一款采用聚合物涂層微橋式壓差傳感器的低功耗電子

一款采用聚合物涂層的微橋式壓差傳感器(microbridge)，它可以檢測吸附在其芯片數(shù)組上的氣體濃度。一款能偵測出哮喘、肺癌、腎臟病等健康狀況問題的低功耗電子鼻便是通過采用這項技術才能得以實現(xiàn)。比利時的IMEC和荷蘭的霍爾斯特中心已經(jīng)成功開發(fā)出一款用于氣體檢測的集成式傳感組件。這項已經(jīng)公開演示的技術具有功耗低（1毫瓦/橋）和外形尺寸小巧的優(yōu)點。

作為一種診斷手段，可以化學地檢測氣體成分的無線傳感器節(jié)點正在迅速引起人們的關注。這款電子鼻可以用在非指定環(huán)境下，通過其多個傳感接收體來檢測氣體的成份。

一款完整的傳感器芯片在電子顯微鏡下的掃描圖像。

通過采用特定的渡層，這些緊密排放的各自振動的微橋式諧振器可以被用于分離不同氣體(從而識別出氣體的成份)。

升級當前的技術（如，化學電阻或石英水晶）需要很大功率。而IMEC和霍爾斯特中心共同開發(fā)的微橋式壓差傳感器可以被嵌入在高密度排列的各個壓電電機中。該設計采用噴墨印刷技術將一系列吸收劑迅速地涂在各個微橋式壓差傳感器上。懸吊式結構在振蕩過程中發(fā)生振動和變化，這一現(xiàn)象被監(jiān)測用作被測氣體已經(jīng)被吸收的跡象。因為這一結構具有較高的長度-厚度比，所以要求被檢測的氣體為低濃度氣體。完整的傳感器芯片尺寸為9 × 9毫米，由160個分立式可尋址的微型機電諧振器組成，其縱橫比（長度/厚度）范圍在140~1500。

該研發(fā)團隊的下一個目標是將這一結構與低功耗模擬讀取電路集成，并實現(xiàn)對多個結構的同步測量。

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