國(guó)內(nèi)外高端頻率控制器件的技術(shù)比較

0 引言

近年來，通信業(yè)頻率源的大量需求以及軍工方面對(duì)頻率源廣泛應(yīng)用，加之精密導(dǎo)航定位對(duì)參考時(shí)間的依賴，作為程控交換設(shè)備的一級(jí)銣原子頻標(biāo)的價(jià)格和體積都逐漸接近了高穩(wěn)定度振蕩器。另一方面目前市場(chǎng)用量最大的各種石英晶體諧振器和振蕩器的需求量每過4年左右就翻一番。從1999年到2004年，石英晶體諧振器和振蕩器的市場(chǎng)需求量分別由13.2億和24.7億美元發(fā)展到27.7億和52.6億美元?？梢?，頻率源作為各種高精度通訊及信息傳遞設(shè)備的核心器件，其潛在的發(fā)展前景是穩(wěn)定增長(zhǎng)的，只是其價(jià)格會(huì)進(jìn)一步下降。此外，GPS的各種應(yīng)用技術(shù)和裝置的發(fā)展，各類加工業(yè)、機(jī)電產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)、軍用裝備、汽車電子應(yīng)用設(shè)備、新型家電等對(duì)信息技術(shù)的聯(lián)系和依賴，也將為晶體和振蕩器提供更加廣泛的市場(chǎng)。 1 高端頻控器件的市場(chǎng)狀態(tài)

中國(guó)的晶體行業(yè)規(guī)模和技術(shù)也同時(shí)得到了長(zhǎng)足的發(fā)展。目前，國(guó)內(nèi)廠家生產(chǎn)的晶體數(shù)量已經(jīng)列在了晶體生產(chǎn)大國(guó)的前二位。但是，作為精密頻率控制器件，其高端的原子振蕩器和精密晶體振蕩器的技術(shù)差距，使得我們?cè)诰w器件的進(jìn)出口方面一直處于逆差狀況。2003年，中國(guó)出口的低端頻控器件有5.3億美元，而進(jìn)口的高質(zhì)量或高端頻控器件為9.8億美元；2005年，上述兩個(gè)數(shù)字分別為7.1億美元和13.85億美元。進(jìn)口的頻控器件主要用于通訊、航空航天和軍事科技方面。而且，國(guó)外對(duì)高端頻率控制器件的某些限制也對(duì)國(guó)內(nèi)的用戶產(chǎn)生了一定的影響。

通過筆者和美國(guó)、歐洲以及日本不少同行技術(shù)人員進(jìn)行的接觸和交流。美國(guó)和歐洲的專家對(duì)中國(guó)的市場(chǎng)發(fā)展很感興趣，而對(duì)本地區(qū)的狀況則多少有些憂慮?？梢哉f，由于市場(chǎng)等方面的原因，一些國(guó)家高端頻控器件的發(fā)展前景并不樂觀。新的需求牽引、國(guó)際間的合作成為本行業(yè)發(fā)展的重要契機(jī)。這也是大家需要進(jìn)一步關(guān)注的。

為了了解信息和發(fā)現(xiàn)問題，除了從國(guó)外的刊物和會(huì)議上收集大量的論文外，作者也曾訪問了美國(guó)的CINOX、PTI、EDC，歐洲的OSA、TEMEX日本的EPSON、川崎等公司和一些大學(xué)。這些信息構(gòu)成了本文的基礎(chǔ)。

2 國(guó)內(nèi)外高端頻控器件的技術(shù)發(fā)展特點(diǎn)

近年來，就技術(shù)的原創(chuàng)性、關(guān)鍵技術(shù)及其支持系統(tǒng)的特點(diǎn)、工藝與管理、公司運(yùn)作格式、人員背景差異來說，本行業(yè)產(chǎn)品的國(guó)際技術(shù)與國(guó)內(nèi)狀況相比，均存在一定的差異。

2.1技術(shù)的原創(chuàng)性特點(diǎn)

