IC靜電放電的測試方法

　?。?）圖6為ND-模式（Pin-to-VDD負極性）：VDD腳接地，負的ESD電壓出現(xiàn)在該I/O腳對VDD腳放電，此時Vss與其他腳懸空。

3．2 Pin-to-Pin的靜電放電測試

　　靜電放電可能出現(xiàn)在IC的任何兩只管腳之間，若該兩只管腳之間無直接的相關(guān)電路，唯一共同使用的是VDD與Vss電源線相連接，就有可能出現(xiàn)當(dāng)ESD放電發(fā)生在不相干的兩只IC腳之間時，靜電放電電流會先經(jīng)過某部分電路流向VDD或Vss電源線上，再由VDD或Vss電源線連接流向另一只IC腳，再由那只IC腳流出IC。但是如果每一個IC的兩只管腳之間都要做測試，那么一個40HN的IC便要有1560種排列組合的ESD測試，這樣太浪費時間。因此測試標(biāo)準(zhǔn)便規(guī)定了改良式的測試方法。如圖7-圖8所示，即所謂的Pin-to-Pin測試。在該種方法的測試組合中，也按靜電放電的正負兩種極性分成兩種測試模式：

　　（1）圖7為正極性模式：正的ESD電壓出現(xiàn)在某一I／O腳，此時所有其他I／O腳全部接地，但所有的VDo腳與Vss腳都懸空。

　?。?）圖8為負極性模式：負的ESD電壓出現(xiàn)在某一I／O腳，此時所有其他I／O腳全部接地，但所有的VDD腳與Vss腳都懸空。

　　3． 3 VDD-to-VSS靜電放電測試

　　靜電放電也可能發(fā)生在VDD腳與VSS腳之間，因此對VDD腳與Vss腳有下列測試組合，其等效電路示意圖如圖9-圖12所示

　　1）圖9為VDD-正極性模式：正的ESD電壓出現(xiàn)在VDD腳，此時Vss接地，但所有的I／O腳都懸空。

　?。?）圖10為VDD-負極性模式：負的ESD電壓出現(xiàn)在VDD腳，此時Vss接地，但所有的I／O腳都懸空。

　?。?）圖11為Vss-正極性模式：正的ESD電壓出現(xiàn)在Vss腳，此時VDD接地，但所有的I／O腳都懸空。

　　（4）圖12為Vss-負極性模式：負的ESD電壓出現(xiàn)在Vss腳，此時VDD接地，但所有的I/O腳都懸空。

　　這里需要做一些說明：在一個IC中，各個管腳的功能有所不同?？赡苡袃蓚€或兩個以上標(biāo)注為相同名稱的電源腳（例如：Vcc、VDD、Vss、analog、GND、digital、GND等等），按照標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定，只要這些電源腳在內(nèi)部是通過金屬連接或歐姆連接，兩個電源腳之間的引線電阻小于2Ω，就可以把這一組電源腳或接地腳連在一起，看成是一個VDD Grouppin或VssGrouppin，其他IC腳分別對其進行靜電測試。否則就應(yīng)該把這些VDD或Vss看成是各自獨立的，其他腳分別按照以上的測試組合對其進行測試。除了電源腳以外的其他各種類型的管腳，比如數(shù)據(jù)、地址、讀寫控制、時鐘、基準(zhǔn)和補償?shù)裙苣_，在靜電測試時不用考慮其管腳的功能，只把他們看成是Inputpin或Outputpino。

　　3．4 Analog Pin的靜電放電測試

　　在類比（Analog）IC中有一種測試組合，在標(biāo)準(zhǔn)中是沒有規(guī)定到，但在實際使用中有些IC工程師為了能夠更精確的測試這類IC的抗靜電能力，經(jīng)常使用這種測試組合，這種組合就是類比（Analog）IC內(nèi)的差動輸入級（DifferentialPair）的測試組合。例如運算放大器（OPAMP）的輸入級，如果該差動輸入級的正負輸入級都連接到IC的管腳時，這兩只輸入腳要另外單獨做靜電放電測試，以驗證該兩只輸入腳所連接的差動輸入級會不會被靜電放電所破壞，其等效電路示意圖如圖13和圖14所示：

　?。?）圖13為正極性模式：正的ESD電壓出現(xiàn)在差動輸入級的正輸入腳位，此時差動輸入級的負輸入腳接地，但其他所有的I／O腳以及VDD與Vss腳都懸空。

　　（2）圖14為負極性模式：負的ESD電壓出現(xiàn)在差動輸入級的正輸入腳位，此時差動輸入級的負輸入腳接地，但其他所有的I／O