中科信：搶占IC裝備業(yè)制高點

　　夏日的早晨，微風拂面，鳥兒輕鳴。北京中科信電子裝備有限公司(簡稱中科信)里一派繁忙景象，來來往往的員工或趕往廠房或直奔辦公大樓，為“十一五”國家科技重大專項———90nm-65nm大角度離子注入機樣機系統(tǒng)集成緊張而有序地忙碌著。

　　沖破封鎖

　　“工欲善其事，必先利其器”，2000多年前孔子話語中蘊含的深意同樣適用于當今中國的半導體業(yè)：沒有先進的電子制造設備，就不可能有自主先進的芯片產品;沒有先進的設備做支撐，中國的半導體業(yè)發(fā)展再快，也只是建立在沙漠上的高樓。

　　作為IC制造前道工藝設備，離子注入機技術復雜、涉及面廣，融光、機、電、計算機、材料、熱學、力學等各種專業(yè)技術為一體。國際上，離子注入技術主要集中在美國，著名的離子注入裝備生產商有美國Axcelis公司、Varian公司等。他們擁有最先進的離子注入機技術，研制的各種類型的離子注入機占據了大部分國際市場。

　　以美國為首的西方發(fā)達國家始終把IC設備列為對我國實行嚴格限制的技術領域之一，實行嚴密封鎖且禁止向我國出口先進的離子注入設備，不讓先進的設備和技術為中國人所掌握，以永遠維持自己的經濟和軍事霸權地位。

　　中科信作為國內唯一從事離子注入機與快速退火成套裝備的研發(fā)及產業(yè)化的高科技企業(yè)，責任重大。企業(yè)必須從戰(zhàn)略發(fā)展的高度出發(fā)，立足于自主創(chuàng)新，整體提升以離子注入機為代表的電子專用裝備制造業(yè)核心競爭力，建立起擁有自主知識產權的研發(fā)技術平臺，充分掌握有關離子摻雜處理工藝和整機裝備系統(tǒng)集成的先進技術，實現(xiàn)國產離子注入機設備的跨越式發(fā)展。

　　“十五”期間，中科信承擔了國家高技術研究發(fā)展計劃(863計劃)集成電路制造裝備重大專項———“100nm大角度離子注入機”項目，在不到3年的時間里，他們成功建立了國內一流的離子注入機技術研發(fā)及產業(yè)化平臺和技術服務體系，完全突破大角度離子注入機的5大系統(tǒng)、6大關鍵技術，有效建立了以專利為核心的知識產權體系，研制出具有自主知識產權的、能夠滿足100nm集成電路工藝要求的8英寸大角度離子注入機商品機，并實現(xiàn)出口。

　　初步具備了8英寸國產大角度離子注入機批量供貨的能力，實現(xiàn)了我國集成電路專用裝備制造水平由原來的6英寸500nm到8英寸100nm的技術水平的五級連跳，為我國離子注入機裝備進一步發(fā)展和實現(xiàn)產業(yè)化打下了堅實的基礎。

　　項目在圓滿實施后，先后榮獲“第一屆中國半導體創(chuàng)新產品”、“信息產業(yè)部2006年度信息產業(yè)重大技術發(fā)明”、“2007年度北京市科技進步一等獎”、“2007年度中國電子科技集團科技進步特等獎”、“2007年度中國電子學會科技一等獎”等多項殊榮，并成功入選“北京市首批自主創(chuàng)新產品”、“國家首批自主創(chuàng)新產品”目錄。

　　再攀高峰

　　科技之路，永無止境。

　　我國電子信息產業(yè)的發(fā)展規(guī)律是一代裝備、一代工藝、一代器件，裝備水平決定了產品技術水準。中科信人深知肩負的重擔和責任，90nm、65nm乃至45nm的科技難題如一座座的技術高峰，矗立在中科信人面前。他們從國家戰(zhàn)略需要出發(fā)，再次請纓承擔“十一五”國家科技重大專項任務。

　　通過國家專項組的權威專家的多次論證和評審，這支團隊整合了全球離子注入技術的優(yōu)勢資源，出色完成了項目實施方案的立項論證。在國家有關部委的大力支持下，率先開展了12英寸90nm-65nm大角度離子注入機的研發(fā)工作。2007年，經過項目技術組專家的多次方案討論，他們最終確定了90nm-65nm大角度離子注入機整機攻關的總體技術路線和實施方案，確定了α機、β機以及商品機等3代機型研發(fā)的技術路線，確定了整機功能劃分和模塊構成，完成了5大系統(tǒng)、82個子系統(tǒng)的設計方案。