從居里夫婦發(fā)現(xiàn)壓電效應(yīng)到Cady根據(jù)這一原理制造出最初的頻控器件，可以說，這是本行業(yè)最重要的原創(chuàng)性技術(shù)突破。為了表彰本領(lǐng)域的原創(chuàng)性貢獻(xiàn)，IEEE設(shè)立了IEEE Cady獎(jiǎng)，每年頒發(fā)一人次。近年來，先后有歐美和日本的學(xué)者因?yàn)樾虑行途w、MEMS基礎(chǔ)的頻率控制器件、高穩(wěn)定度晶體振蕩器技術(shù)等獲獎(jiǎng)。而中國(guó)在這方面還沒有人問津。作者之一作為該獎(jiǎng)的評(píng)審專家參加了多次評(píng)獎(jiǎng)過程。作為一個(gè)行業(yè)的長(zhǎng)期發(fā)展和競(jìng)爭(zhēng)者，我們除了考慮眼前的經(jīng)濟(jì)效益外，在原創(chuàng)性技術(shù)探索及其可能帶來的影響和效果也應(yīng)給予充分的重視。而且必須從國(guó)家行為的角度給以關(guān)注。這不但是一種必要的行業(yè)文化，對(duì)于行業(yè)的戰(zhàn)略發(fā)展也會(huì)起到重要的作用。

2.2關(guān)鍵技術(shù)投入及其支持系統(tǒng)

根據(jù)筆者了解，一些公司(如PTI、EPSON、OSA、TEMAX等)在高端產(chǎn)品的開發(fā)和研制方面均有足夠的力量，而且部分產(chǎn)品正是由國(guó)有單位和院校投資完成的科研成果。PTI公司的主要技術(shù)負(fù)責(zé)人就是因?yàn)楦叨水a(chǎn)品的研制成果而成為IEEE的FELLOW。HP公司的Jack Kusters則因?yàn)镾C切晶體的研究成功獲得了IEEE Cady獎(jiǎng)。在美國(guó)和日本，院校只承擔(dān)基礎(chǔ)研究工作，和產(chǎn)品開發(fā)相關(guān)的一切高技術(shù)含量的工作全由公司完成。國(guó)家協(xié)調(diào)、公司投資把兩方面很好地結(jié)合在一起。為了企業(yè)的長(zhǎng)遠(yuǎn)發(fā)展，他們技術(shù)的投入所占成本的比例明顯大于我國(guó)。

近年來，隨著移動(dòng)通訊的室外基站和軍工方面對(duì)高精度振蕩器的大量需求，能夠在-55～+85℃工作且具有優(yōu)良的頻率溫度穩(wěn)定性的OCXO已經(jīng)大量在市場(chǎng)上應(yīng)用。國(guó)外雙層控溫的晶體振蕩器已可實(shí)現(xiàn)-20~C～+70％范圍內(nèi)110-10的頻率溫度穩(wěn)定性。BVA精密晶體更以其最優(yōu)良的老化和穩(wěn)定度指標(biāo)而成為高精度晶體頻標(biāo)的穩(wěn)頻器件。目前，采用這種精密晶體的OCXO的最高頻率穩(wěn)定度已可達(dá)到710-14／秒，而老化率指標(biāo)也進(jìn)入了10-12／日量級(jí)，個(gè)別振蕩器還能夠達(dá)到510-13／日的老化率指標(biāo)。有的國(guó)外公司還聲稱，在許多場(chǎng)合下，他們的超高穩(wěn)定度精密晶體振蕩器也能替代銣原子頻標(biāo)。

俄羅斯研制的新型小尺寸雙層恒溫高穩(wěn)定度晶體振蕩器使用的是增加二級(jí)恒溫的熱增益方法，同時(shí)采用減小外層恒溫槽溫度梯度的方法以及減少內(nèi)外層恒溫槽之間熱聯(lián)結(jié)的材料等來獲得好的溫度穩(wěn)定度。這樣的高穩(wěn)定度晶體振蕩器能夠在多種頻率下實(shí)現(xiàn)-40～+70℃和110-10的頻率溫度穩(wěn)定度、110-10／日的老化率、110-12／秒的頻率穩(wěn)定度，并具有小于3 W的功耗和50.850.825.4 mm的外型尺寸。

