使用SmartFactory Knowledge Advisor內(nèi)建OCAP解決方案，來擴(kuò)展工廠的自動(dòng)化智能能力

您知道工廠里將近 50% 的報(bào)廢是人為錯(cuò)誤造成的嗎（參見圖 1）？ 實(shí)現(xiàn)異常管制計(jì)劃（OCAPs）的自動(dòng)化是一個(gè)獲得投資回報(bào)的重要機(jī)會(huì)。

OCAP是供工程師為了解和糾正流程或生產(chǎn)設(shè)備上的缺陷而遵循的計(jì)劃。例如，如果統(tǒng)計(jì)過程發(fā)生異常，相關(guān)設(shè)備的處理就會(huì)停止，從而允許工程師執(zhí)行一系列任務(wù)，使設(shè)備盡快恢復(fù)在線狀態(tài)。

圖1 雖然其他原因通常被認(rèn)為是停機(jī)的最大原因，但人為錯(cuò)誤是停機(jī)的最大因素

數(shù)據(jù)可用性、可訪問性和完整性

但是，并非所有的任務(wù)都是現(xiàn)成的，或是平均地分配給工程師，并且沒有一個(gè)流程中的單一參數(shù)數(shù)據(jù)集能夠提供變異來源的完整圖景。用于控制計(jì)劃的數(shù)據(jù)通常駐留在不同的組件中，如SPC或FDC，它們各自具有的集成方法和數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)模型。在某些情況下，數(shù)據(jù)不存在、不完整，或者是在某個(gè)人的筆記本電腦上手動(dòng)進(jìn)行維護(hù)。此外，正確執(zhí)行恢復(fù)任務(wù)需要工程師制定適當(dāng)?shù)挠?jì)劃，閱讀并理解步驟，然后正確地執(zhí)行這些步驟。

內(nèi)建方法的價(jià)值

如今的晶圓廠需要一種更具凝聚力的方法，一種管理信息集并擴(kuò)展設(shè)施自動(dòng)化智能的方法。圖2概述了這種方法的需求，并重點(diǎn)介紹了實(shí)現(xiàn)具有適當(dāng)功能的OCAP解決方案的價(jià)值。

圖2 使用適當(dāng)?shù)淖詣?dòng)化策略，OCAP解決方案可使解決SPC和FDC違規(guī)的速度提高40%

減少可變性的集成工作流

為成功實(shí)施OCAP的這些組成部分并在您的工廠中擴(kuò)展自動(dòng)化智能，SmartFactory Knowledge Advisor提供集成的工作流引擎，該引擎可以：

●   在工作流中如上下文模式匹配（CPM）和數(shù)據(jù)模式中嵌入 AI 功能，幫助引導(dǎo)用戶

●   讓用戶能夠制定解決異常的行動(dòng)計(jì)劃

●   通過提供具有直觀用戶界面體驗(yàn)的工作流詳細(xì)信息來指導(dǎo)用戶解決錯(cuò)誤（參見圖 3 示例）

●   減少與錯(cuò)誤解釋因果關(guān)系相關(guān)的人為可變性

●   管理行動(dòng)跟蹤，識(shí)別以前的故障排除活動(dòng)

圖3 此示例計(jì)劃說明了瀏覽器上Web Analytics中用戶界面的可用性，并展示了如何在右側(cè)的主面板中輕松查看左側(cè)所選步驟的詳細(xì)信息

Knowledge Advisor有何與眾不同之處？

許多第三方或內(nèi)部OCAP解決方案缺乏多規(guī)程方法所需的“自動(dòng)化掛鉤”。例如，它們可能只與SPC應(yīng)用一起工作，而缺乏從其他系統(tǒng)收集數(shù)據(jù)以幫助排除異常故障的能力。

然而，Knowledge Advisor可容納來自任何應(yīng)用材料 E3?解決方案的數(shù)據(jù)，包括高級(jí)過程控制（APC）、SPC、FDC和配方管理（RM）。如圖4所示，該解決方案利用應(yīng)用材料E3的全部功能，促進(jìn)從各種來源和AI功能收集數(shù)據(jù)。

圖4 Knowledge Advisor是唯一一套用于構(gòu)建與SmartFactory E3系列完全集成的異常解決行動(dòng)計(jì)劃的解決方案

通過使用通用平臺(tái)，工程師可以更好地管理配方、設(shè)備、SPC和FDC違規(guī)。如果您將E3用于FDC或 SPC，那么擁有一個(gè)通用平臺(tái)可以為您減少跨CIM的管理點(diǎn)。

結(jié)論

在當(dāng)今的晶圓廠中，人為錯(cuò)誤是造成報(bào)廢和停機(jī)的最大原因。自動(dòng)化的成本必須對(duì)照回收和報(bào)廢的成本來考慮。因此，關(guān)鍵是衡量什么樣的自動(dòng)化水平適合保持具有競(jìng)爭(zhēng)力的利潤(rùn)率和對(duì)未來增長(zhǎng)的投資。Knowledge Advisor旨在為客戶提供具有成本效益的靈活性。憑借其集成和準(zhǔn)確決策的能力，Knowledge Advisor使用戶能夠更有效地解決設(shè)備和流程故障。主要成果包括減少重復(fù)違規(guī)和錯(cuò)誤決議、改進(jìn)審計(jì)合規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)化錯(cuò)誤處理活動(dòng)和減少信噪比管理的AI能力。

我們的SmartFactory自動(dòng)化解決方案已經(jīng)服務(wù)半導(dǎo)體行業(yè)超過30年，并在半導(dǎo)體工廠的各個(gè)方面都擁有一流的專業(yè)技術(shù)。