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中芯國(guó)際霸氣捧出10個(gè)IPO,給國(guó)產(chǎn)設(shè)備材料撐場(chǎng)子!

發(fā)布人:旺材芯片 時(shí)間:2022-06-22 來(lái)源:工程師 發(fā)布文章
中芯國(guó)際不止晶圓代工。

作者 |  高歌
編輯 |  Panken
芯東西6月20日?qǐng)?bào)道,近日,國(guó)產(chǎn)CMP(化學(xué)機(jī)械拋光)設(shè)備龍頭華海清科上市,其12英寸CMP設(shè)備打破了國(guó)際巨頭壟斷,為中芯國(guó)際、華虹和長(zhǎng)江存儲(chǔ)等國(guó)產(chǎn)晶圓制造廠商提供了自主可控的CMP設(shè)備。值得注意的是,華海清科的首臺(tái)12英寸設(shè)備就是向國(guó)產(chǎn)晶圓代工龍頭中芯國(guó)際出貨進(jìn)行驗(yàn)證,公司也在中芯國(guó)際的陪伴下成為了CMP設(shè)備領(lǐng)域的國(guó)產(chǎn)龍頭。上市儀式中,華海清科董事長(zhǎng)路新春與國(guó)家02專(zhuān)項(xiàng)總師葉甜春都盛贊了中芯國(guó)際等下游晶圓制造企業(yè)對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的支持。而產(chǎn)品率先在中芯國(guó)際通過(guò)驗(yàn)證,隨后打入國(guó)內(nèi)外市場(chǎng),最終發(fā)展壯大、實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化的故事,并非僅有華海清科一例。拓荊科技、芯源微、北方華創(chuàng)、中微公司、上海新陽(yáng)、滬硅產(chǎn)業(yè)等國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體玩家都有核心產(chǎn)品首先在中芯國(guó)際通過(guò)驗(yàn)證,之后成為了細(xì)分領(lǐng)域的國(guó)產(chǎn)龍頭。中芯國(guó)際作為國(guó)產(chǎn)晶圓代工“一哥”,在面對(duì)使用新的國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備、材料風(fēng)險(xiǎn)時(shí),愿意培養(yǎng)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備和材料企業(yè)。其更是親身帶出了一批國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備、材料IPO,推動(dòng)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體供應(yīng)鏈成長(zhǎng)。

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▲中芯國(guó)際帶出的十大半導(dǎo)體設(shè)備、材料IPO情況(截至2022年6月20日)

01.  國(guó)產(chǎn)設(shè)備、材料難過(guò)驗(yàn)證關(guān)中芯國(guó)際成為試金石對(duì)于中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),上游的半導(dǎo)體設(shè)備和材料既是被“卡脖子”的重要領(lǐng)域,也是國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體企業(yè)飛速成長(zhǎng)的賽道。至今,滬硅產(chǎn)業(yè)、中微公司、北方華創(chuàng)、芯源微、拓荊科技、盛美上海、屹唐股份、華海清科等各大細(xì)分領(lǐng)域材料、設(shè)備龍頭相繼上市,加速了半導(dǎo)體材料和設(shè)備領(lǐng)域國(guó)產(chǎn)化。而很多國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體材料、設(shè)備龍頭的新產(chǎn)品在首次打入市場(chǎng)時(shí),往往會(huì)優(yōu)先選擇中芯國(guó)際這家國(guó)產(chǎn)晶圓制造龍頭。對(duì)于國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備和材料玩家來(lái)說(shuō),新產(chǎn)品想要打入市場(chǎng),真正地替代國(guó)際巨頭的產(chǎn)品,不僅要在性能參數(shù)和性?xún)r(jià)比上取得優(yōu)勢(shì),更要取得晶圓廠的信任,通過(guò)其漫長(zhǎng)、嚴(yán)格的驗(yàn)證。半導(dǎo)體行業(yè)是一個(gè)資本密集、技術(shù)密集的行業(yè),最尖端的先進(jìn)制程晶圓廠投資往往要數(shù)十億甚至上百億美元,而且少數(shù)國(guó)際巨頭基本占據(jù)了主要的市場(chǎng)份額。中國(guó)刻蝕設(shè)備龍頭中微公司的招股書(shū)中寫(xiě)道:“半導(dǎo)體制造商對(duì)設(shè)備的嚴(yán)苛要求使得行業(yè)新進(jìn)入者需要經(jīng)過(guò)較長(zhǎng)時(shí)間的技術(shù)積累才能進(jìn)入該領(lǐng)域,長(zhǎng)期的研發(fā)與驗(yàn)證對(duì)行業(yè)進(jìn)入者的資本實(shí)力也提出了很高的要求?!?/span>

