KLA-Tencor宣布推出針對光學和EUV 空白光罩的全新FlashScanTM產(chǎn)品線

　　今天，KLA-Tencor公司宣布推出全新的FlashScanTM空白光罩*檢測產(chǎn)品線。自從1978年公司推出第一臺檢測系統(tǒng)以來，KLA-Tencor一直是圖案光罩檢測的主要供應商，新的FlashScan產(chǎn)品線宣告公司進入專用空白光罩的檢驗市場。光罩坯件制造商需要針對空白光罩的檢測系統(tǒng)，用于工藝開發(fā)和批量生產(chǎn)過程中的缺陷檢測，此外，光罩制造商(“光罩廠”)為了進行光罩原料檢測，設備監(jiān)控和進程控制也需要購買該檢測系統(tǒng)。 FlashScan系統(tǒng)可以檢查針對光學或極紫外(EUV)光刻的空白光罩。

　　“先進的光刻技術從表征良好的空白光罩開始。” KLA-Tencor的光罩和寬帶等離子晶圓檢測部總經(jīng)理熊亞霖博士指出，“無缺陷的EUV光罩坯件極難制造，這不僅推高了生產(chǎn)成本，也推延了EUV光刻可能帶給新一代芯片制造的惠益。 我們全新的FlashScan空白光罩檢測儀可以在裸基板，吸收膜和光阻涂層上捕獲各種類型的缺陷。此外，對比目前市場上的其他系統(tǒng)， FlashScan系統(tǒng)具有更高的產(chǎn)量和靈敏度，這將縮短空白光罩制造商和光罩廠的學習周期時間?！?/p>

　　利用KLA-Tencor晶圓缺陷檢測系統(tǒng)的激光散射技術，F(xiàn)lashScan系統(tǒng)可以滿足目前所有正在開發(fā)和生產(chǎn)的光學與EUV空白光罩對于靈敏度和檢測速度要求。采用光罩檢測市場獨特的三通道數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以對各種類型的光罩坯件的缺陷進行檢測、尺寸測量和區(qū)分，例如在空白光罩制造或運輸期間可能出現(xiàn)在光阻上的針孔和掉落顆粒。

　　領先的光罩廠對高靈敏度、高產(chǎn)量和全類型的缺陷檢測系統(tǒng)顯示了濃厚的興趣，這證明了市場對該產(chǎn)品的需求。為了保證空白和圖案光罩制造商所需的優(yōu)異性能和產(chǎn)量，F(xiàn)lashScan系統(tǒng)由KLA-Tencor全球綜合服務網(wǎng)絡提供技術支持。有關新FlashScan產(chǎn)品系列的更多信息(包括當前型號的說明)請查閱FlashScan的網(wǎng)頁。