國產(chǎn)類CoWoS封裝火熱,千億資本或涌入
近年來,AI 芯片的持續(xù)火熱推動高帶寬存儲(HBM)需求激增,而 HBM 與 AI 芯片的高效集成,高度依賴 CoWoS(Chip on Wafer on Substrate)封裝技術。作為先進封裝領域的關鍵技術,CoWoS 正成為全球半導體產(chǎn)業(yè)競爭的核心焦點,而國產(chǎn)類 CoWoS 技術的崛起,更有望吸引千億級資本涌入這一賽道。
CoWoS 技術:AI 芯片的「幕后功臣」
CoWoS(Chip on Wafer on Substrate,芯片-晶圓-基板封裝)是臺積電研發(fā)的革命性封裝技術,其核心價值在于能在極小空間內(nèi)實現(xiàn)多功能芯片的高效集成,通過異構器件的拼接與堆疊,顯著提升芯片性能。例如,HBM(高帶寬存儲)與 AI 芯片的結合若缺乏 CoWoS 結構,HBM 在芯片上的布局將無從實現(xiàn)——從英偉達 H100 到 AMD MI300,全球頂級 AI 芯片幾乎都依賴這項技術。
以下為部分采用 HBM 配置的主流 AI 芯片概況:
CoWoS 封裝成臺積電搖錢樹
CoWoS 的技術思路與英特爾的 Foveros、學術界的 Hybrid Bonding(最終成品均為 Chiplet,芯粒)相通,核心難點在于「CoW」(Die-to-Wafer,芯片-晶圓鍵合)環(huán)節(jié),與之對應的是「WoW」(Wafer-to-Wafer,晶圓-晶圓鍵合)。
其技術原理為:在基板(Substrate)上增加一層硅中介層(Si interposer),芯片通過覆晶方式正面朝下連接至中介層,由中介層承擔芯片間及芯片與基板的互連。由于硅中介層采用芯片級工藝制造(如初代為 65nm),布線密度可低至 10μm 以下,能實現(xiàn)芯片的緊密堆疊。
CoWoS 是臺積電的注冊。目前,全球先進 AI 芯片的 CoWoS 服務幾乎由臺積電壟斷。Yole 數(shù)據(jù)顯示,先進封裝市場未來幾年復合增速將達 40%,其中 3D 封裝增速超 100%,且近 40% 的 HBM 未來將依賴混合鍵合封裝,硅光高速互連也將融入這一技術體系。
按照臺積電的說法,2024 年 CoWoS 產(chǎn)能據(jù)說是每月 36000 片,但還遠遠不夠用,所以計劃今年底時達到 90000 萬,到 2026 年時達到 13 萬片每月。不僅要提高產(chǎn)能,還要提高價格,另外還要拓展 CoWos 技術,要在 2027 年時,實現(xiàn)超大版晶圓上芯片 (CoWoS) 封裝技術的認證,一次性能夠提供九個光罩(reticle)尺寸的中介層和 12 個 HBM4 內(nèi)存堆棧??梢?,目前 CoWos 已經(jīng)成為了臺積電最重要的技術之一,也是其搖錢樹之一了。
實際上,臺積電在 2011 年推出 CoWoS 技術時,初期并未獲得客戶青睞。而這項技術的發(fā)展,其實還是要感謝華為。華為是臺積電 CoWoS 技術的首個客戶。根據(jù)公開信息,華為在 2014 年首次采用該技術,海思 Hi1616 芯片成為 CoWoS 工藝的首個應用案例。 ?
CoWoS 產(chǎn)能供應商情況如何?