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▲中微公司產(chǎn)品的驗(yàn)證階段(圖片來(lái)源:中微公司招股書(shū))

出于對(duì)良率和成本等核心競(jìng)爭(zhēng)力的考慮,晶圓廠在很多時(shí)候不具備使用新進(jìn)入企業(yè)產(chǎn)品的意愿。有中芯國(guó)際的內(nèi)部人士對(duì)芯東西提及,上游的設(shè)備廠商必然都希望能夠得到名企大廠的背書(shū),但這種驗(yàn)證對(duì)晶圓廠來(lái)說(shuō)存在較大的風(fēng)險(xiǎn),選擇也會(huì)更嚴(yán)。對(duì)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商和材料廠商來(lái)說(shuō),中芯國(guó)際就是其驗(yàn)證的首選,也是一塊試金石。不過(guò),盡管驗(yàn)證十分困難,但設(shè)備和材料產(chǎn)品一旦通過(guò)驗(yàn)證并實(shí)際進(jìn)入產(chǎn)線,即進(jìn)入了下游客戶(hù)的合格供應(yīng)商名錄,后續(xù)采購(gòu)需求也會(huì)相對(duì)穩(wěn)定。華海清科、拓荊科技、芯源微、中微公司、北方華創(chuàng)等公司的新產(chǎn)品在通過(guò)中芯國(guó)際驗(yàn)證后,由中芯國(guó)際開(kāi)始逐漸打開(kāi)了國(guó)內(nèi)乃至國(guó)外的晶圓廠市場(chǎng),對(duì)國(guó)際龍頭的產(chǎn)品起到了替代作用。02.助力五大國(guó)產(chǎn)設(shè)備龍頭國(guó)產(chǎn)設(shè)備進(jìn)入12英寸產(chǎn)線華海清科、拓荊科技、芯源微、中微公司、北方華創(chuàng)五家細(xì)分領(lǐng)域國(guó)產(chǎn)設(shè)備龍頭的成長(zhǎng)都離不開(kāi)中芯國(guó)際的支持。具體來(lái)說(shuō),華海清科、拓荊科技和中微公司的首臺(tái)產(chǎn)品都由中芯國(guó)際進(jìn)行驗(yàn)證,隨后其產(chǎn)品才逐漸打入國(guó)內(nèi)其他的晶圓廠,逐步替代了外國(guó)龍頭的產(chǎn)品;北方華創(chuàng)的驗(yàn)證單位就是中芯國(guó)際,其12英寸刻蝕機(jī)、清洗機(jī)、氧化爐等設(shè)備都由中芯國(guó)際進(jìn)行驗(yàn)證;芯源微的前道晶圓清洗機(jī)由中芯國(guó)際率先進(jìn)行驗(yàn)證。1、中微公司:等離子刻蝕設(shè)備率先進(jìn)入中芯國(guó)際中微公司2004年8月在上海張江啟動(dòng)運(yùn)營(yíng),產(chǎn)品主要為半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備。據(jù)媒體報(bào)道,2007年,中微公司推出了應(yīng)用于65納米至45納米高端芯片生產(chǎn)的刻蝕設(shè)備,并率先在國(guó)內(nèi)12英寸產(chǎn)線上進(jìn)行試用。從時(shí)間上看,中芯國(guó)際是國(guó)內(nèi)唯一擁有12英寸晶圓產(chǎn)線的企業(yè),該產(chǎn)品試產(chǎn)驗(yàn)證有很大可能在中芯國(guó)際進(jìn)行。此后,這種合作也有所延續(xù)。中微公司等離子體刻蝕設(shè)備Primo AD-RIE裝配中芯國(guó)際,首次進(jìn)入中國(guó)大陸客戶(hù)生產(chǎn)線,用于32nm至28nm制程。至今,中微公司產(chǎn)品已成功進(jìn)入國(guó)際龍頭的7nm產(chǎn)線,成為了國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭之一。2、北方華創(chuàng):多個(gè)28nm產(chǎn)品在中芯國(guó)際驗(yàn)證北方華創(chuàng)是由北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司和北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司于2017年2月戰(zhàn)略重組而成,是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭,其半導(dǎo)體產(chǎn)品包括刻蝕、薄膜沉積、氧化、清洗、量測(cè)等多個(gè)領(lǐng)域,被譽(yù)為中國(guó)“應(yīng)用材料”。據(jù)悉,北方華創(chuàng)承擔(dān)了較多的02專(zhuān)項(xiàng)裝備項(xiàng)目,其驗(yàn)證單位就是中芯國(guó)際。中芯國(guó)際承擔(dān)了北方華創(chuàng)大部分專(zhuān)項(xiàng)項(xiàng)目(半導(dǎo)體設(shè)備)的驗(yàn)證工作,幫助北方華創(chuàng)完成了氧化爐、刻蝕機(jī)、清洗機(jī)等半導(dǎo)體設(shè)備90/55/40/28納米工藝驗(yàn)證。北方華創(chuàng)能夠有如此多的產(chǎn)品打入28nm,中芯國(guó)際的功勞不可埋沒(méi)。

