中國(guó)首臺(tái)ASML NXT2000i正式入駐SK海力士無(wú)錫工廠

　　12月19日晚間，中國(guó)首臺(tái)ASML NXT2000i正式搬入SK海力士位于無(wú)錫的工廠。

　　據(jù)ASML證實(shí)，此次入駐SK海力士無(wú)錫工廠確為NXT2000i，也即NXT2000。ASML解釋道，i是immersion的意思。NXT2000都是immersion的機(jī)器。所以NXT2000即NXT2000i。

　　據(jù)了解，無(wú)錫是SK海力士在中國(guó)的DRAM內(nèi)存芯片生產(chǎn)基地，目前每月晶圓的產(chǎn)量約為14萬(wàn)片。

　　同時(shí)，SK海力士還成立了SK Hynix System IC公司，開(kāi)始進(jìn)軍晶圓代工市場(chǎng)，同時(shí)增加1000萬(wàn)美元投資，在無(wú)錫擴(kuò)大模擬IC芯片業(yè)務(wù)。

　　今年8月份曾有消息表示，ASML已經(jīng)開(kāi)始出貨新品Twinscan NXT2000i DUV(NXT2000i雙工件臺(tái)深紫外光刻機(jī))，可用于7nm和5nm節(jié)點(diǎn)。

　　NXT2000i將是NXE3400B EUV光刻機(jī)的有效補(bǔ)充，畢竟臺(tái)積電/GF的第一代7nm都是基于DUV工藝。

　　同時(shí)，NXT2000i也成為了ASML旗下套刻精度(overlay)最高的產(chǎn)品，達(dá)到了和3400B一樣的1.9nm(5nm要求至少2.4nm，7nm要求至少3.5nm)。

　　當(dāng)時(shí)ASML只表示這款性能出眾的光刻機(jī)將于本年度末正式量產(chǎn)，尚未確定光刻機(jī)的價(jià)格。根據(jù)媒體的估計(jì)，按照目前ASML的定位，這款光刻機(jī)的定價(jià)應(yīng)該在幾千萬(wàn)至上億美元之間。ASML的3400B EUV光刻機(jī)的報(bào)價(jià)是1.2億美元一臺(tái)，而14nm節(jié)點(diǎn)的光刻機(jī)報(bào)價(jià)則在7200萬(wàn)美元。