為我國集成電路產(chǎn)業(yè)打下強芯劑，中試基地打通科研成果到產(chǎn)業(yè)化最后一公里

　　近年來，“中試基地”在力促創(chuàng)新的各地政策中出現(xiàn)的頻率越來越高，也成為多地政府工作的重點，例如北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)就提出要重點培育集成電路IP設(shè)計等10個產(chǎn)業(yè)中試基地。

　　由于科技成果與產(chǎn)業(yè)化市場“距離”甚遠(yuǎn)，中試基地便應(yīng)運而生。中試基地可以對科技成果進行二次開發(fā)，并可模擬實際生產(chǎn)工況來驗證，極大地促進科技成果向經(jīng)濟市場轉(zhuǎn)化。甚至有數(shù)據(jù)顯示，科技成果經(jīng)過中試驗證后，轉(zhuǎn)化成功率可達50%～80%，而未經(jīng)過中試基地驗證的，其轉(zhuǎn)化成功率低于30%。

　　我國中試基地起源于20世紀(jì)90年代初，當(dāng)時主要依托科研院所成立，而后國家對中試基地的支持也擴展到了高校。當(dāng)然，也有企業(yè)籌建的中試基地。中試基地一般包括場地和設(shè)備兩大因素，場地包括技術(shù)研發(fā)平臺、中試基地線、小規(guī)模生產(chǎn)廠房、孵化器平臺等，設(shè)備包括實驗設(shè)備、試制生產(chǎn)設(shè)備、在線檢測設(shè)備等。

　　在集成電路領(lǐng)域也有一些典型的中試基地案例。

　　上海微技術(shù)工業(yè)研究院

　　上海微技術(shù)工業(yè)研究院是由中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所和上海市嘉定區(qū)人民政府于2013年聯(lián)合成立的，目標(biāo)是打造世界級傳感器及超越摩爾領(lǐng)域新型研發(fā)機構(gòu)并培育物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)產(chǎn)業(yè)群，集研發(fā)、工程、孵化于一體，為創(chuàng)新企業(yè)及合作伙伴提供全方位的服務(wù)和解決方案。

　　2017年9月，由上海微技術(shù)工業(yè)研究院建設(shè)的8英寸超越摩爾研發(fā)中試線正式啟動，當(dāng)年12月成功通線，首款傳感器產(chǎn)品獲得驗證通過。該中試線填補了我國微機電系統(tǒng)智能傳感器領(lǐng)域缺乏小批量中間性試驗生產(chǎn)線的空白，其前期產(chǎn)能為每月生產(chǎn)3000片左右晶圓，后期將達到5000片。

　　據(jù)悉，目前運動傳感器、聲學(xué)傳感器、環(huán)境傳感器以及生物傳感器是工研院現(xiàn)階段聚焦的主要方向。未來，將重點布局硅光技術(shù)等領(lǐng)域。

　　第三代半導(dǎo)體材料及應(yīng)用聯(lián)合創(chuàng)新基地

　　2016年可謂是我國第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展“元年”，而其標(biāo)志性事件便是北京第三代半導(dǎo)體材料及應(yīng)用聯(lián)合創(chuàng)新基地動工和第三代半導(dǎo)體南方基地落戶廣東。

　　可見，第三代半導(dǎo)體材料及應(yīng)用聯(lián)合創(chuàng)新基地對于我國第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)而言意義深刻。

　　第三代半導(dǎo)體材料及應(yīng)用聯(lián)合創(chuàng)新基地于2015年4月發(fā)起設(shè)立，2016年7月20日在中關(guān)村順義園啟動建設(shè)，總投資超10億元，將建設(shè)第三代半導(dǎo)體工藝、封裝測試、可靠性檢測、科技服務(wù)等基礎(chǔ)平臺，建設(shè)主體為國家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟與順義區(qū)政府。據(jù)悉，該基地已于2018年12月竣工，2019年將投入使用。

　　第三代半導(dǎo)體材料市場前景廣闊，是北京布局高精尖產(chǎn)業(yè)的重要內(nèi)容，更是順義確定發(fā)展的三大創(chuàng)新型產(chǎn)業(yè)集群之一。近年來，順義區(qū)圍繞加快第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展做出了深度布局，而第三代半導(dǎo)體材料及應(yīng)用聯(lián)合創(chuàng)新基地便是布局中的重要一環(huán)。

　　北京第三代半導(dǎo)體材料及應(yīng)用聯(lián)合創(chuàng)新基地與第三代半導(dǎo)體南方基地還存在一定的差異。北京基地重點打造集研發(fā)中試平臺、產(chǎn)業(yè)服務(wù)平臺、產(chǎn)業(yè)基金和園區(qū)建設(shè)為一體的產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新生態(tài)系統(tǒng);南方基地的建設(shè)是以“研究院公司+研究院+產(chǎn)業(yè)園區(qū)+產(chǎn)業(yè)基金”模式建設(shè)全產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)創(chuàng)新體，完全以市場化為導(dǎo)向。