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3、拓荊科技:中芯國(guó)際陪伴成為國(guó)產(chǎn)薄膜沉積設(shè)備龍頭拓荊科技成立于2010年4月,總部位于遼寧省沈陽(yáng),是國(guó)內(nèi)唯一一家產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的集成電路化學(xué)氣相沉積(PECVD)、次常壓化學(xué)氣相沉積(SACVD)設(shè)備廠商,也是國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的原子層沉積(ALD)設(shè)備廠商。根據(jù)拓荊科技招股書(shū),其產(chǎn)品已經(jīng)適配了國(guó)內(nèi)最先進(jìn)的28/14nm邏輯芯片、19/17nm DRAM芯片和64/128層3D NAND Flash晶圓制造產(chǎn)線,并已展開(kāi)10nm及以下制程產(chǎn)品驗(yàn)證測(cè)試。2011年,拓荊科技推出了其首臺(tái)產(chǎn)品12英寸PECVD設(shè)備,中芯國(guó)際為首位客戶(hù)。2012年,拓荊科技推出12英寸多反應(yīng)腔PF-300T設(shè)備,并于2013年通過(guò)中芯國(guó)際產(chǎn)品線測(cè)試。2014年12月,拓荊科技PF-300T產(chǎn)品獲中芯國(guó)際量產(chǎn)設(shè)備訂單;2015年9月,PF-300T在中芯國(guó)際生產(chǎn)線流片一萬(wàn)片;2017年12月,該設(shè)備在中芯國(guó)際生產(chǎn)線達(dá)成流片100萬(wàn)片里程碑。從PF-300T通過(guò)測(cè)試,到100萬(wàn)片流片,再到上市,拓荊科技在中芯國(guó)際的陪伴下,通過(guò)了“十一五”國(guó)家重大專(zhuān)項(xiàng)驗(yàn)收,并成長(zhǎng)為了薄膜沉積設(shè)備的國(guó)產(chǎn)龍頭。4、芯源微:前道清洗設(shè)備率先在中芯國(guó)際通過(guò)驗(yàn)證芯源微前身為沈陽(yáng)芯源先進(jìn)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司,設(shè)立于2002年12月,總部位于沈陽(yáng),其產(chǎn)品包括光刻工序涂膠顯影設(shè)備(涂膠/顯影機(jī)、噴膠機(jī))和單片式濕法設(shè)備(清洗機(jī)、去膠機(jī)、濕法刻蝕機(jī))。其前道清洗機(jī)產(chǎn)品同樣首先通過(guò)了中芯國(guó)際(深圳廠)工藝驗(yàn)證,并完成了首臺(tái)的銷(xiāo)售。這也幫助芯源微完成了其單片式濕法設(shè)備的技術(shù)驗(yàn)證和量產(chǎn)。5、華海清科:中芯國(guó)際助力12英寸CMP設(shè)備國(guó)產(chǎn)應(yīng)用華海清科成立于2013年4月,總部位于天津市,是天津市人民政府和清華大學(xué)合資成立的企業(yè),是當(dāng)前唯一能夠提供12英寸CMP(化學(xué)機(jī)械拋光)設(shè)備的國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)。中芯國(guó)際是華海清科的首位客戶(hù)。華海清科的首臺(tái)12英寸CMP設(shè)備Universal-300于2015年8月2日交付中芯國(guó)際,2016年通過(guò)中芯國(guó)際驗(yàn)收。2017年,其Universal-300 Plus型號(hào)再次進(jìn)入中芯國(guó)際驗(yàn)證,同年完成驗(yàn)收,通過(guò)了Oxide、W多項(xiàng)工藝驗(yàn)證。從中芯國(guó)際開(kāi)始,華海清科開(kāi)啟了12英寸CMP設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化應(yīng)用。

