俄羅斯首臺(tái)350nm光刻機(jī)將在莫斯科生產(chǎn)

3月25日消息，據(jù)俄羅斯衛(wèi)星通訊社報(bào)道，莫斯科市長(zhǎng)謝爾蓋·索比亞寧近日在其 “電報(bào)” 頻道的賬號(hào)上發(fā)文稱，莫斯科“澤列諾格勒納米技術(shù)中心”公司已完成了俄羅斯首臺(tái)350nm光刻機(jī)的研發(fā)工作，這是生產(chǎn)微芯片的關(guān)鍵設(shè)備。

在俄烏沖突爆發(fā)后，美西方對(duì)俄羅斯實(shí)施了更為嚴(yán)厲的出口管制措施，其中半導(dǎo)體芯片及光刻機(jī)等半導(dǎo)體設(shè)備成為了限制的重點(diǎn)，這也迫使俄羅斯開始研發(fā)自主設(shè)計(jì)的國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)。

2023年，俄羅斯聯(lián)邦工業(yè)和貿(mào)易部副部長(zhǎng)瓦西里·什帕克（Vasily Shpak）在接受媒體采訪時(shí)就曾表示，2024年俄羅斯將開始生產(chǎn)350nm光刻機(jī)，2026年啟動(dòng)用于生產(chǎn)130nm制程芯片的光刻機(jī)。光刻機(jī)的生產(chǎn)將在莫斯科、澤列諾格勒、圣彼得堡和新西伯利亞的現(xiàn)有工廠進(jìn)行。

隨后在2024年5月，俄羅斯塔斯社報(bào)道稱，在CIPR 2024會(huì)議期間，Vasily Shpak宣布，俄羅斯首臺(tái)國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)已經(jīng)組裝完成，并正在澤列諾格勒進(jìn)行測(cè)試，該設(shè)備可確保生產(chǎn)350nm的芯片。但是當(dāng)時(shí)Vasily Shpak并未透露更多關(guān)于該光刻機(jī)的細(xì)節(jié)。

莫斯科市長(zhǎng)謝爾蓋·索比亞寧近日的最新爆料顯示，莫斯科“澤列諾格勒納米技術(shù)中心”公司已完成了俄羅斯首臺(tái)350nm光刻機(jī)的研發(fā)工作，并曝光了部分相關(guān)照片。

“全球有能力制造這一微芯片關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備的不到10個(gè)，如今，俄羅斯也躋身其中。我們已向過渡到自主生產(chǎn)微電子產(chǎn)品和國(guó)家技術(shù)完全獨(dú)立上邁出了最重要的一步?！彼鞅葋唽庍€指出，俄羅斯的這一設(shè)備與外國(guó)類似設(shè)備有著非常大的不同，俄羅斯的這一設(shè)備首次使用固體激光器來作為輻射裝置，而不是汞燈，固體激光器功率大、能效高、耐用性強(qiáng)、光譜更窄。

眾所周知，光刻機(jī)對(duì)于半導(dǎo)體的生產(chǎn)極為重要，當(dāng)前全球只有荷蘭ASML、日本尼康和佳能、中國(guó)的上海微電子這四家公司能夠生產(chǎn)光刻機(jī)，但是能夠生產(chǎn)先進(jìn)制程的光刻機(jī)只有ASML、尼康和佳能能夠供應(yīng)。雖然350nm是一種非常成熟的制程，但是依然可以滿足部分汽車、能源和通信行業(yè)的芯片需求。

莫斯科“澤列諾格勒納米技術(shù)中心”公司總經(jīng)理阿納托利·科瓦列夫表示：“我們公司已按照國(guó)家合同完成了俄羅斯首臺(tái)350nm拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)的投影式光刻機(jī)的研發(fā)工作。這一項(xiàng)目是與白俄羅斯“Planar”工廠合作實(shí)施完成的。在2024 年 12 月測(cè)試成功后，這一光刻機(jī)就獲得了國(guó)家委員會(huì)的認(rèn)可，并記錄了所有申報(bào)的技術(shù)特征。目前已有客戶購(gòu)買了這一設(shè)備，現(xiàn)在這一設(shè)備的工藝流程正根據(jù)最終用戶對(duì)生產(chǎn)的特殊要求進(jìn)行調(diào)整?！?/p>

報(bào)道稱，該350nm光刻機(jī)的工作區(qū)域面積顯著增加，達(dá)到了 22mm x 22mm，可加工最大直徑為200mm的晶圓。

據(jù)莫斯科市投資和工業(yè)政策局指出，“澤列諾格勒納米技術(shù)中心”公司已做好了批量生產(chǎn)這款350nm光刻機(jī)的準(zhǔn)備。此外，“澤列諾格勒納米技術(shù)中心”目前還正在按第二份國(guó)家合同繼續(xù)開展 130 納米光刻機(jī)的研發(fā)工作，預(yù)計(jì)于 2026 年完成。

根據(jù)此前曝光的計(jì)劃，2024年俄羅斯將撥款2,114億盧布（約合人民幣166.16億元）用于國(guó)內(nèi)電子產(chǎn)品的開發(fā)，其將包括可以生產(chǎn)350nm制程芯片的光刻機(jī)，2026年將完成用于生產(chǎn)130nm制程芯片的光刻機(jī)。

而俄羅斯決定開發(fā)350nm到65nm光刻機(jī)的原因，在于這一技術(shù)范圍內(nèi)的芯片多用于微控制器、電力電子、電信電路、汽車電子等方面上，這些應(yīng)用大約占據(jù)了整個(gè)市場(chǎng)的60%。所以，這類光刻機(jī)在全世界市場(chǎng)的需求量很大，并且將在至少10年內(nèi)有持續(xù)的需求。

Vasily Shpak此前還曾指出，一個(gè)簡(jiǎn)單的邏輯就是，如果沒有半導(dǎo)體主權(quán)，那就沒有技術(shù)主權(quán)，這將導(dǎo)致國(guó)防安全和政治主權(quán)方面就非常脆弱。

而現(xiàn)在俄羅斯已經(jīng)掌握了使用國(guó)外國(guó)光刻機(jī)制造65nm芯片的技術(shù)，但因?yàn)橥鈬?guó)公司被禁止向俄羅斯出口先進(jìn)的光刻機(jī)，所以俄羅斯也需要積極開發(fā)自己的光刻機(jī)。

針莫斯科政府部長(zhǎng)兼投資和工業(yè)政策局局長(zhǎng)阿納托利·加爾布佐夫評(píng)論道：“莫斯科是俄羅斯微電子發(fā)展的中心。如今莫斯科約占俄羅斯微電子企業(yè)總營(yíng)收的40%。微電子學(xué)和光子學(xué)的發(fā)展在城市和商業(yè)領(lǐng)域的各個(gè)行業(yè)都有著廣闊的應(yīng)用前景，包括光通信、傳感技術(shù)、無線電光子學(xué)等諸多方向。‘莫斯科科技城’經(jīng)濟(jì)特區(qū)的入駐企業(yè)目前正在實(shí)施一系列重大項(xiàng)目，每個(gè)項(xiàng)目都旨在生產(chǎn)具有戰(zhàn)略意義的產(chǎn)品?！?/p>