國產(chǎn)光刻機(jī)第一股！華卓精科科創(chuàng)板過會(huì)，與清華共享專利

作者 |  高歌
編輯 |  Panken
芯東西9月17日?qǐng)?bào)道，今天，北京華卓精科科技股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“華卓精科“）于科創(chuàng)板成功過會(huì)。華卓精科主營(yíng)業(yè)務(wù)為超精密測(cè)控設(shè)備，產(chǎn)品包括精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、光刻機(jī)雙工件臺(tái)模塊、靜電卡盤、晶圓級(jí)鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備等，主要應(yīng)用于集成電路制造、超精密制造、光學(xué)、醫(yī)療等行業(yè)。光刻機(jī)工件臺(tái)是光刻機(jī)的3大核心部件之一，華卓精科是國內(nèi)首家自主研發(fā)并實(shí)現(xiàn)光刻機(jī)雙工件臺(tái)商業(yè)化生產(chǎn)的企業(yè)，也是國內(nèi)光刻機(jī)龍頭上海微電子的供應(yīng)商。目前，華卓精科的DWS系列雙工件臺(tái)可用于65nm及以上節(jié)點(diǎn)的I-line、KrF和ArF干式光刻機(jī)，但尚未通過上海微電子的驗(yàn)收。今年7月29日，華卓精科的上市委會(huì)議結(jié)果為暫緩審議，上市委現(xiàn)場(chǎng)詢問了有關(guān)其光刻機(jī)雙工件臺(tái)的產(chǎn)業(yè)化前景、其技術(shù)研發(fā)是否依賴清華大學(xué)、以及2019年和2020年第四季度的大額銷售收入等事項(xiàng)。報(bào)告期內(nèi)，華卓精科營(yíng)收呈遞增趨勢(shì)，2018年、2019年、2020年其營(yíng)收分別為8570萬元、1.21億元和1.52億元。本輪IPO，華卓精科計(jì)劃募資7.35億元，將用于半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵零部件研發(fā)制造、超精密測(cè)控產(chǎn)品長(zhǎng)三角創(chuàng)新與研發(fā)中心、集成電路裝備與零部件產(chǎn)品創(chuàng)新項(xiàng)目、光刻機(jī)超精密位移測(cè)量及平面光柵測(cè)量技術(shù)研發(fā)4個(gè)項(xiàng)目。

華卓精科的董事、核心技術(shù)人員、首席科學(xué)家朱煜為公司的控股股東和實(shí)際控制人，其實(shí)際控制股份比例為54.23%。上會(huì)稿顯示，朱煜為清華大學(xué)長(zhǎng)聘教授，華卓精科的一眾高管也都有清華背景。

營(yíng)收持續(xù)增長(zhǎng)超精密測(cè)控裝備為主要收入來源

根據(jù)上會(huì)稿，華卓精科在報(bào)告期內(nèi)營(yíng)收持續(xù)增長(zhǎng)，且增速較快。華卓精科2018年-2020年各期營(yíng)收分別為8570.92萬元、1.21億元和1.52億元。其2019年?duì)I收增幅達(dá)41.14%，2020年?duì)I收增幅則為25.94%。凈利潤(rùn)方面，華卓精科2018年、2019年、2020年凈利分別為1512.36萬元、2087.24萬元和1242.83萬元。上會(huì)稿稱，華卓精科其營(yíng)收增速較快主要是因?yàn)橄掠谓K端市場(chǎng)需求旺盛以及半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)替代趨勢(shì)的影響。2020年，華卓精科凈利潤(rùn)下降較多，則由于其管理費(fèi)用、貸款利息、計(jì)提預(yù)計(jì)信用損失大幅增加。

具體來說，華卓精科的營(yíng)收組成可分為超精密測(cè)控裝備部件、超精密測(cè)控裝備整機(jī)與其他3類。其中，超精密測(cè)控裝備部件主要為精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)及技術(shù)開發(fā)、光刻機(jī)雙工件臺(tái)模塊及技術(shù)開發(fā)、經(jīng)典卡盤及技術(shù)開發(fā)和隔振器4類；超精密測(cè)控裝備整機(jī)則可以分為晶圓級(jí)鍵合設(shè)備及技術(shù)開發(fā)與激光退火設(shè)備。華卓精科的主要收入來源為精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)及技術(shù)開發(fā)，在報(bào)告期內(nèi)其業(yè)務(wù)營(yíng)收組成比例波動(dòng)較大。2020年光刻機(jī)雙工件臺(tái)收入占其總營(yíng)收的11.42%，在2019年該項(xiàng)收入則為0。上會(huì)稿稱，光刻機(jī)雙工件臺(tái)技術(shù)開發(fā)難度較大。2019年，上海微電子作為國內(nèi)唯一的光刻機(jī)整機(jī)廠商未完成對(duì)合同內(nèi)容驗(yàn)收，因此華卓精科該業(yè)務(wù)收入為0。

