Picarro宣布用于半導(dǎo)體晶圓廠的氣體分子污染監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

Picarro宣布推出經(jīng)我們完全優(yōu)化的AMC監(jiān)控系統(tǒng)——Picarro SAM(取樣Sample、分析Analyze和監(jiān)測(cè)Monitor)。該系統(tǒng)由Picarro在業(yè)界領(lǐng)先的基于CRDS的傳感器組成,該傳感器已集成到最新的采樣系統(tǒng)中。SAM單元可提供高通量采樣,而不會(huì)影響傳感器的性能。 

新的Picarro SAM系統(tǒng)是從組件產(chǎn)品到系統(tǒng)解決方案的重大轉(zhuǎn)變。一站式的設(shè)計(jì)、制造和測(cè)試系統(tǒng)的好處包括:

?針對(duì)Picarro硬件和軟件設(shè)計(jì)且完全集成的系統(tǒng)——無(wú)集成兼容性問(wèn)題 

?Picarro SAM系統(tǒng)進(jìn)行過(guò)精心優(yōu)化——系統(tǒng)性能符合Picarro Semi系統(tǒng)規(guī)格

新發(fā)明的、正在申請(qǐng)專(zhuān)利的氣體輸送歧管促成了SAM的顯著性能優(yōu)勢(shì),使其在很短的時(shí)間內(nèi)達(dá)到萬(wàn)億分之幾(ppt)的檢測(cè)靈敏度,并能快速將SAM系統(tǒng)恢復(fù)到基線(xiàn)靈敏度水平。這使得SAM成為在線(xiàn)實(shí)時(shí)AMC監(jiān)視系統(tǒng)的理想選擇。該系統(tǒng)帶有易于使用的圖形用戶(hù)界面,可進(jìn)行各種圖表和趨勢(shì)分析。

SAM可以配置為從8個(gè)或16個(gè)端口采樣,并且目前可用于檢測(cè)氨、氟化氫和鹽酸,這三個(gè)關(guān)鍵AMC會(huì)影響半導(dǎo)體晶圓的產(chǎn)量。展望未來(lái),我們將根據(jù)Picarro的半導(dǎo)體產(chǎn)品路線(xiàn)圖為其它氣體提供SAM系統(tǒng)。

SAM系統(tǒng)路線(xiàn)圖還將支持復(fù)雜的AMC分析,以幫助客戶(hù)更準(zhǔn)確地快速識(shí)別AMC事件的位置,從而允許采取更快的糾正措施,以提高與AMC相關(guān)的晶圓產(chǎn)量。