日本企業(yè)Nihon Dempa Kogyo Co.，Ltd報(bào)道了他們?cè)陔p模SC切晶體振蕩器方面的基礎(chǔ)研究工作。他們采用對(duì)B模和C模信號(hào)在寬頻率范圍內(nèi)進(jìn)行線性相位濾波和差分放大消除了這類振蕩器中的搖擺不定的效應(yīng)。通過一系列的技術(shù)處理，他們可在-20～+70℃范圍內(nèi)使SC切晶體的溫度被鎖定在+0.002度之內(nèi)。

頻率源的技術(shù)指標(biāo)要求不僅僅表現(xiàn)在精度方面，還表現(xiàn)在信號(hào)的頻率范圍、頻率源工作的溫度、加速度等環(huán)境條件、尺寸、功率消耗等。為了適應(yīng)市場(chǎng)，尤其是移動(dòng)設(shè)備、移動(dòng)通訊和手機(jī)市場(chǎng)的要求，精密晶體振蕩器最明顯的一個(gè)特點(diǎn)是全集成化的OCXO和TCXO的發(fā)展。美國(guó)賓西法尼亞州立大學(xué)推出了在一個(gè)CMOS芯片上構(gòu)成的OCXO。他們把振蕩線路、加熱電路、溫度傳感器和運(yùn)算放大器等集成在這個(gè)芯片上，芯片尺寸僅為5 mm2，使用3.3 V電壓的OCXO在室溫下不經(jīng)任何熱絕緣的功耗為363 mW(典型商用OCXO為1～2 W)，且其頻率溫度穩(wěn)定度還在繼續(xù)改進(jìn)。

不少國(guó)家相繼推出了全集成化的溫度補(bǔ)償晶體振蕩器。它把除晶體之外的所有線路全部集成在一個(gè)集成線路之中。并在TCXO的生產(chǎn)中包含有存儲(chǔ)器部分的數(shù)據(jù)寫入，可表現(xiàn)出寬溫度范圍內(nèi)1 ppm的較高補(bǔ)償精度，從而對(duì)傳統(tǒng)的TCXO構(gòu)成了很大威脅。這種全集成化的TCXO中沒有熱敏電阻，而是采用半導(dǎo)體PN結(jié)作為溫度傳感器，并通過運(yùn)算放大器組構(gòu)成的三次函數(shù)電壓發(fā)生器來與被補(bǔ)償?shù)木w振蕩器的補(bǔ)償電壓-溫度特性相擬合，從而達(dá)到溫度補(bǔ)償?shù)哪康?。由于采用了這樣的補(bǔ)償方式，對(duì)TCXO的開發(fā)實(shí)驗(yàn)過程也可以得到簡(jiǎn)化。而對(duì)于未補(bǔ)償?shù)恼袷幤鞯臏囟忍匦詫?shí)驗(yàn)，只要在其全溫度范圍內(nèi)均勻地實(shí)驗(yàn)5個(gè)溫度點(diǎn)的數(shù)據(jù)即可，其中2個(gè)點(diǎn)是在溫度的最高和最低處。封裝好的振蕩器外形尺寸最小可以達(dá)到3.05.141.6 mm3，同時(shí)也可采用線路的芯片進(jìn)行靈活和更小尺寸的封裝。YCXO的進(jìn)一步發(fā)展趨勢(shì)是應(yīng)用數(shù)量還會(huì)大量增加，但其價(jià)格也會(huì)進(jìn)一步下降。繼續(xù)發(fā)展新原理的TCXO仍然是該方向上不斷進(jìn)行的工作之一。

微機(jī)補(bǔ)償晶體振蕩器(MCXO)在所有的溫度補(bǔ)償型晶體振蕩器中仍然是補(bǔ)償精度最高的。目前，以SC切晶體的雙模振蕩器為基礎(chǔ)的溫度補(bǔ)償晶體振蕩器在-55～+85℃溫度范圍內(nèi)可以獲得210-8的頻率溫度穩(wěn)定度。如果采用軟件補(bǔ)償方法且僅用于測(cè)量目的，還可以獲得更高的補(bǔ)償精度。與基于AT切晶體的溫度補(bǔ)償型晶體振蕩器在原理上不同的是，基于SC切晶體的MCXO一方面使用了穩(wěn)定性更好的泛音晶體，另一方面，這樣的MCXO不是采用對(duì)振蕩器壓控調(diào)節(jié)的方法，而是使用頻率合成方法產(chǎn)生輸出信號(hào)。所以，這樣的MCXO具有更高的穩(wěn)定度和老化指標(biāo)，但其結(jié)構(gòu)也更復(fù)雜。