全球 CoWoS 產(chǎn)能供應商可分為五類,但能滿足先進計算芯片需求的產(chǎn)能有限,核心瓶頸在于高良率——封裝良率不足會導致 HBM 等器件損耗,直接影響成本與效率。
臺積電:提供全棧 CoWoS 服務,是目前唯一能兼顧高工藝節(jié)點與高良率的廠商。
臺積電 + 第三方封裝廠:臺積電完成「CoW」(晶圓與中介層制造、堆疊互連),第三方 OSAT(如日月光)完成「on Substrate」(基板封裝)。
第三方代工 + OSAT:由聯(lián)電(UMC)、格芯(GF)生產(chǎn)中介層,交由安靠(Amkor)、日月光等完成「WoS」(晶圓 - 基板封裝)。
三星與英特爾:三星的 I-Cube/H-Cube、英特爾的 Foveros 均可提供全棧 CoWoS 服務。
國內(nèi)廠商:以「CoW+WoS」工藝對接為主,如中芯國際(SMIC)生產(chǎn)中介層,再由國內(nèi) OSAT 完成封裝。
相較于其他制造工序,CoWoS 并非存在極高的前沿技術門檻,其核心難點在于如何在高微縮制程下保障高良率。這是因為在封裝環(huán)節(jié),一旦產(chǎn)品出現(xiàn)較高的不良率或失效問題,那么與之堆疊連接的 HBM 等器件的損耗便無法挽回。
目前,在兼顧較高工藝節(jié)點與高良率方面,僅有臺積電能夠做到。單從 CoW+WoS 的產(chǎn)能來看,全球范圍內(nèi)(尤其是 WoS 廠商)可以釋放出大量產(chǎn)能,但其中能夠滿足先進計算芯片對工藝和良率要求的產(chǎn)能其實并不多。
上述良率門檻的形成,核心癥結在于工藝層面。以 WoS 良率為例,其關鍵難點在于封裝中介層的尺寸需嚴格把控——具體而言,硅中介層的面積必須大于其上方 2 個甚至多個 die(芯片裸片)的總面積。
然而,隨著中介層尺寸不斷突破限制(例如 CoWoS-5 通過 "2-way lithography stitching approach" 技術,已將 interposer 尺寸擴展至 2500mm2,接近 3 倍曝光極限;第 6 代 CoWoS 的尺寸更接近 4 倍曝光極限),隨之而來的工藝風險顯著提升:晶圓邊緣易出現(xiàn)扭曲、接角易產(chǎn)生垂直凸變等問題,這些都會直接導致封測后出現(xiàn)不良品。
相比之下,臺積電的 CoWoS 工藝經(jīng)過十余年的持續(xù)磨合與技術積累,沉淀了大量專屬 know-how(技術訣竅),才得以實現(xiàn)如今穩(wěn)定且高水準的良率表現(xiàn)。
對于 Amkor、日月光等專業(yè)封裝廠(OSAT)而言,其工藝良率提升緩慢的另一因素,在于與前段 interposer(中介層)的制造環(huán)節(jié)相互分離。盡管 CoW(晶圓級封裝)與 WoS(系統(tǒng)級封裝)的分工模式符合產(chǎn)業(yè)鏈邏輯,但兩者協(xié)同產(chǎn)出的良率提升,需依賴雙方工藝能力的同步演進。
國內(nèi)的中介層基本由中芯國際(SMIC)制造,再交由 OSAT 完成 WoS 封測;若無法獲取中芯國際的中介層產(chǎn)能,也可委托聯(lián)電(UMC)或格芯(GF)代工。目前,中芯國際的中介層雖未觸及 3nm 節(jié)點,但已可通過 7nm 工藝替代;此外,中芯國際已將先進封裝業(yè)務獨立出來,成立子公司運營。
當前具備獨立完成高工藝節(jié)點、高良率全棧式 CoWoS 能力(涵蓋邏輯芯片、中介層制造及 CoWoS 封裝全流程)的廠商,僅有臺積電、三星和英特爾。
未來趨勢來看,全球大部分 2.5D 封裝或?qū)⒉捎们暗琅c后道合作模式:前道晶圓廠提供中介層完成 CoW 環(huán)節(jié),后道封裝廠則依托載板資源完成 WoS 環(huán)節(jié)。此外,CoWoS 技術將向更多場景下沉,未來多數(shù)非移動設備中的 AI 與 HPC 產(chǎn)品,都將依賴 CoWoS 封裝;而就 2.5D/3D 封裝領域而言,目前晶圓廠相比 OSAT 仍具備明顯優(yōu)勢。
國產(chǎn)大力推類 CoWoS 封裝
CoWoS 是臺積電的品牌,但實際上國內(nèi)也在研發(fā)相關先進封裝技術。近年來的 AI 芯片讓臺積電的 CoWos 封裝大放光采。對此,國產(chǎn)廠商也在推動類 CoWoS 封裝技術發(fā)展和產(chǎn)能擴張。