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▲華海清科發(fā)展歷程

03.帶出五大材料供應(yīng)商覆蓋硅片、光刻膠等領(lǐng)域除了半導(dǎo)體設(shè)備,安集科技、江豐電子、上海新陽(yáng)、晶瑞股份、滬硅產(chǎn)業(yè)等半導(dǎo)體材料上市公司也是“中芯鏈”的重要成員。1、滬硅產(chǎn)業(yè):打破國(guó)際龍頭12英寸硅片壟斷滬硅產(chǎn)業(yè)成立于2015年12月,其旗下的上海新昇是我國(guó)首個(gè)12英寸半導(dǎo)體硅片供應(yīng)商,為國(guó)產(chǎn)晶圓制造企業(yè)提供了自主、可控的12英寸硅片。研制12英寸硅片成功后,上海新昇在2018年陸續(xù)通過(guò)了上海華力微和中芯國(guó)際的驗(yàn)證,正式打破了此前被信越化學(xué)、勝高、SK siltron等國(guó)際龍頭對(duì)12英寸大硅片的壟斷。2、上海新陽(yáng):刻蝕清洗液等產(chǎn)品率先進(jìn)入中芯國(guó)際1999年7月,上海新陽(yáng)成立,其擁有完整自主可控知識(shí)產(chǎn)權(quán)的電子電鍍和電子清洗兩大技術(shù),能夠?yàn)橄掠螐S商提供化學(xué)材料、配套設(shè)備、應(yīng)用工藝和現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)一體化整體解決方案。具體來(lái)說(shuō),上海新陽(yáng)是中芯國(guó)際的蝕刻清洗液供應(yīng)商,其大馬士革硫酸銅、銅線干法蝕刻清洗液、鋁線干法蝕刻清洗液等產(chǎn)品率先用于中芯國(guó)際S1產(chǎn)線。3、安集科技:中芯國(guó)際助力實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代安集科技成立于2006年2月,產(chǎn)品包括不同系列的化學(xué)機(jī)械拋光液和光刻膠去除劑等。安集科技為中芯國(guó)際批量供應(yīng)CMP拋光液,中芯國(guó)際也是安集科技的第一大客戶(hù)。根據(jù)其招股書(shū),2016年-2018年期間,安集科技對(duì)中芯國(guó)際的銷(xiāo)售占比分別達(dá)66.37%、66.23%和59.70%,其發(fā)展和中芯國(guó)際有著緊密的聯(lián)系。在其支持下,安集科技打破了國(guó)際龍頭對(duì)集成電路領(lǐng)域化學(xué)機(jī)械拋光液和部分功能性濕電子化學(xué)品的壟斷,實(shí)現(xiàn)了進(jìn)口替代,并成為了行業(yè)主流供應(yīng)商。

