安徽一8寸半導(dǎo)體晶圓線，正式投產(chǎn)

在5月26日開幕的第七屆智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會(huì)上，安徽華鑫微納集成電路有限公司發(fā)布：8英寸晶圓生產(chǎn)線首批產(chǎn)品成功串線，這標(biāo)志著全國(guó)首條8英寸MEMS晶圓全自動(dòng)生產(chǎn)線在蚌正式投產(chǎn)。

安徽華鑫微納集成電路有限公司副總經(jīng)理 丁敬秀：“今天我們8英寸生產(chǎn)線的第一個(gè)全流程產(chǎn)品，正式串線成功，它標(biāo)志著我們這條產(chǎn)線的系統(tǒng) 設(shè)備、質(zhì)量等等，都已經(jīng)達(dá)到一個(gè)相對(duì)比較完善的水平?！?/p>

華鑫微納主要從事MEMS晶圓制造，可加工產(chǎn)品涵蓋慣性傳感器、壓力傳感器、光MEMS器件等，主要應(yīng)用于高端裝備、汽車電子等領(lǐng)域。該項(xiàng)目是全國(guó)首條8英寸MEMS晶圓全自動(dòng)生產(chǎn)線、全國(guó)首條工藝設(shè)備配套齊全的壓電MEMS量產(chǎn)線。全部建成投產(chǎn)后，將具備月產(chǎn)3萬片晶圓的能力，成為國(guó)內(nèi)產(chǎn)出最大的MEMS晶圓生產(chǎn)線。

8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線項(xiàng)目是國(guó)家集成電路生產(chǎn)力布局的重大項(xiàng)目，也是國(guó)家發(fā)改委、國(guó)資委、工信部、安徽省關(guān)注的重大工程項(xiàng)目，2024年被列入國(guó)家重點(diǎn)工程。