掩模版制造考驗中國潔凈室設計建造水平

　　目前，我國潔凈廠房的整體發(fā)展速度遠遠低于歐美國家，特別是設計、建造技術還存在很大的差距。電子行業(yè)潔凈廠房的建設雖然已經發(fā)展到了一個全新的時代，但目前仍不得不面臨技術水平要求相對粗放，設計、施工周期相對緊迫的現(xiàn)狀。這使得精品工程少，能夠做精品工程的企業(yè)更少，許多企業(yè)都在追求利益最大化，工程質量參差不齊。因此，越是規(guī)范的企業(yè)所承受的壓力越大。

　　在電子行業(yè)，規(guī)范、精細化的要求將滲透到企業(yè)的每一個環(huán)節(jié)，同時對潔凈廠房的建設要求也會越來越高。凈化企業(yè)很難僅僅依靠價格優(yōu)勢、施工速度占領市場，而是要靠新技術和施工綜合管理水平贏得市場份額。只有技術超前、質量過關的凈化企業(yè)才能滿足標準。同時，國內企業(yè)還必須擁有自主知識產權，以應對外國企業(yè)的競爭。

　　我國電子信息產業(yè)將持續(xù)發(fā)展，國內企業(yè)必須做好依靠精品工程獲取利潤的準備。由碧海永樂設計并建造的清溢TFT-LCD掩模版項目就是最好的例證。該項目潔凈室空氣潔凈度等級為1級(美聯(lián)邦標準FS209，相當于國際標準ISO3級)和10級(美聯(lián)邦標準FS209，相當于國際標準ISO4級)，且面積達到800平方米。該工程不僅潔凈度要求較高，同時對溫度、相對濕度、防微振、防靜電等相關參數(shù)的要求也遠遠超出一般設計要求，對設計人員的設計水平是一個嚴峻的挑戰(zhàn)。

　　為了滿足高級別潔凈度的要求，在設計、建造過程中，碧海永樂堅持科技領先、創(chuàng)新工藝設計。針對空氣過濾，采用了空氣凈化系統(tǒng)6級過濾流程——— 初效、中效、化學、中效、高效、超高效(終端)，實踐證明行之有效。在ISO3級和ISO 4級潔凈室，斷面風速采用0.35m/s，結果證明氣流組織合理。在項目設計、建設過程中，工程人員還引入了國際理念，在國內首次采用《潔凈室與相關受控環(huán)境》性能及合理性評價準則，對潔凈室的全過程進行控制，達到了預期效果。行業(yè)專家認為，該項目潔凈室HVAC系統(tǒng)(MAU+FFU+DC)合理可行。經美國專業(yè)公司采用國際標準測試，該項目潔凈室溫度、相對濕度、潔凈度、壓力梯度等潔凈室主要參數(shù)均達到TFT-LCD掩模版工藝生產要求。

　　2007年11月28日，備受國內外潔凈室建造界關注的“中國第一潔凈室”——— 清溢精密光電TFT掩模版項目正式竣工。這標志著我國1級、10級潔凈室設計建造不能完全獨立完成的歷史的結束，充分展示了我國潔凈室建設的超高水平。該項目是第一家由國內凈化公司獨立完成設計、施工的1級凈化項目，標志著我國已擁有國際潔凈室設計建造的最先進水平。