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藍(lán)寶石基LED外延片背減薄與拋光工藝研究

作者： 時(shí)間：2011-08-28 來(lái)源：網(wǎng)絡(luò) 收藏
速和壓力只能使其在同一個(gè)數(shù)量級(jí)內(nèi)變化。通過(guò)測(cè)量經(jīng)過(guò)不同拋光時(shí)間后表面粗糙度的值，發(fā)現(xiàn)拋光時(shí)表面粗糙度下降的速率逐漸變慢，最后達(dá)到一個(gè)穩(wěn)定值，其大小取決于所選擇的工藝條件。上述結(jié)論為藍(lán)寶石基LED外延片背減薄與拋光工藝的進(jìn)一步優(yōu)化提供了依據(jù)。
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