英飛凌推出基于MEMS的集成式先進超聲波傳感器

英飛凌科技股份公司在開發(fā)電容式微機械超聲波傳感器（CMUT）技術方面取得重大進展。憑借這項技術，公司推出首款高度集成的單芯片解決方案，該方案基于微機電系統(tǒng)（MEMS）的超聲波傳感器，擁有更小的占板面積以及更強大的性能和功能，可廣泛用于開發(fā)新型超聲波應用和改進消費電子、汽車工業(yè)與醫(yī)療技術領域的現(xiàn)有應用。

英飛凌科技高級總監(jiān)Emanuele Bodini表示：“英飛凌的超聲波技術可以實現(xiàn)很高的信噪比和集成度，因此我們認為該器件代表著行業(yè)的一大突破。我們希望利用這項技術開發(fā)出一個服務于不同行業(yè)多種應用場景的產(chǎn)品平臺。”

采用eWLB封裝的CMUT

與依靠材料本身變形的傳統(tǒng)壓電體材料不同，CMUT通過微加工半導體膜片的偏轉(zhuǎn)來傳輸和檢測超聲波。憑借這一原理再加上小尺寸、低功耗和高性能的特點，該器件能夠增強各種超聲波應用。與單管解決方案相比，英飛凌的MEMS和ASIC 集成技術可將本底噪聲降低到同等尺寸傳統(tǒng)壓電陶瓷材料的二十分之一，并將絕對信號增強一千倍。憑借在半導體設計和制造領域的專業(yè)經(jīng)驗，英飛凌可將先進技術應用于從消費電子到醫(yī)療設備等多個行業(yè)。

改進固態(tài)觸控按鈕

英飛凌的 CMUT 技術可在不使表面變形的情況下，在玻璃甚至金屬等任何固體材料下實現(xiàn)固態(tài)觸控按鈕。這為傳統(tǒng)的機械按鈕提供了更加耐用、可靠的替代品，降低磨損風險，延長設備的整體使用壽命。與可能受濕度和溫度等環(huán)境因素影響的電容式觸控按鈕相比，基于CMUT的觸控按鈕完全與水兼容，并具有高電磁兼容性（EMC）。由于該技術縮小了按鈕的尺寸，因此可以集成從智能手機到工業(yè)控制面板等各種設備，例如能將觸控按鈕安裝在手機金屬框架下或取代汽車門把手，以實現(xiàn)整潔的設計。

液位感應

英飛凌的CMUT可使一些需要液位感應的家用電器設備受益。CMUT具有多項優(yōu)勢，包括可連續(xù)測量填充液位、功耗低，以及可輕松、無損地安裝在水箱底部下方。由于接觸式電極可能會被腐蝕，因此最后一點對于測量洗衣機或洗碗機中的化學物質(zhì)等非常重要。

先進醫(yī)療應用

CMUT 技術還可用于開發(fā)使用超聲波技術的創(chuàng)新醫(yī)療設備，例如用于生命體征監(jiān)測、健康追蹤和無創(chuàng)醫(yī)療診斷的可穿戴設備。借助CMUT技術，這些設備能進行連續(xù)監(jiān)測和反饋，而非單次測量，因此能夠更早地發(fā)現(xiàn)潛在的健康問題，并提高患者的治療效果。由于尺寸小、功耗低，它們非常適用于可穿戴設備和定點照護應用。