新國(guó)標(biāo)推動(dòng)潔凈技術(shù)邁上新臺(tái)階

　　電子產(chǎn)品不僅對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈程度有嚴(yán)格要求，而且還對(duì)與生產(chǎn)過程直接接觸的各種高純介質(zhì)——— 高純水、高純氣體、高純化學(xué)品等的雜質(zhì)含量等有十分嚴(yán)格的要求。某些電子產(chǎn)品對(duì)振動(dòng)、靜電、電磁干擾、電力供應(yīng)等也有較為嚴(yán)格的要求。為此，電子工業(yè)潔凈廠房一般配備下列設(shè)施，如凈化空調(diào)系統(tǒng)、專用凈化設(shè)備、噪聲控制設(shè)備、防微振設(shè)備、防靜電設(shè)備、防電磁干擾設(shè)備、電氣、照明、高純物質(zhì)(高純水、高純氣、高純化學(xué)品)供應(yīng)設(shè)備、報(bào)警系統(tǒng)、節(jié)能設(shè)施以及通信設(shè)施等。微電子產(chǎn)品的微細(xì)化，要求供應(yīng)純度極高的氣體、化學(xué)品和純水。目前納米級(jí)集成電路芯片生產(chǎn)要求氣體中雜質(zhì)的濃度要控制到19-9級(jí)或10-12級(jí)，要求超純水的電阻率為18MΩ·cm，雜質(zhì)濃度為19-9級(jí)或10-12級(jí)。

　　新國(guó)標(biāo)推動(dòng)潔凈技術(shù)上臺(tái)階

　　基于上述電子工業(yè)潔凈廠房的特點(diǎn)，現(xiàn)有國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》(GB50073)中的有關(guān)規(guī)定已不能滿足需要，尤其是涉及化學(xué)分子污染物的控制以及安全、消防等方面的規(guī)定(如潔凈建筑防火與疏散、易燃易爆氣體和化學(xué)品的貯存輸送、安全消防報(bào)警設(shè)施等)。由國(guó)家住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部和國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局聯(lián)合發(fā)布，并從2009年7月1日實(shí)施的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》(GB50472)，正是以現(xiàn)代電子工業(yè)潔凈廠房的特點(diǎn)和工程實(shí)踐為依據(jù)，結(jié)合我國(guó)電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)建造和運(yùn)行的實(shí)際情況，廣泛調(diào)研、整理相關(guān)的專題報(bào)告和測(cè)試資料，認(rèn)真總結(jié)多年來(lái)電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)建造和運(yùn)行方面的經(jīng)驗(yàn)，廣泛征求了國(guó)內(nèi)有關(guān)單位的意見制定而成的。國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》(GB50472)共分15章和4個(gè)附錄。主要內(nèi)容有：總則、術(shù)語(yǔ)、電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)要求、總體設(shè)計(jì)、工藝設(shè)計(jì)、潔凈室建筑設(shè)計(jì)、空氣凈化和空調(diào)通風(fēng)設(shè)計(jì)、給水排水設(shè)計(jì)、純水供應(yīng)、氣體供應(yīng)、化學(xué)品供應(yīng)、電氣設(shè)計(jì)、防靜電與接地設(shè)計(jì)、噪聲控制以及微振控制等。該規(guī)范是強(qiáng)制性標(biāo)準(zhǔn)，其中設(shè)有強(qiáng)制性條文近50條，在規(guī)范中黑體字的條文為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。

　　所有進(jìn)行電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)建造的單位和相關(guān)科技人員都應(yīng)認(rèn)真執(zhí)行、實(shí)施規(guī)范中的強(qiáng)制條文。與此同時(shí)，推薦性條文的各項(xiàng)規(guī)定使電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)、建造有法可依，有章可循。我們希望通過認(rèn)真執(zhí)行、實(shí)施國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》(GB50472)，使我國(guó)電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)建造達(dá)到更高的水平。同時(shí)，我們也希望在新國(guó)標(biāo)實(shí)施中得到各有關(guān)單位、科技人員的修改和補(bǔ)充意見，使之不斷完善。