與國(guó)內(nèi)相比，國(guó)外在各種振蕩器設(shè)計(jì)和生產(chǎn)方面和我們的最大區(qū)別在于，許多外國(guó)的公司和院校都非常注重振蕩器設(shè)計(jì)的專用軟件的應(yīng)用和開發(fā)。而我國(guó)則主要借助于技術(shù)人員的理論知識(shí)的掌握、實(shí)驗(yàn)和經(jīng)驗(yàn)的積累。美國(guó)、日本相應(yīng)的晶體振蕩器設(shè)計(jì)軟件(如CODA和專用SPICE，對(duì)控溫裝置熱設(shè)計(jì)的專用軟件等)通過把更豐富的團(tuán)體知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)的積累軟件化來指導(dǎo)設(shè)計(jì)取得了更好的效果。采用振蕩器設(shè)計(jì)的專用軟件，首先要作的是把對(duì)振蕩器的頻率及性能要求以參數(shù)的形式輸入相應(yīng)的計(jì)算機(jī)，然后通過人機(jī)對(duì)話和軟件運(yùn)行來由計(jì)算機(jī)選擇對(duì)應(yīng)的線路和線路參數(shù)。隨著軟件的進(jìn)一步豐富，振蕩器的結(jié)構(gòu)也可以被方便地設(shè)計(jì)，而且一些更特殊的要求也可以得到滿足和改進(jìn)。對(duì)于要求不高的OCXO，常常通過一次軟件處理就可以完成設(shè)計(jì)任務(wù)。這樣，晶體和關(guān)鍵線路器件的制作完全可以在計(jì)算機(jī)軟件設(shè)計(jì)以后進(jìn)行，從而節(jié)省時(shí)間和費(fèi)用。而借助于實(shí)驗(yàn)和經(jīng)驗(yàn)的設(shè)計(jì)方法則需要消耗更多的時(shí)間和器件，已經(jīng)不能適應(yīng)用戶對(duì)晶體振蕩器在指標(biāo)、品種、數(shù)量和供貨期等方面的更高要求了。雖然這方面的信息早已為國(guó)內(nèi)所知，但是幾乎沒有在設(shè)計(jì)等方面得到應(yīng)用。其原因不僅僅是對(duì)單一軟件的掌握問題。

國(guó)外的企業(yè)主正是考慮到人員的更替和技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)等多方面的因素，他們才對(duì)產(chǎn)品的設(shè)計(jì)和技術(shù)發(fā)展大量采用專用軟件操作。他們將公司的技術(shù)發(fā)展細(xì)節(jié)、產(chǎn)品設(shè)計(jì)的全部線路、結(jié)構(gòu)和實(shí)驗(yàn)結(jié)果相對(duì)應(yīng)，并將技術(shù)人員的經(jīng)驗(yàn)積累等都存儲(chǔ)起來。這些軟件不僅僅可以起到數(shù)據(jù)庫(kù)的作用，而且能夠作為設(shè)計(jì)等技術(shù)決策的操作軟件。這種科學(xué)的資源管理方式起到了明顯的效果。

2.3公司工藝與管理模式

在與晶體相關(guān)的產(chǎn)業(yè)中，無論是生產(chǎn)企業(yè)還是用戶，都應(yīng)該意識(shí)到一點(diǎn)：頻控器件需要一個(gè)相對(duì)比較長(zhǎng)的時(shí)間來進(jìn)行相關(guān)的各種測(cè)試、考核和老化，以確保產(chǎn)品在實(shí)際應(yīng)用中的效果。在TEMEX公司，除了直接面對(duì)生產(chǎn)線的員工，一部分人員還必須進(jìn)行產(chǎn)品測(cè)試。其中生產(chǎn)的每臺(tái)銣鐘和晶體頻標(biāo)都要逐個(gè)進(jìn)行嚴(yán)格的產(chǎn)品測(cè)試。一般銣原子頻標(biāo)的生產(chǎn)周期為半年，其中80％的時(shí)間是用于各種實(shí)驗(yàn)和老化。根據(jù)產(chǎn)品的差異可采用不同的實(shí)驗(yàn)時(shí)間，比如銣泡就要在80攝氏度的溫度下進(jìn)行6周到兩個(gè)月的老化和測(cè)試。而用于航空航天和軍用星載銣原子頻標(biāo)則需要一年的時(shí)間來完成整個(gè)生產(chǎn)周期。確保質(zhì)量的這些措施可有效的把產(chǎn)品返修率維持在1％左右。OSA生產(chǎn)的超高穩(wěn)定度的OCXO中，晶體的生產(chǎn)周期為半年，振蕩器的生產(chǎn)周期也是半年。保證高精度的手段主要是生產(chǎn)工藝的精細(xì)、高精度的檢測(cè)手段和生產(chǎn)過程中不同環(huán)節(jié)的反復(fù)測(cè)試。而保證可靠性的手段則主要是長(zhǎng)期高溫下的實(shí)驗(yàn)和老化。