國內(nèi) CoWoS 封裝領域的核心廠商主要包括盛合晶微與通富微電,二者在技術布局與業(yè)務重心上各有側重,同時也共同面臨著行業(yè)共性挑戰(zhàn)。
盛合晶微:國內(nèi)先進封裝絕對龍頭
作為華為合作體系內(nèi)的核心廠商,盛合晶微承擔著華為昇騰、鯤鵬芯片的先進封裝任務。其前身是中芯國際與長電科技聯(lián)合孵化的中芯長電,技術根基深厚,堪稱「國之重器」——不僅是中國大陸唯一實現(xiàn) 2.5D 芯粒量產(chǎn)的企業(yè),還在 12 英寸凸塊加工產(chǎn)能、WLCSP 市占率、獨立晶圓測試收入規(guī)模上穩(wěn)居大陸第一。
從產(chǎn)業(yè)地位看,盛合晶微早年曾是長電科技、中芯國際的合作工廠,如今已形成華為主導的合作模式,專注于 Chiplet 封裝及前道中介層生產(chǎn)。業(yè)績表現(xiàn)尤為亮眼:據(jù) Yole 數(shù)據(jù),2023 年其營收增速位列全球封測行業(yè)第一;2022 年營收達 2.7 億美元(同比 + 17%);2024 年更獲超 50 億元融資,用于加速三維多芯片集成項目。目前,公司 IPO 輔導驗收已完成,上市在即,預計將吸引千億級資本涌入先進封裝賽道。
通富微電:聚焦國內(nèi)市場,海外合作存波折
通富微電在國內(nèi)外均設有廠區(qū),同樣布局 Chiplet 封裝及前道中介層生產(chǎn),業(yè)務重心以服務國內(nèi)市場為主。
關于海外合作,此前市場曾傳聞「AMD 將 MI300 的 CoWoS 封裝代工委托給通富微電」,后證實為誤傳。實際情況是:AMD 曾計劃將封裝的 bumping 工序交由通富微電檳城工廠負責,但最終未達成合作。
目前,盛合晶微與通富微電在 CoWoS 封裝環(huán)節(jié)仍存在良率缺陷。由于先進封裝工藝復雜度高,良率提升是一個漸進過程,這也是二者當前需要突破的核心課題。
除上述頭部企業(yè)外,其他具備技術儲備的封裝廠商也在積極切入先進封裝賽道,甬矽電子便是典型代表。
甬矽電子此前在互動平臺上回應投資者提問時表示,公司已實現(xiàn)量產(chǎn)的 2.5D 封裝技術,在工藝流程和設備應用方面與高帶寬存儲芯片(HBM,High Bandwidth Memory)的封裝工藝存在一定的重疊和關聯(lián)。這一技術共性主要體現(xiàn)在硅中介層(interposer)的制備、微凸點焊接、精密對位、以及高密度互連等關鍵環(huán)節(jié)?;诖?,甬矽電子在封裝制造領域積累了豐富的經(jīng)驗和較強的技術實力,為未來涉足 HBM 封裝市場奠定了堅實基礎。
然而,甬矽電子也明確指出,公司是否參與 HBM 封裝業(yè)務,將主要取決于與存儲芯片制造商在商業(yè)合作模式上的契機和戰(zhàn)略匹配。HBM 封裝作為一種高度復雜且技術門檻較高的內(nèi)存封裝方案,不僅要求技術上的兼容和升級,更需在產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)作、客戶需求及市場導向等層面實現(xiàn)深度融合。因此,甬矽電子在考慮拓展 HBM 封裝業(yè)務時,將充分評估自身的技術積累與產(chǎn)能優(yōu)勢,結合存儲廠商的需求和合作意愿,尋求雙方商業(yè)模式上的最佳契合點。
此外,隨著人工智能、云計算、大數(shù)據(jù)等應用的快速發(fā)展,市場對高性能、高帶寬存儲解決方案的需求日益增長,HBM 作為關鍵存儲技術之一,具備廣闊的發(fā)展前景和市場空間。甬矽電子若能成功抓住這一機遇,結合公司已有的 2.5D 封裝技術基礎,積極參與 HBM 封裝產(chǎn)業(yè)鏈,將有望進一步提升公司在先進封裝領域的市場競爭力和技術影響力。
總體來看,甬矽電子憑借其在 2.5D 封裝領域的技術積累和設備優(yōu)勢,具備向 HBM 封裝市場延伸的潛力。但實際業(yè)務拓展仍需依據(jù)市場環(huán)境、技術發(fā)展和合作方的戰(zhàn)略規(guī)劃靈活調(diào)整。
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