吉時利第三代晶圓射頻測量功能產品

吉時利儀器公司（Keithley）發(fā)布了用于半導體生產的第三代晶圓射頻 (RF) 測量能力的產品。該射頻參數測量系統(tǒng)的RF選件解決方案（選配件），能提供連續(xù)、自動、實時的測試和質量監(jiān)控，操作方便，可獲得最高通過率的信息吞吐量，測量質量高，且成本較低。 此外，該射頻參數測量系統(tǒng)在全球范圍內，是目前唯一獲得驗證的半導體參數測量系統(tǒng)，適合200mm和300mm晶圓廠進行應用參數工藝控制，以及高性能邏輯電路生產和高性能模擬集成電路生產。

吉時利公司的RF選件包括S680型SimulTest選件、自動探針板卡（可更換）及測試結構，可在探針touchdown中及相同的探針觸地范圍內進行同步直流和射頻測量。這一點可以從S680型參數測試結果得到證實，吉時利公司的RF選件具有DC-RF同步的直接駐泊（direct-dock）功能，其運行頻率為40GHz。

Keithley公司