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SOI

SOI(Silicon-On-Insulator,絕緣襯底上的硅)技術是在頂層硅和背襯底之間引入了一層埋氧化層。通過在絕緣體上形成半導體薄膜,SOI材料具有了體硅所無法比擬的優(yōu)點:可以實現(xiàn)集成電路中元器件的介質隔離...... [查看詳細]

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