65nm將成為大陸芯片制造主流

　　一度沉寂的大陸芯片制造行業(yè)最近忽然熱鬧起來，巧的是都與65nm技術(shù)息息相關(guān)。

　　Intel早在2009年就宣布，正在建設(shè)中的大連工廠Fab 68將采用65nm工藝技術(shù)。65nm工藝是目前美國政府批準(zhǔn)的在海外可采用的最高級別生產(chǎn)技術(shù)。這座12英寸晶圓廠預(yù)計今年建成投產(chǎn)。Intel大連芯片廠投資總額25億美元，是Intel在亞洲建立的首個300毫米晶圓制造工廠。

　　另一條消息是，北京相關(guān)政府與部門將投資50-60億美元，支持中芯北京300mm新廠的建設(shè)與新技術(shù)的開發(fā)，產(chǎn)能在短期內(nèi)將從目前的20000片逐步擴(kuò)充到45000片。中芯國際近期與IP 供應(yīng)商 Virage Logic和Synopsys分別達(dá)成了IP合作協(xié)議，希望在65nm及以下工藝技術(shù)領(lǐng)域奪得更多的市場份額。

　　作為業(yè)界標(biāo)桿的TSMC也在9日宣布，與復(fù)旦大學(xué)和ICC聯(lián)手進(jìn)行65nm研發(fā)。雖然TSMC受政策等因素制約，尚未在大陸進(jìn)行大規(guī)模的和先進(jìn)的芯片代工，但是通過走與高校合作、產(chǎn)學(xué)研結(jié)合的道路也不失為良策。

　　華力微電子的成立是近期的亮點，它選擇的技術(shù)平臺來自IMEC。IMEC與華力微電子在上月就65nm CMOS芯片技術(shù)的合作協(xié)議正式簽約。華力的技術(shù)團(tuán)隊將與IMEC的研發(fā)人員在比利時魯汶的IMEC總部的研發(fā)設(shè)備上共同調(diào)試IMEC 65nm基礎(chǔ)工藝，以滿足華力的工藝需求。

　　那么，65nm將成為大陸芯片制造的主流工藝嗎?

　　65nm工藝的主要特點是：足夠成熟，足夠先進(jìn)，良率高，產(chǎn)量大，設(shè)計平臺成熟可靠。從技術(shù)細(xì)節(jié)上來說，45nm用到的高k金屬柵、金屬雙大馬士革硬掩膜、低k材料等技術(shù)難度頗大，在65nm尚不需如此高端，為量產(chǎn)鋪平了道路。從大陸產(chǎn)業(yè)發(fā)展的角度來說，既要盈利，又要追趕先進(jìn)，那么65nm的確是一個很好的切入點，有助于盡快縮小與國際的差距，也利于盡快上馬生產(chǎn)。

　　大陸芯片產(chǎn)業(yè)的一個薄弱環(huán)節(jié)是設(shè)計。65nm的設(shè)計平臺已經(jīng)開發(fā)的非常成熟，在這個平臺上進(jìn)行低成本、低功耗的設(shè)計也有利于彌補產(chǎn)業(yè)鏈的不足。