筆者所接觸的大量國(guó)外企業(yè)幾乎全是面對(duì)國(guó)際市場(chǎng)的。因此，他們也把我國(guó)的市場(chǎng)作為自己的發(fā)展機(jī)會(huì)。廣泛收集世界各地的市場(chǎng)信息是他們強(qiáng)于國(guó)內(nèi)同行的地方。

2.4人員背景的差異

市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)的另一方面也是人才的競(jìng)爭(zhēng)。國(guó)外的不少企業(yè)的設(shè)計(jì)和管理人員都具有博士學(xué)位，他們能更好的將許多先進(jìn)的工具和知識(shí)運(yùn)用于晶體和振蕩器的設(shè)計(jì)和開發(fā)。他們善于用計(jì)算機(jī)和工具軟件來保存團(tuán)隊(duì)的工作積累，并進(jìn)一步指導(dǎo)產(chǎn)品的設(shè)計(jì)。這和我國(guó)主要依靠個(gè)人的經(jīng)驗(yàn)積累形成了鮮明的對(duì)比。

2.5新型技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)的苗頭

近年來，對(duì)精密晶體振蕩器具有競(jìng)爭(zhēng)技術(shù)的有片式結(jié)構(gòu)的原子振蕩器、MEMS器件等。美國(guó)的微型原子頻率標(biāo)準(zhǔn)的尺小僅有9.5立方毫米，75mW功耗，其秒級(jí)頻率穩(wěn)定度為310-10。最近幾年，頻率穩(wěn)定度指標(biāo)又有了大幅度提高?？梢韵胂?，這種小尺寸的原子頻率標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于頻標(biāo)的大量推廣，尤其是在軍事中的應(yīng)用具有很重要的價(jià)值。原子頻標(biāo)的發(fā)展不僅僅表現(xiàn)在高精度方面，而且還注重小型化、低價(jià)格、更廣泛的普及率等。美國(guó)Symmetricom生產(chǎn)的商用銣原子頻標(biāo)在保證高精度的情況下，價(jià)格已經(jīng)接近1000美元。而且有更小的體積。這反映了在高技術(shù)領(lǐng)域，國(guó)外更注重多方面競(jìng)爭(zhēng)力的發(fā)展。也同時(shí)說明了在價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)中技術(shù)進(jìn)步的重要性。

基于頻率量的傳感器(包括化學(xué)和物理傳感器)在相當(dāng)廣泛的測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域中都得到了應(yīng)用。這類傳感器的測(cè)量對(duì)象很廣泛，而且檢測(cè)的分辨率很高，是國(guó)際上近年來傳感器和測(cè)量技術(shù)發(fā)展的方向之一。這方面的代表技術(shù)有用于多水環(huán)境監(jiān)測(cè)的高靈敏度引導(dǎo)型SH-SAW化學(xué)傳感器。該傳感器使用LiTaO3上的雙延遲線幾何圖形方式設(shè)計(jì)，可用來校正環(huán)境條件(如溫度起伏)變化的參考線用聚合物波導(dǎo)層鍍敷。傳感線可用功能象波導(dǎo)層與化學(xué)傳感層的聚合物來鍍敷，也可在特殊的化學(xué)傳感層下面鍍敷聚合物波導(dǎo)層。實(shí)驗(yàn)測(cè)量表明，在傳感線上，對(duì)于給定的聚合物總的厚度，其3層模式提供了比4層模式更高的靈敏度。然而，實(shí)驗(yàn)還證明，4層模式噪聲低、更穩(wěn)定。理論和實(shí)驗(yàn)方面的大量工作對(duì)于進(jìn)一步傳感器的發(fā)展提供了有用的基礎(chǔ)。

