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MEMS/NEMS表面3-D輪廓測量中基于模板的相位解包裹算法

- 相位解包裹是使用相移顯微干涉法測量MEMS/NEMS表面3-D輪廓時(shí)的重要步驟.本文針對普通的相位解包裹方
法在復(fù)雜輪廓或包含非理想數(shù)據(jù)區(qū)的表面輪廓測量中的局限性,提出一種基于模板的廣度優(yōu)先搜索相位展開方法.通過模板
的使用,先將非相容區(qū)域標(biāo)記出來,在相位解包裹的過程中繞過這些區(qū)域,即可得到準(zhǔn)確可靠的相位展開結(jié)果.通過具體的應(yīng)
用實(shí)例可以證明,使用不同模板可以根據(jù)不同應(yīng)用的需要靈活而準(zhǔn)確地實(shí)現(xiàn)微納結(jié)構(gòu)表面3-D輪廓測量中的相位展開.
關(guān)鍵詞:MEMS/NEMS;表面 - 關(guān)鍵字: 模板 相位 包裹 算法 基于 測量 表面 3-D 輪廓 MEMS/NEMS
MEMS傳感器整合解決方案

- MEMS傳感器包括測量線性加速度和地球重力矢量的加速度計(jì)、測量角速率的陀螺儀、測量地球磁場強(qiáng)度以確定方位的地磁計(jì)和測量氣壓以確定高度的壓力傳感器。把這些傳感器整合在一起將會大幅擴(kuò)大這些傳感器的應(yīng)用范圍。本文以互補(bǔ)濾波器、卡爾曼濾波器和擴(kuò)展型卡爾曼濾波器(EKF)為例,論述在一個傳感器整合解決方案內(nèi)如何讓這些傳感器協(xié)調(diào)工作,幫助讀者了解如何把傳感器整合從概念變?yōu)楝F(xiàn)實(shí)。
- 關(guān)鍵字: 意法半導(dǎo)體 MEMS 傳感器 201111
采用綜合法封裝MEMS加速儀

- MEMS封裝系統(tǒng)應(yīng)有MEMS執(zhí)行感應(yīng)功能,而且還要避免受到外界環(huán)境的影響,同時(shí)持續(xù)地改進(jìn)質(zhì)量,達(dá)到較高的ppm性能。本文采用SOIC封裝,必須維持一個特定的共振頻率,從而防止傳感器被粘住或卡住。同時(shí),封裝必須確保傳感器是可靠和完整的,沒有出現(xiàn)斷裂或輸出偏差。本文采用一種綜合學(xué)科研究方法,以確定合適的固晶材料來徹底解決器件斷裂的問題。這種方法涉及振動分析、電氣響應(yīng)測定、壓力分析和斷裂力學(xué)。
- 關(guān)鍵字: 飛思卡爾 MEMS 加速儀 201111
CMOS電路IDDQ測試電路設(shè)計(jì)
- 摘要:針對CMOS集成電路的故障檢測,提出了一種簡單的IDDQ靜態(tài)電流測試方法,并對測試電路進(jìn)行了設(shè)計(jì)。所設(shè)計(jì)的IDDQ電流測試電路對CMOS被測電路進(jìn)行檢測,通過觀察測試電路輸出的高低電平可知被測電路是否存在物理缺
- 關(guān)鍵字: 電路設(shè)計(jì) 測試 IDDQ 電路 CMOS
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