電子材料出現(xiàn)融合趨勢，協(xié)作和多樣化日趨重要

　　加強對化學品輸送系統(tǒng)的關注

　　在大批量制造中是否能夠采用新型材料緊密相關的是要開發(fā)出合適的化學品輸送系統(tǒng)。 因為所用的“特殊”材料及其物理性能差異極大，所以目前正在開發(fā)更專門的輸送系統(tǒng)，能以一種產(chǎn)率最高、停機時間最少的方式將材料輸送到處理室(圖2)。 在許多情況下，為了確保材料的商業(yè)采用，實現(xiàn)這一點變得日益重要。

　　當前的經(jīng)濟環(huán)境使得對制造成本因素的審核比平常要嚴格得多。 每個因素都從其總擁有成本 (CoO) 角度進行考慮。 正如所預期的那樣，這包括了由電子化學品供應商提供的生產(chǎn)耗材。 考慮 CoO 的其中一個關鍵是材料，適當時，還包括用合適的輸送系統(tǒng)輸送材料(例如液體或蒸汽)的必要形式。 在考慮總擁有成本 (CoO) 時，輸送系統(tǒng)是一個關鍵因素，因為它可能會顯著減少工具的停機時間，確保更高的資產(chǎn)利用率，使各個流程能夠滿負荷運行，不出現(xiàn)停工情況，從而優(yōu)化工藝效率，并在不影響性能水平的前提下降低運營成本。 從這方面講，SAFC Hitech 最新的蒸汽輸送系統(tǒng) EpiVapor 可與我們現(xiàn)有的 Epifill 液體輸送系統(tǒng)互補，這兩個系統(tǒng)都是針對降低擁有成本 (CoO) 的需要而設計，可向沉積室不間斷地供應先驅體，從而盡量減少設備停機時間。 選擇使用什么輸送系統(tǒng)取決于裝置的工藝化學要求。

　　光伏產(chǎn)品和 LED 的興盛： III-V 族半導體和硅半導體的大規(guī)模生產(chǎn)會融合嗎?

　　隨著全球對能源的需求日益超過供應能力并且能源成本日益增加，解決能源供需之間的缺口給半導體設備制造商和材料供應商們帶來不少機遇。 解決問題的重點放在節(jié)能和開發(fā)可再生、可持續(xù)的能源上。

　　為了既能利用它們的專業(yè)技術探索新的增長點，又能在它們的傳統(tǒng)核心重點之外發(fā)揮重要影響，硅半導體制造商和設備提供商正在節(jié)能照明和光伏電池或模塊領域中尋找機會。 最近人們對用于照明應用的高亮度發(fā)光二極管 (HBLED) 的興趣激增，這為各硅半導體制造商開創(chuàng)了巨大的商機，甚至到了讓人覺得從事硅設備和化合物半導體設備制造的公司之間歷史界限已經(jīng)“模糊”的地步。 由于預期各種應用中的設備無論是壽命還是效率上都會有顯著的改善，目前 HBLED 的制造正在大幅增長。 盡管最近 HBLED 制造增長的主因是為了以 HBLED 替代 LCD 中的背板式冷陰極熒光燈 (CCFL) 照明，這種替代白熾燈和其它傳統(tǒng)燈具技術的常規(guī)照明技術的應用和采用正在加速發(fā)展到一個大規(guī)模采用的階段。