14張圖看懂半導體工藝演進對DRAM、邏輯器件、NAND的影響

　　邏輯器件

　　在第八張幻燈片中，我介紹了格羅方德、英特爾、三星和臺積電的邏輯器件工藝節(jié)點。這四家廠商是邏輯器件工藝領域的領導廠商。應當特別指出的是，英特爾的節(jié)點通常等同于其他廠商下一代較小的工藝節(jié)點，比如英特爾的10nm和代工廠的7nm差不多。

　　幻燈片表格下方，左側顯示的是FinFET的橫截面，這是當前先進邏輯器件首選的工藝，右側顯示了納米線和納米片，預計將在4nm左右時替代FinFET。

　　在幻燈片9中，我介紹了一些主要的邏輯器件工藝的演變。在這張幻燈片中，我以英特爾/代工廠的兩個數(shù)字展示工藝節(jié)點，如上所述，英特爾的工藝節(jié)點和代工廠較小尺寸的工藝節(jié)點類似。

　　在第10張和第11張幻燈片中，我介紹了一些主要的邏輯工藝模塊，并討論了這些模塊對清洗和濕條帶的需求。

　　12號幻燈片是邏輯器件章節(jié)最后一張幻燈片，介紹了基于臺積電工藝節(jié)點的清洗步驟數(shù)量。當工藝尺寸下降到第一代7nm工藝時，由于增加了掩膜層，再加上多重圖案化的復雜性，清洗次數(shù)一直在增加，在隨后的7nm+和5nm節(jié)點上，由于EUV將顯著降低光刻的復雜度，因此消除了許多清洗步驟。