AMAT發(fā)布硅晶圓切割線鋸新品

　　美國應用材料(AMAT)發(fā)布了可從硅錠上切出120μm厚太陽能電池用晶圓的線鋸設備“Applied HCT MaxEdge”。AMAT表示，使用該裝置可減少每枚晶圓的硅用量等，所以可將多晶硅型太陽能電池單元的制造成本降低約0.18美元/W(假設多晶硅的價格為55美元/kg時)。

　　Applied HCT MaxEdge可在不降低產(chǎn)量的情況下切割出較薄的晶圓。切割負荷比該公司原裝置“Applied HCT B5”可增大45%。兩裝置均采用以兩根金屬線切割的方法。但新產(chǎn)品具有可控制金屬線張力的功能，切割較薄的晶圓時可使用更細的金屬線。

　　使用原來的金屬線時，要制造較薄的晶圓，必須控制施加硅鑄錠上的負荷和切割速度。因此，難以兼顧高產(chǎn)和晶圓的薄型化。

　　太陽能電池單元廠商通過減薄晶圓，減少了每枚晶圓的硅用量，從而降低制造成本。但因變薄了的晶圓易碎裂，因此在切出晶圓后的制造工序中存在無法確保高成品率的問題。(