國內(nèi)集成電路裝備產(chǎn)業(yè)的總結(jié)與展望

尖端光刻機(jī)設(shè)備及零部件方面的核心領(lǐng)軍人物之一朱煜老師給大家分享集成電路最卡脖子的裝備產(chǎn)業(yè)中值得思考的問題。

集成電路裝備產(chǎn)業(yè)的春秋時(shí)期

眾所周知，春秋時(shí)代周文王分封諸侯，而后形成春秋五霸。我國集成電路02 專項(xiàng)啟動(dòng)之后，在整體戰(zhàn)略部署下，國內(nèi)創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)和企業(yè)已有一個(gè)整體布局，每個(gè)企業(yè)都有專攻的一個(gè)領(lǐng)域，如今從無到有，從低端到高端，已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了一個(gè)非常好的水平。

在“春秋時(shí)代”，各企業(yè)一般是專攻1~2 種裝備，并且都是從0 開始去追趕，在02 專項(xiàng)重要的支持下，各企業(yè)紛紛取得突破。在企業(yè)數(shù)量有限的情況下，針對一個(gè)裝備，在“多選一”的條件下，競爭激烈，因而各企業(yè)基本不會(huì)研發(fā)相同的設(shè)備。在專項(xiàng)的部署下，企業(yè)與裝備形成一個(gè)完整的覆蓋面，形成“分封”的局面。經(jīng)過大家的努力與專項(xiàng)支持，各企業(yè)在擅長的設(shè)備領(lǐng)域發(fā)展迅速，并從而形成一個(gè)良性互補(bǔ)的狀態(tài)，并且與國外的技術(shù)差距逐步縮小，在補(bǔ)齊設(shè)備短板的同時(shí)，產(chǎn)業(yè)鏈條也變完整，基本上具備了一定的規(guī)模。

朱煜老師隨后盤點(diǎn)了集成電路裝備中的幾家核心企業(yè)，首位提到的是上海微電子，其在2002，是第一家成立的集成電路裝備公司，可謂是集成裝備領(lǐng)域“最硬的骨頭”，目前它的裝備涵蓋了前道光刻機(jī)、封裝光刻機(jī)和平板顯示光刻機(jī)。第二位是北方微電子，其在2001年注冊成立，經(jīng)過多年對光刻機(jī)的攻關(guān)，一步步發(fā)展壯大，目前在專項(xiàng)當(dāng)中是非常核心的裝備企業(yè)。中電科集團(tuán)的技術(shù)非常扎實(shí)，先后在離子注入機(jī)、化學(xué)機(jī)械拋光以及在封測設(shè)備方面取得了一系列的突破，在產(chǎn)業(yè)當(dāng)中有極大的貢獻(xiàn)。最后提到了中微半導(dǎo)體，其是一家海歸企業(yè)，也是一家明星企業(yè)，因?yàn)樵诳讨茩C(jī)方面的突破，使得美國放松了對中國刻制設(shè)備的限制，并在國際上具有一定的影響力。但除了這幾家企業(yè)之外，國內(nèi)其它企業(yè)在這個(gè)階段也獲得了良好的發(fā)展，在各自擅長的領(lǐng)域?qū)９ゼ夹g(shù)，實(shí)現(xiàn)突破，達(dá)到了一個(gè)百花齊放的情況，也為如今國內(nèi)技術(shù)蓬勃發(fā)展打下堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

在2018 年時(shí)，02 專項(xiàng)的資金已經(jīng)用完且基本停止布局新項(xiàng)目，并在2021 年完成了正式的專項(xiàng)驗(yàn)收，因此各企業(yè)失去了資源的推動(dòng)力量，從而進(jìn)入所謂的“戰(zhàn)國”時(shí)代。

集成電路裝備產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)國時(shí)期

“戰(zhàn)國”格局形成的一個(gè)重要外部條件是當(dāng)時(shí)正是中美科技戰(zhàn)越打越烈的階段，因而影響了整個(gè)運(yùn)行環(huán)境。國內(nèi)大生產(chǎn)線的企業(yè)非常需要好的設(shè)備，并希望更多企業(yè)能夠解決“卡脖子”的難題。經(jīng)過“春秋”時(shí)期，每家企業(yè)實(shí)力逐漸增強(qiáng)，甚至有獨(dú)立融資發(fā)展的能力，隨著19 年科創(chuàng)板開板，大批集成電路裝備企業(yè)登陸了科創(chuàng)板，陸陸續(xù)續(xù)的在資本市場獲得新的發(fā)展。

也使得企業(yè)有能力和資源拓展自己的產(chǎn)品線，每一種設(shè)備都出現(xiàn)了兩家甚至更多的競爭者，也就進(jìn)入一個(gè)新的時(shí)代，就是“戰(zhàn)國”時(shí)代，現(xiàn)在仍處于這個(gè)時(shí)代。在光刻、刻蝕、薄膜以及CMP 等技術(shù)領(lǐng)域，我國已培養(yǎng)大量科研人員，并有大批龍頭企業(yè)脫穎而出，形成強(qiáng)勁的戰(zhàn)斗力。企業(yè)、科研實(shí)驗(yàn)室及設(shè)備供應(yīng)商群雄紛爭，并且還在不斷出現(xiàn)新的競爭者，哪家做的好，優(yōu)勢大，客戶就會(huì)選擇誰，“戰(zhàn)國”局面日益凸顯并仍在不斷擴(kuò)大。

