取代基于傳統(tǒng)機電技術(shù)的壓力傳感器。目前已有多種MEMS壓力傳感器應(yīng)用到了汽車電子系統(tǒng)中，如發(fā)動機共軌壓力、機油壓力、歧管空氣進氣壓力、汽車胎壓壓力等。其中機油壓力傳感器是用于測量汽車發(fā)動機油壓力的重要傳感器，其可靠性直接關(guān)系到汽車和人的安全性。本文選用MEMS壓力芯片，成功開發(fā)出汽車發(fā)動機機油壓力傳
  • 關(guān)鍵字： MEMS 傳感器  

汽車MEMS傳感器應(yīng)用及發(fā)展

  • 摘要：本文通過大量的文獻資料，評述汽車MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感器的應(yīng)用現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢，其中重點介紹幾種傳感器的原理和結(jié)構(gòu)，同時對該領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)化也進行了探討。 關(guān)鍵詞：汽車傳感器、微機電系統(tǒng)、力敏器件。 一、引言 　　MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專用的微機電加工方法的基礎(chǔ)上蓬勃發(fā)展起來的高新科技，其研究開發(fā)主要集中在微傳感器、微執(zhí)行器和微系統(tǒng)三個方面，目前主導(dǎo)MEMS市場的傳感器已形成產(chǎn)業(yè)。用此技術(shù)研制的五花八門的微傳感器具有體積小、質(zhì)量輕、響應(yīng)快、靈敏度高、易生產(chǎn)、成本低的優(yōu)勢，可以測量各種物理
  • 關(guān)鍵字： MEMS 傳感器  

傳統(tǒng)半導(dǎo)體廠商對MEMS的思考

  • 最近幾年來MEMS（Micro Electro MECHANICAL Systems）技術(shù)在國內(nèi)外得到了迅猛的發(fā)展，MEMS產(chǎn)品已經(jīng)有了開拓性的應(yīng)用，MEMS產(chǎn)業(yè)鏈將會迅速掘起，預(yù)計2007年全球MEMS元器件銷售總額將突破70億美元。
  • 關(guān)鍵字： 半導(dǎo)體  MEMS  

傳感器：與IC趨于集成MEMS遍及高端

  • 汽車電子控制系統(tǒng)的“正常運轉(zhuǎn)”離不開傳感器的保駕護航，通過傳感器可將各種諸如壓力、流量、位置、高度、距離、速度、轉(zhuǎn)速、溫度等信號傳遞到動力系統(tǒng)、安全系統(tǒng)等控制單元，達到汽車正常駕駛的目的。
  • 關(guān)鍵字： 傳感器  IC  MEMS  

三軸加速度計在水下結(jié)構(gòu)振動測試中的應(yīng)用

  • 電子產(chǎn)品世界,為電子工程師提供全面的電子產(chǎn)品信息和行業(yè)解決方案,是電子工程師的技術(shù)中心和交流中心,是電子產(chǎn)品的市場中心,EEPW 20年的品牌歷史,是電子工程師的網(wǎng)絡(luò)家園
  • 關(guān)鍵字： MEMS  ADXL330  

光電器件、傳感器迎來快速增長期

  • 　　光電器件、傳感器/激勵器(actuator)和分立器件(O-S-D)由于市場規(guī)模不大，容易受到市場忽視。但2006-2011期間，預(yù)計其年平均增長率約10%，高于整體芯片市場9%的年均增售增長預(yù)測。 　　本世紀初期，手機和其它便攜式產(chǎn)品中顯示屏增長驅(qū)動，包括攝像頭手機和數(shù)碼相機的CMOS圖像傳感器、用于鍵盤背光系統(tǒng)的高亮度白光LED、手機和其它便攜產(chǎn)品的彩色顯示屏等。多年來，光電器件和分立器件的市場規(guī)模幾乎相等。但是預(yù)計到這十年末，光電半導(dǎo)體銷售收入將拉開與分立器件的距離。 　　在目前半導(dǎo)體業(yè)務(wù)中
  • 關(guān)鍵字： 光電器件  傳感器  CMOS  傳感器  

飛思卡爾建成先進的200-mm MEMS生產(chǎn)線

  • 　　飛思卡爾半導(dǎo)體建成先進的微機電系統(tǒng)(MEMS)200-mm(8-inch)生產(chǎn)線來滿足不斷增長的傳感器市場需求。這套新生產(chǎn)線是在飛思卡爾設(shè)在德克薩斯州奧斯汀的Oak Hill Fab建成的，是對公司在日本仙臺的現(xiàn)有150-mm(6-inch) MEMS生產(chǎn)線的補充。 　　隨著MEMS傳感器市場的持續(xù)增長，大批量MEMS生產(chǎn)技術(shù)仍顯得至關(guān)重要。飛思卡爾在生產(chǎn)基于MEMS的傳感器方面已有25年以上的歷史，是業(yè)界領(lǐng)先的大批量傳感器提供商，可提供全面的加速、壓力和接近傳感器。借助可實現(xiàn)全面的傳感、控制、連接
  • 關(guān)鍵字： 飛思卡爾  半導(dǎo)體  MEMS  MCU和嵌入式微處理器  

45納米芯片方興未艾 32納米處理器09年登場

  • 　　中國芯片制造商中芯國際(SMIC)宣布，周四公司已經(jīng)對IBM的45納米集成電路制成技術(shù)加以認證。 　　SMIC說，公司將會采用IBM的CMOS技術(shù)制造300毫米晶圓片，這些晶圓片用于SMIC的制造工廠。CMOS，或者說金屬氧化物半導(dǎo)體元件，是微處理器所采用的一種主要的集成電路。 　　公司在一次聯(lián)合聲明中表示，IBM技術(shù)將被用于制造圖形處理芯片、芯片組、用于高端移動電話的元件，以及其他消費設(shè)備。該認證技術(shù)預(yù)期將對SMIC的65納米低端技術(shù)加以補充。 　　SMIC的總部設(shè)在上海，是中國最大的晶圓制造
  • 關(guān)鍵字： 芯片  45納米  CMOS  IC  制造制程  

數(shù)字電源――一個模擬公司的觀點

  • 　　現(xiàn)在到處都在談?wù)摂?shù)字電源。新成立的公司和已經(jīng)取得牢固地位的半導(dǎo)體廠商都聲稱數(shù)字電源(或者更準確地說，是數(shù)字控制開關(guān)電源管理集成電路)比模擬為主的產(chǎn)品更勝一籌。他們說，新的數(shù)字電源具有更高的性能和更低的成本，將取代老式的、早已過時的模擬開關(guān)穩(wěn)壓器。人們將采用通用的數(shù)字CMOS工藝技術(shù)，而不再需要專有的模擬工藝技術(shù)，同時還將極大地降低成本。電源管理方式即將發(fā)生變化：要么數(shù)字化;要么請走開，別再擋路。 　　我們先花點時間來琢磨一下這個詞?！皵?shù)字電源”或“數(shù)字控制電源”有幾種不同的含意。最簡單的定義是通過數(shù)
  • 關(guān)鍵字： 數(shù)字電源  模擬  CMOS  嵌入式  
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