國(guó)奧電機(jī)為Mini-LED固晶機(jī)提供更柔性擺臂設(shè)計(jì)方案
Mini LED
隨著人們對(duì)視覺體驗(yàn)要求不斷提升,顯示技術(shù)更新迭代愈加快速,從較早前的小間距LED,到當(dāng)前火熱的Mini-LED乃至技術(shù)逐漸成熟的Micro-LED,未來顯示技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)必然是朝著微型芯片方向發(fā)展的。
LED點(diǎn)間距越小對(duì)封裝制程工藝要求則越高,晶圓轉(zhuǎn)移和固晶環(huán)節(jié)對(duì)固晶設(shè)備和工藝提出更高要求。新型高精度固晶機(jī)是確保固晶良率和速度、有效控制成本的關(guān)鍵。
Mini-LED固晶是其封裝過程的關(guān)鍵環(huán)節(jié),主要難點(diǎn)就在于高速且高精度固晶。
導(dǎo)致晶圓角度偏差原因:
1
在固晶前,劃片后的晶圓之間距離極小,不便于后續(xù)工序,需要進(jìn)行擴(kuò)晶處理。擴(kuò)晶后,會(huì)造成部分芯片旋轉(zhuǎn)以及芯片之間距離不一致。
2
焊頭機(jī)構(gòu)作為固晶機(jī)運(yùn)行的核心機(jī)構(gòu),其主要功能是驅(qū)動(dòng)擺臂來回旋轉(zhuǎn)180°、豎直方向移位來精確地吸取芯片和固定芯片。但由于固晶擺臂是類懸臂梁的柔性機(jī)構(gòu),快速運(yùn)動(dòng)時(shí)由于慣性會(huì)有殘留振動(dòng),很大程度上也會(huì)進(jìn)一步導(dǎo)致晶圓角度發(fā)生變化。
電機(jī)作為固晶機(jī)核心部件尤為重要,直接影響固晶良率和速度。
目前,國(guó)內(nèi)大多固晶機(jī)使用的音圈電機(jī)加直流電機(jī)來直接驅(qū)動(dòng)擺臂和吸嘴作業(yè),普遍存在著力控精度不足、慣性大等問題,從而影響固晶機(jī)的性能。
國(guó)奧電機(jī)自主研發(fā)的二自由度直線旋轉(zhuǎn)電機(jī)具有高頻、高精力控、高精定位、高穩(wěn)定性等特點(diǎn),能為Mini-LED固晶機(jī)提供更柔性擺臂設(shè)計(jì)方案。
以“國(guó)奧電機(jī)”作為核心部件的焊頭機(jī)構(gòu),能驅(qū)動(dòng)固晶擺臂和吸頭實(shí)現(xiàn)Y軸±0.01N高精力控“軟著陸”取放晶圓,極大地降低晶圓損壞;
國(guó)奧電機(jī)賦能固晶機(jī)擺臂慣性小、沖擊小等優(yōu)點(diǎn),可以在固晶擺臂移動(dòng)晶圓過程中,為擺臂和吸頭提供更穩(wěn)定的力控,避免晶圓出現(xiàn)角度偏差;
當(dāng)擺臂抓取到晶圓之后,電機(jī)高速響應(yīng)協(xié)助吸頭相連的中空旋轉(zhuǎn)軸(角度旋轉(zhuǎn)裝置)、鏡頭定位機(jī)構(gòu),精準(zhǔn)校正晶圓角度再貼到基板設(shè)定位置,極力確保固晶良率達(dá)99.99%以上。
國(guó)奧電機(jī)作為固晶機(jī)設(shè)備的核心部件,可使其具有慣性小、高穩(wěn)定、沖擊小等特點(diǎn),是Mini-LED、Micro LED、IC芯片、分立器等半導(dǎo)體封裝固晶環(huán)節(jié)的關(guān)鍵。
可編程高精力控,降低損耗
國(guó)奧直線旋轉(zhuǎn)電機(jī)帶有“軟著陸”功能,可實(shí)現(xiàn)±1g以內(nèi)的穩(wěn)定力度控制,支持速度、加速度及力度控制的程序化設(shè)定,使貼裝頭能夠以非常精準(zhǔn)的壓力觸碰芯片表面,降低損耗;
采用中空Z(yǔ)軸設(shè)計(jì),預(yù)留氣管接口,真空吸取、即插即用,并可根據(jù)元件結(jié)構(gòu)及特性提供定制化服務(wù)。
高精度對(duì)位、貼片,保證良率
微米級(jí)位置反饋,獲取精準(zhǔn)數(shù)據(jù),±0.01N力控精度,±2μm直線重復(fù)定位精度,±0.01°旋轉(zhuǎn)重復(fù)定位精度,徑向偏擺小于10μm,編碼器分辨率標(biāo)準(zhǔn)1μm,可在高速運(yùn)行狀態(tài)下仍穩(wěn)定輸出,提升良率及可靠性。
“Z+R”軸集成設(shè)計(jì),提升速度
創(chuàng)新性的雙軸集成化解決方案,將傳統(tǒng)“伺服馬達(dá)+滾珠絲桿”合二為一,解決了Z軸自重負(fù)載問題,高速、精準(zhǔn)完成元件Pick & Place,貼裝等動(dòng)作,推力曲線平滑,峰值推力8-50N,有效行程10-50mm ,超高循環(huán)壽命,實(shí)現(xiàn)高效生產(chǎn)。
體積小,重量輕,可電機(jī)組合排列
直線旋轉(zhuǎn)電機(jī)LRS2015重量?jī)H605g,輕巧的機(jī)身重量大大減輕了設(shè)備高速運(yùn)動(dòng)中負(fù)載帶來的影響。電機(jī)厚度僅為20mm,在設(shè)備有限的內(nèi)部空間中可以并排安裝多組電機(jī),減少芯片貼裝往復(fù)運(yùn)動(dòng)過程,提升設(shè)備貼裝效率。
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