單臺(tái)1.5億美元 ASML制造新一代EUV光刻機(jī)

據(jù)《連線》雜志報(bào)道，在美國(guó)康涅狄格州郊區(qū)的一間潔凈室中，ASML的工程師們正在為一臺(tái)單臺(tái)造價(jià)1.5億美元的新機(jī)器制造關(guān)鍵部件，該部件是新一代EUV系統(tǒng)的組成部分，會(huì)采用一些新技術(shù)來(lái)最大限度地減少其使用的光波長(zhǎng)，包括縮小芯片的特征尺寸并提升性能。

ASML的工程師正在裝配系統(tǒng)組件（圖片來(lái)自ASML）

      要知道，當(dāng)前的EUV機(jī)器已經(jīng)像一輛公共汽車那么大，包含10萬(wàn)個(gè)零部件和兩公里長(zhǎng)的電纜，運(yùn)輸這些組件需要40個(gè)貨運(yùn)集裝箱、三架貨機(jī)和20輛卡車，能夠買得起這種設(shè)備的公司只有少數(shù)幾家，大部分供貨給了臺(tái)積電、三星和英特爾。至于新一代EUV光刻機(jī)，則可以讓科技產(chǎn)業(yè)在未來(lái)十年繼續(xù)保持高速發(fā)展。

      在康涅狄格州的工作室內(nèi)，可以看到一塊巨大的鋁被雕刻成一個(gè)框架，最終形成一個(gè)面罩或“標(biāo)線”，以納米精度移動(dòng)，反射一束極紫外光。同時(shí)，新機(jī)器還引入了一種新方法在芯片上產(chǎn)生更小的特征——更大的數(shù)值孔徑，允許光以不同的角度穿過(guò)光學(xué)器件來(lái)提高成像的分辨率，這需要更大的鏡面，以及新的軟件和硬件精確控制組件。

      據(jù)了解，新機(jī)器的成品組件預(yù)計(jì)在2021年底運(yùn)往荷蘭Veldhoven，之后在2022年初添加到首臺(tái)下一代EUV機(jī)器的原型機(jī)。使用新系統(tǒng)制造的第一批芯片可能由英特爾制造，英特爾曾表示，到2023年其會(huì)獲得其中的一臺(tái)設(shè)備。

只有少數(shù)公司買得起ASML的巨型機(jī)器（圖片來(lái)自ASML）

      通過(guò)使用非凡的工程縮小用于制造芯片的光波長(zhǎng)，EUV可以延續(xù)技術(shù)的領(lǐng)先性，從而推動(dòng)智能手機(jī)、云計(jì)算、AI、生物技術(shù)、機(jī)器人等領(lǐng)域的快速發(fā)展。“摩爾定律的消亡論被夸大了?！甭槭±砉W(xué)院研究新型晶體管架構(gòu)的教授Jesús del Alamo認(rèn)為，“我認(rèn)為它會(huì)持續(xù)很長(zhǎng)一段時(shí)間?！?/p>