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4、江豐電子:填補(bǔ)中國(guó)高純?yōu)R射靶材空白江豐電子成立于2005年,專(zhuān)攻超大規(guī)模集成電路制造用超高純度金屬材料及濺射靶材。其產(chǎn)品填補(bǔ)了中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在這一領(lǐng)域的空白,并獲得了國(guó)際一流芯片制造廠商的認(rèn)證。該公司是中芯國(guó)際高純?yōu)R射靶材供應(yīng)商,據(jù)稱(chēng)其靶材可用于7nm制程。5、晶瑞股份:I線光刻膠刷線取得中芯國(guó)際訂單晶瑞股份成立于2001年,專(zhuān)注于光刻膠等超凈高純化學(xué)試劑。2018年12月,晶瑞股份宣布,其I線光刻膠率先取得了中芯國(guó)際訂單。此外,晶瑞股份產(chǎn)品還包括過(guò)氧化氫等其他超純凈電子材料。當(dāng)前,晶瑞股份是主要的國(guó)產(chǎn)光刻膠供應(yīng)商,正推進(jìn)KrF光刻膠的產(chǎn)業(yè)化和ArF光刻膠的研發(fā)。04.中芯國(guó)際12英寸新廠或支持更多國(guó)產(chǎn)設(shè)備、材料中芯國(guó)際之所以能夠支撐眾多國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體材料和設(shè)備廠商驗(yàn)證,是因?yàn)槠渚邆漭^強(qiáng)的晶圓代工實(shí)力。中芯國(guó)際的中國(guó)大陸首家12英寸晶圓廠,以及其制程工藝的不斷突破,為上游的半導(dǎo)體設(shè)備、企業(yè)提供了驗(yàn)證、發(fā)展的關(guān)鍵平臺(tái)。2004年9月25日,中芯國(guó)際宣布在北京建成全球中國(guó)大陸首座12英寸晶圓廠。相比之下,上海華力微的12英寸產(chǎn)線則建成于2010年1月,相差有5年的時(shí)間。

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中芯國(guó)際的制程突破,則為北方華創(chuàng)等國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備、材料企業(yè)提供了中國(guó)大陸最先進(jìn)的晶圓產(chǎn)線平臺(tái),幫助這些企業(yè)縮小了和國(guó)際龍頭之間的差距。從2006年到2011年,中芯國(guó)際順利完成了90nm、65nm、55nm、45nm、40nm等一系列制程節(jié)點(diǎn)的升級(jí)和量產(chǎn)。在2011年中芯國(guó)際能夠量產(chǎn)45/40nm芯片后,中微公司、拓荊科技先后在2011年、2012年宣布設(shè)備進(jìn)入中芯國(guó)際進(jìn)行驗(yàn)證。2015年,中芯國(guó)際完成了28nm的量產(chǎn),成為中國(guó)大陸首個(gè)量產(chǎn)28nm制程的芯片制造企業(yè)。2017年-2018年,華海清科、北方華創(chuàng)、芯源微等半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)先后宣布各類(lèi)12英寸半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)入中芯國(guó)際驗(yàn)證。2021年,中芯國(guó)際宣布在上海、北京和深圳新建3座12英寸晶圓廠。屆時(shí),中芯國(guó)際或可為更多國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備、材料廠商提供支持。此外,為上游的設(shè)備商和材料商提供支持的行業(yè)龍頭也并非僅有中芯國(guó)際。在封測(cè)和存儲(chǔ)領(lǐng)域,長(zhǎng)電科技、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)等行業(yè)龍頭同樣為凱世通、至純科技等國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備、材料龍頭提供了支持。正如國(guó)家02專(zhuān)項(xiàng)總師葉甜春說(shuō)的那樣:“沒(méi)有你們(中芯國(guó)際、華虹、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)等晶圓制造龍頭)的支持,中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的裝備和材料就不會(huì)取得今天的成就?!?/span>05.結(jié)語(yǔ):新產(chǎn)品驗(yàn)證風(fēng)險(xiǎn)較高或?qū)?guó)產(chǎn)玩家提出更高要求中芯國(guó)際不僅為國(guó)內(nèi)芯片公司提供了自主、可控的代工服務(wù),更愿意承擔(dān)一定風(fēng)險(xiǎn),為國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備和材料供應(yīng)商提供一個(gè)驗(yàn)證平臺(tái),幫助國(guó)產(chǎn)企業(yè)的產(chǎn)品從實(shí)驗(yàn)室真正進(jìn)入晶圓產(chǎn)線中,獲得更多晶圓廠的信任。在中芯國(guó)際的帶動(dòng)下,國(guó)產(chǎn)CMP、等離子刻蝕、清洗、大硅片等各個(gè)環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體設(shè)備和材料逐漸打破國(guó)際巨頭壟斷,實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品的國(guó)產(chǎn)化。不過(guò)需注意的是,中芯國(guó)際等中國(guó)大陸晶圓廠仍在追趕行業(yè)龍頭,會(huì)更加注重新材料、設(shè)備驗(yàn)證所帶來(lái)的風(fēng)險(xiǎn),這也會(huì)對(duì)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體材料、設(shè)備企業(yè)提出更高的要求。



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