總體來講，“戰(zhàn)國”時(shí)代體現(xiàn)出來的是一個(gè)混戰(zhàn)，互相競爭。大家都熟悉“內(nèi)卷”這個(gè)詞，現(xiàn)在集成電路的方方面面也開始“卷”了起來，尤其是裝備領(lǐng)域，具體體現(xiàn)在同質(zhì)化競爭，各企業(yè)關(guān)注眼前利益，用最快的方式，例如通過“挖人”來獲取一些技術(shù)，這種方式帶來的只是浪費(fèi)，中國的集成電路裝備企業(yè)多但資源有限，且要面對國外的打壓、技術(shù)的限制，甚至一些極端性行為，在此情況下，自己內(nèi)部還在混戰(zhàn)，內(nèi)憂外患，這非常令人擔(dān)憂，這種情況如果任由發(fā)展，只會(huì)愈演愈烈，帶來的處境是非常殘酷的。

所以當(dāng)下必須要改變這樣的狀況，要正面的面對這樣的一個(gè)局勢，消除“內(nèi)卷”是要共同進(jìn)行努力，中國有一個(gè)典故是“從天下大亂進(jìn)入天下大治”，中國的集成電路裝備產(chǎn)業(yè)在外有艱巨的壓力和發(fā)展環(huán)境，因而內(nèi)部必須要有措施應(yīng)對。首先要肯定，在市場機(jī)制下的自由競爭并不是壞事，不應(yīng)反對競爭，也不應(yīng)反對市場機(jī)制，但容易忽視的是國產(chǎn)化率不容樂觀，目前在裝備方面還不能實(shí)現(xiàn)高度國產(chǎn)化，尤其在先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)，仍有很多設(shè)備目前還接近于空白。那么在美國、日本和歐洲企業(yè)這樣的一個(gè)壟斷之下，國內(nèi)仍需發(fā)展進(jìn)步。其次在客戶端也同樣面臨挑戰(zhàn)，國產(chǎn)設(shè)備仍未形成體系化，對于某些特殊的工藝需求，或針對一些關(guān)鍵工藝，我們的生產(chǎn)線仍不能完全滿足需求，無法保證其良率。

競爭要靠技術(shù)上的先進(jìn)性，并不是打價(jià)格戰(zhàn)、靠“內(nèi)卷”，用銷售的手段來搶訂單，打價(jià)格戰(zhàn)來獲得訂單。這種惡性競爭，它基于的不是創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)，從本質(zhì)上，這不應(yīng)作為競爭的主要方向。

在我們設(shè)備的零部件及材料仍然受限的情況下，設(shè)備的關(guān)鍵零部件、傳感器和各種材料生產(chǎn)難度非常大，投入成本也高，而且每一個(gè)關(guān)鍵零部件其實(shí)是不成規(guī)模的，沒有多少企業(yè)愿意做。因此這種情況會(huì)嚴(yán)重的制約設(shè)備企業(yè)的發(fā)展，需要把更多的精力用在培育零部件的供應(yīng)體系上，對于裝備企業(yè)是長遠(yuǎn)發(fā)展的一個(gè)基礎(chǔ)，這樣才有后面的動(dòng)力，需重點(diǎn)關(guān)注。

想要消除畏懼，營造健康的一個(gè)發(fā)展生態(tài)，首先要從產(chǎn)業(yè)目標(biāo)出發(fā)，主要強(qiáng)調(diào)協(xié)同創(chuàng)新，在內(nèi)循環(huán)的基礎(chǔ)之上進(jìn)行合理分工，良性競爭。不要做惡性競爭，更不要去做低水平的復(fù)制，要有創(chuàng)新，沒有創(chuàng)新，最后結(jié)局仍是整體被卡住。

共建集成電路裝備產(chǎn)業(yè)命運(yùn)共同體

裝備產(chǎn)業(yè)也不能光看裝備，要各個(gè)環(huán)節(jié)同步發(fā)展，一些基礎(chǔ)性的關(guān)鍵零部件，需要很多廠商共同來開發(fā)，要資源共享、共同開發(fā)。缺乏信任，資源封閉對于整個(gè)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展是負(fù)向作用，朱煜老師認(rèn)為共建產(chǎn)業(yè)鏈的上下游兼同行之間的彼此信任，推進(jìn)產(chǎn)業(yè)的融合發(fā)展，實(shí)現(xiàn)資源的共享，必須要“打群架”，齊心協(xié)力。集成電路裝備產(chǎn)業(yè)的技術(shù)壁壘和門檻非常高，能進(jìn)入這個(gè)行業(yè)的企業(yè)是有限的，希望大家術(shù)業(yè)有專攻，發(fā)揮自己特長，都去做高端設(shè)計(jì)，不要去做賺快錢的事，各個(gè)企業(yè)要在擅長的賽道里頭做精做細(xì)，做做到國際水平，真正把國產(chǎn)品牌做大做強(qiáng)，按照商業(yè)規(guī)則建立利益分享機(jī)制，尊重技術(shù)的創(chuàng)新規(guī)律，保持定力，持之以恒，鞏固集成電路的命運(yùn)共同體。

同時(shí)也希望國家加大政策支持力度，吸引社會(huì)資本對國產(chǎn)設(shè)備的投資。把握行業(yè)成長的規(guī)律，為不同發(fā)展階段的企業(yè)提供精準(zhǔn)性支持，同時(shí)也呼吁各個(gè)資本市場的有機(jī)組成部分發(fā)揮越來越大的作用，為半導(dǎo)體行業(yè)的命運(yùn)共同體做出貢獻(xiàn)，同時(shí)也相信國產(chǎn)企業(yè)必然會(huì)不斷崛起，真正立足于國際市場。

（本文來源于《EEPW》2023年11月期）