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AMAT發(fā)布觸摸面板用制造裝置

—— 通過將成膜室增至兩個(gè)提高處理能力
作者: 時(shí)間:2011-04-19 來源:日經(jīng)BP社 收藏

  美國(guó)應(yīng)用材料()于當(dāng)?shù)貢r(shí)間2011年4月12日發(fā)布了用濺鍍?cè)O(shè)備的新產(chǎn)品“AKT Aristo Twin”。其特點(diǎn)是,1臺(tái)設(shè)備中擁有兩個(gè)獨(dú)立的成膜室,能夠同時(shí)分別形成薄膜。處理能力提高到了原來的約2倍。

本文引用地址:http://2s4d.com/article/118774.htm

  此次的新產(chǎn)品最大支持2200mmx2500mm的基板尺寸。在玻璃基板和硬質(zhì)塑料基板上都可以成膜。該產(chǎn)品是在該公司在全球擁有175臺(tái)供貨業(yè)績(jī)的彩色濾光片及用濺鍍?cè)O(shè)備“AKT New Aristo PVD”的基礎(chǔ)上開發(fā)而來的。

  公司副總裁兼平板顯示事業(yè)部總經(jīng)理Tom Edman表示,此次發(fā)布的用濺鍍?cè)O(shè)備“已向中國(guó)大陸和臺(tái)灣的主要觸摸面板廠家供應(yīng)了數(shù)臺(tái)”。



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