對(duì)材料特性的基礎(chǔ)研究一直是許多研究機(jī)構(gòu)不斷進(jìn)行的工作。這方面的探索有利于基本的頻率控制器件(如晶體、晶體振蕩器以及聲表面波器件)的性能提高。臺(tái)灣的學(xué)者進(jìn)行了晶體的頻率一溫度特性隨各種切角以及金屬電極厚度的變化研究。聲表面波器件SAW工作在幾百M(fèi)Hz幾GHz的頻率范圍內(nèi)時(shí)，它們表現(xiàn)出優(yōu)良的溫度特性和較高的質(zhì)量因數(shù)，且比泛音晶體諧振器具有更低的抖動(dòng)和相位噪聲。對(duì)于振蕩線路。其頻率溫度系數(shù)和零溫度系數(shù)點(diǎn)是兩個(gè)關(guān)鍵參數(shù)，它們主要取決于SAW諧振器的溫度性能?？偟膩碚f，SAW諧振器的頻率溫度系數(shù)和零溫度系數(shù)點(diǎn)取決于基底的切角、波的傳播方向和金屬電極的厚度。因此，重要的是選擇水晶材料，它能以不同的金屬電極厚度得到SAW諧振器的合適溫度性能。在實(shí)際的SAW諧振器的設(shè)計(jì)中，為了獲得優(yōu)良的溫度性能，常常使用不同于ST-X切的基底，并使電極的金屬厚度超過2％以產(chǎn)生好的反射?；姿Р牧弦部赏ㄟ^實(shí)驗(yàn)的方法優(yōu)選。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，當(dāng)基底的切角或金屬電機(jī)厚度增加時(shí)，其頻率溫度系數(shù)和零溫度系數(shù)點(diǎn)今線性減小。

3我國(guó)的高端頻率控制器件技術(shù)

近年來，我國(guó)國(guó)內(nèi)通過企業(yè)與院校結(jié)合、國(guó)外設(shè)備和技術(shù)的引進(jìn)、相應(yīng)部門的投入加大(科技部、自然科學(xué)基金委、部委技改費(fèi)等)，以及來自通訊業(yè)和軍工部門的需求牽引，我國(guó)高端頻率控制器件的技術(shù)獲得了較快的發(fā)展。并正在經(jīng)歷從數(shù)量增加逐步發(fā)展成水平和質(zhì)量進(jìn)步的過程。我們需要的不是單一的技術(shù)突破，而是要求全面的設(shè)計(jì)思路、生產(chǎn)工藝、材料發(fā)展、檢測(cè)技術(shù)的考慮。目前。我國(guó)在大規(guī)模、較高水平以及更具有競(jìng)爭(zhēng)成本的OCXO生產(chǎn)技術(shù)方面已經(jīng)有一些股干企業(yè)表現(xiàn)出了很大的優(yōu)勢(shì)。相信這對(duì)于國(guó)內(nèi)的高端頻率控制器件的技術(shù)進(jìn)步能夠起到帶頭作用。目前，在技術(shù)方面能引起國(guó)外重視的技術(shù)主要集中在低成本、高質(zhì)量的批量振蕩器生產(chǎn)技術(shù)。例如。電阻焊真空封裝的中精度晶體和低成本的中高檔晶體片等。

4結(jié)束語

在科技發(fā)展不斷深化的過程中，高端頻率控制器件的發(fā)展和應(yīng)用呈現(xiàn)出越來越強(qiáng)勁的勢(shì)頭，并與所服務(wù)的科技、產(chǎn)業(yè)和國(guó)防建設(shè)相互依存和互相促進(jìn)。企業(yè)在市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)的同時(shí)，全面了解和掌握當(dāng)前的科技與產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求是很有必要的，因?yàn)樗鼘⒂辛Φ卮龠M(jìn)我國(guó)高端頻率控制器件的發(fā)展，提高我國(guó)信息產(chǎn)業(yè)的整體水平。