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12英寸硅片制造向18英寸過(guò)渡或在2015-2017年時(shí)段開(kāi)始

作者: 時(shí)間:2011-06-16 來(lái)源:SEMI 收藏

  CEO Mike Splinter日前表示,他預(yù)計(jì)12英寸向18英寸過(guò)渡或在2015-2017年時(shí)段開(kāi)始。他同時(shí)告誡半導(dǎo)體生產(chǎn)商,必須避免以前8英寸向12英寸過(guò)渡時(shí)發(fā)生的一些問(wèn)題(主要是芯片生產(chǎn)商和設(shè)備廠商在計(jì)劃協(xié)調(diào)上的不同步)。Mike Splinter同時(shí)透露,明年將正式開(kāi)始切入18英寸生產(chǎn)設(shè)備的開(kāi)發(fā)工作,他表示,在18英寸設(shè)備的自動(dòng)化裝置和工藝反應(yīng)腔方面有大量的工作還有待完成。

本文引用地址:http://2s4d.com/article/120474.htm


關(guān)鍵詞: 應(yīng)用材料 硅片制造

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