　　國家專用集成電路系統(tǒng)工程技術(shù)研究中心中試基地

　　國家專用集成電路系統(tǒng)工程技術(shù)研究中心(國家ASIC工程中心)組建于1992年，由教育部、江蘇省科技廳主管，設(shè)有專用集成電路實驗室、江蘇省產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院專用集成電路技術(shù)研究所及中試基地。

　　該中心的成果轉(zhuǎn)化中試基地是江蘇東大集成電路系統(tǒng)工程技術(shù)有限公司，該公司成立于2002年，以IC設(shè)計、嵌入式系統(tǒng)設(shè)計為核心，致力于掌握嵌入式系統(tǒng)的核心技術(shù)和提供自主知識產(chǎn)權(quán)的信息終端產(chǎn)品與解決方案，產(chǎn)品涉及金融支付產(chǎn)品、移動信息終端產(chǎn)品以及集成電路設(shè)計服務(wù)。

　　2009年5月，工程中心成立國家ASIC工程中心(無錫)，無錫中心由5個關(guān)鍵共性技術(shù)研發(fā)實驗室及中試基地(無錫東集電子有限責(zé)任公司)組成，實驗室面向SoC領(lǐng)域開展關(guān)鍵共性技術(shù)研發(fā)，中試基地開展技術(shù)成果的中試及自主轉(zhuǎn)化。

　　蘇州納米城

　　蘇州納米城英文名為“NanopolisSuzhou”，位于蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號，占地約100公頃，規(guī)劃建筑面積150萬平方米，目前是全球最大的納米技術(shù)應(yīng)用產(chǎn)業(yè)綜合社區(qū)，也是國家納米技術(shù)國際創(chuàng)新園、國家納米高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化基地的核心區(qū)域。

　　數(shù)據(jù)顯示，蘇州納米城入駐企業(yè)已超300家，形成了納米新材料和MEMS兩大企業(yè)集群，在MEMS、氮化鎵材料、激光器、LED、印刷電子、微納柔性制造等多個領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了國際一流、國內(nèi)領(lǐng)先的核心關(guān)鍵技術(shù)的突破。

　　蘇州納米城由蘇州納米科技發(fā)展有限公司建設(shè)與管理，集“創(chuàng)新研發(fā)、工程化中試、小規(guī)模生產(chǎn)、成果轉(zhuǎn)化、專利運營、產(chǎn)業(yè)服務(wù)、總部辦公、會議展示、綜合配套”等產(chǎn)業(yè)功能于一體。

　　蘇州納米科技發(fā)展有限公司旗下全資子公司MEMSRIGHT擁有6英寸微納機電制造(MEMS)中試平臺，這是我國首條工業(yè)級、市場化、全開放運營的中試線，能夠為中小MEMS企業(yè)成長提供助力。

　　最近刷屏的“新型仿生柔性傳感器研發(fā)獲新突破”就源自于蘇州納米城的一家企業(yè)——能斯達。漢威科技子公司能斯達由中國科學(xué)院蘇州納米所研究員張珽博士創(chuàng)立，致力于柔性壓力傳感器的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，開創(chuàng)了國內(nèi)柔性智能感知技術(shù)和印刷電子的領(lǐng)先品牌，公司將柔性感知傳感器與智能終端緊密結(jié)合，打造了柔性傳感智能化平臺。

　　國家02專項光刻機浸液系統(tǒng)研制與中試基地

　　2018年，國家02專項光刻機浸液系統(tǒng)研制與中試基地項目簽約落戶浙江杭州青山湖微納智造小鎮(zhèn)。該項目致力于研發(fā)浸沒式光刻機的核心部件之一浸液系統(tǒng)。

　　浸液系統(tǒng)是浸沒式光刻機四大核心部件之一，是光刻機突破物理極限向更小技術(shù)節(jié)點發(fā)展的標(biāo)志性技術(shù)。目前，國際上有擁有浸液系統(tǒng)技術(shù)的廠商寥寥無幾，僅有荷蘭ASML、日本Nikon等。

　　所謂02科技重大專項，即為“極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝”專項。浸液系統(tǒng)項目是浙江在02重大專項光刻機研發(fā)任務(wù)中承擔(dān)的體量最大、技術(shù)最尖端的研發(fā)項目。該項目有望打破國外壟斷，打造擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的高端光刻機設(shè)備，甚至對于我國芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展都具有重大意義。

　　當(dāng)然，隨著不同領(lǐng)域、不同規(guī)模的中試基地在我國相繼而生，中試基地也暴露出金融服務(wù)體系不健全、信息對接不暢通等問題。不過隨著“中試基地”被寫進各地政策，受重視度越來越高，這些情況也將得到改善。

　　此外，還有一大批中試基地在“路上”，例如2018年江蘇表示將籌建集成電路工藝研究所，該研究所希望通過構(gòu)建一個8英寸的中試線制造平臺，來帶動江蘇省集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展，孵化自己的臺積電。