一種直升機發(fā)動機用壓力傳感器的設(shè)計

作者：金琦,劉妍,魏曉明,李斌,單鶴南(沈陽儀表科學(xué)研究院有限公司,沈陽 110043) 時間：2022-12-23 來源：電子產(chǎn)品世界

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編者按：設(shè)計了一種壓力傳感器在一個壓力敏感芯體內(nèi)部封裝兩個獨立的壓力電橋?qū)崟r測量壓力，經(jīng)過放大電路處理輸出標準信號，每組測量電橋搭配一套處理電路，互不干擾。該設(shè)計代替了兩臺傳感器工作，大幅節(jié)省了空間，同時采用高溫元件，保證產(chǎn)品能在高溫（200℃）環(huán)境下正常工作。

直升機發(fā)動機內(nèi)部空間狹小，整個系統(tǒng)的控制過程中供油、液壓和壓縮等都需要大量的壓力測量單元，同時為了保證測量的可靠性和準確性，要求傳感器在更小的安裝空間內(nèi)實現(xiàn)高溫（200℃）的多冗余測量。雙冗余高溫 壓力傳感器是在同一個耐高溫壓力敏感芯體內(nèi)部封裝兩個獨立但基本性能相同的壓力電橋?qū)崟r測量壓力，代替兩臺壓力傳感器工作，大幅節(jié)省了空間，傳感器經(jīng)過溫度補償后進行放大處理，輸出兩路壓力信號，在高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作。

本文引用地址：http://2s4d.com/article/202212/442051.htm

1 設(shè)計方案

1.1 整體設(shè)計

本次設(shè)計的雙冗余高溫壓力傳感器以高精度、高可靠的硅芯片為核心元件，內(nèi)置模擬溫度補償電路、信號處理電路，經(jīng)過調(diào)理后輸出兩路標準信號，保證產(chǎn)品的可靠性，實現(xiàn)高溫環(huán)境下的應(yīng)用。雙冗余高溫壓力傳感器的原理框圖如圖1所示。

圖1 雙冗余高溫壓力傳感器原理框圖

1.2 壓力敏感芯體設(shè)計

壓力敏感芯片利用壓阻效應(yīng)工作原理，選用SOI（silicon on insulator）晶圓材料制作敏感芯片。

在敏感芯片上設(shè)計4 個敏感電阻組成惠斯登電橋，敏感電阻之間及其與襯底之間由1 層氧化層隔開，消除了高溫環(huán)境下PN 結(jié)壓力敏感芯片的功能障礙，保障了傳感器長期在高溫200℃ 下工作的要求。壓力敏感芯體采用隔離式封裝的充油結(jié)構(gòu)，敏感芯片底部用玻璃密封，然后用絕緣膠固定在管座上，壓力敏感芯片上部充滿保護液，封裝在彈性金屬膜片里感受被測壓力，芯片上的敏感電阻引出點用金絲與燒結(jié)管座的引腳相連，壓力敏感芯體封裝如圖3 所示。

圖3 雙芯片壓力敏感芯體的封裝形式

1.3 壓力傳感器溫度補償設(shè)計

壓力傳感器是根據(jù)硅壓阻電橋的測量原理來實現(xiàn)壓力與電信號的傳遞，而芯片的橋路電阻受溫度的影響會產(chǎn)生有規(guī)律的漂移現(xiàn)象，在橋路結(jié)構(gòu)中，溫度漂移的影響遠遠大于其他條件的影響，所以要針對溫度進行漂移補償，修正因芯片受溫度的影響而產(chǎn)生的漂移誤差，提高壓力傳感器的精度。

本次設(shè)計的雙冗余高溫壓力傳感器激勵電源為恒壓模式，這就要對傳感器的恒壓供電溫度補償進行研究，根據(jù)電橋的供電原理圖可得：

根據(jù)理論計算和試驗，本項目采用復(fù)合電阻網(wǎng)絡(luò)的方式，同時針對傳感器全溫區(qū)的補償精度設(shè)計了新的測試方法和流程進行溫度補償。

圖4 復(fù)合電阻補償網(wǎng)絡(luò)原理圖

圖中R_s是溫度補償電阻網(wǎng)絡(luò)，R是橋路電阻。

當(dāng)溫度升高時，橋路本身的靈敏度輸出變小，同時，橋路的阻抗R 升高。由于溫度補償電阻R_s 的溫度系數(shù)非常小，阻值基本無變化，當(dāng)總供電電壓不變時，橋路的分壓升高，從而對橋路的靈敏度做出補償，這只是基本原理圖，不同傳感器的補償網(wǎng)絡(luò)電路要根據(jù)產(chǎn)品的溫度輸出曲線進行逐點補償，實際操作起來要復(fù)雜的多，經(jīng)過補償?shù)膫鞲衅鳒囟绕频玫搅藰O大的改善，能夠滿足航空、航天高精度傳感器的要求。

1.4 信號處理電路設(shè)計

電路設(shè)計需要從兩方面考慮：①高溫環(huán)境（200℃），②產(chǎn)品體積緊湊；綜合這兩點要求選擇專用的高溫集成芯片來完成壓力信號的處理功能，專用芯片外圍電路簡單，并且能保證產(chǎn)品的精度。

壓力傳感器芯體上的兩個壓力芯片產(chǎn)生的mV 信號通過放大電路轉(zhuǎn)換為標準電壓信號（0.5 ～ 5 V）輸出，常溫下精度優(yōu)于0.1%FS，通過溫度補償，-55℃ ～ 200℃全溫區(qū)內(nèi)溫度漂移可低于0.02%FS/℃，電路中所有電子元器件均可承受200℃ 高溫，每組測量電橋搭配一套處理電路，兩套處理電路相互獨立，不產(chǎn)生干擾。

圖5 單個傳感器信號電路原理圖

1.5 傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計

雙冗余壓力傳感器不但要滿足高溫環(huán)境中的振動和沖擊等要求，還要滿足小體積結(jié)構(gòu)的要求，這就需要可靠的裝配工藝和特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計。在抗振動、沖擊等方面，采用高溫硅膠、螺紋膠對線路板和導(dǎo)線進行固定。由于產(chǎn)品的外型尺寸和體積限定，為此，我們采用無蠕變的封裝和高強度的封接技術(shù)、低熱漲系數(shù)的保護介質(zhì)充灌、帶油焊接和精密熔化焊接，來確保傳感器結(jié)構(gòu)的合理性。