從客戶情況來說，華卓精科主要客戶為半導(dǎo)體等領(lǐng)域的企業(yè)，高校客戶收入占比較低。中科飛測(cè)、上海微電子在報(bào)告期內(nèi)一直為華卓精科的前五大客戶。2018年-2020年，華卓精科向前五大客戶的銷售收入占主營(yíng)業(yè)務(wù)收入比例分別為50.23%、53.57%及58.03%。雖然前五大客戶的銷售占比不高，但上海微電子是國內(nèi)唯一的光刻機(jī)整機(jī)廠商，所以一定程度上華卓精科光刻機(jī)雙工件臺(tái)的商業(yè)化前景取決于上海微電子的光刻機(jī)整機(jī)銷售情況。

在原材料采購方面，華卓精科所需原材料主要可分為基礎(chǔ)材料、電氣類、機(jī)械類和光學(xué)類。2020年，華卓精科對(duì)機(jī)械類和電氣類原材料采購金額較高，占比合計(jì)達(dá)76.39%。2018年-2020年華卓精科向前五大供應(yīng)商合計(jì)采購金額占比分別為37.69%、29.41%及20.63%，呈下降趨勢(shì)。翟柯萊姆達(dá)、Zygo Corporation和山東鑫磊精密機(jī)械有限公司在2019年和2020年是華卓精科的前五大供應(yīng)商。

產(chǎn)品填補(bǔ)多項(xiàng)國產(chǎn)空白光刻機(jī)雙工件臺(tái)存在制程差距

對(duì)光刻機(jī)市場(chǎng)來說，主要廠商有荷蘭ASML和日本尼康、佳能和中國上海微電子4家。尼康和佳能主要采用“In House”生產(chǎn)模式，即光刻機(jī)的主要子系統(tǒng)均由整機(jī)廠研發(fā)和生產(chǎn)。ASML早期采用“Out House”生產(chǎn)模式，即僅負(fù)責(zé)整機(jī)的設(shè)計(jì)和子系統(tǒng)的需求定義，子系統(tǒng)由第三方廠商進(jìn)行生產(chǎn)。2010年后，ASML也開始自行設(shè)計(jì)工件臺(tái)。上會(huì)稿指出，無論上述整機(jī)廠商采取何種研發(fā)、生產(chǎn)模式，其工件臺(tái)均不單獨(dú)對(duì)外銷售。這也意味著華卓精科對(duì)于光刻機(jī)的國產(chǎn)化替代較為重要。和ASML所使用的光刻機(jī)雙工件臺(tái)對(duì)比，華卓精科的DWS系列產(chǎn)品和ASML的干式深紫外（DUV）光刻機(jī)雙工件臺(tái)處于同一架構(gòu)，但性能有所落后；華卓精科的浸沒式DWSi系列產(chǎn)品尚未完成研發(fā)；在極紫外（EUV）領(lǐng)域，華卓精科并未推出產(chǎn)品。截至最新的上會(huì)稿簽署，華卓精科DWS系列光刻機(jī)雙工件臺(tái)累計(jì)發(fā)貨4臺(tái)，仍處于與上海微電子光刻機(jī)整機(jī)集成、測(cè)試階段，尚未通過上海微電子的最終驗(yàn)收。

此外，在精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、晶圓級(jí)鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備、靜電卡盤等不同的市場(chǎng)，華卓精科還需要面對(duì)不同的國內(nèi)外競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手。這些對(duì)手既有Aerotech、應(yīng)用材料、泛林半導(dǎo)體、東京電子、住友重工等國外巨頭，也有中微公司、長(zhǎng)川科技、北方華創(chuàng)等國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商。相對(duì)來說，華卓精科存在融資渠道單一、品牌知名度較低、客戶資源較為劣勢(shì)等差距。此外，華卓精科的晶圓級(jí)鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備等仍處于小批量定制生產(chǎn)階段，未實(shí)現(xiàn)規(guī)?；慨a(chǎn)，其光刻機(jī)雙工件臺(tái)也尚未通過下游客戶驗(yàn)收。在產(chǎn)線豐富度和產(chǎn)品性能上，華卓精科同樣和行業(yè)龍頭存在差距。

盡管華卓精科的產(chǎn)品和行業(yè)龍頭相比存在不少差距，但是由于該公司較為豐富的技術(shù)積累，其產(chǎn)品填補(bǔ)了多項(xiàng)國內(nèi)空白，促進(jìn)了半導(dǎo)體制造設(shè)備和核心部件的國產(chǎn)替代進(jìn)程。截至2021年6月30日，華卓精科共擁有198項(xiàng)專利以及1項(xiàng)專利獨(dú)占權(quán)，其中包括發(fā)明專利148項(xiàng)、實(shí)用新型43項(xiàng)、外觀設(shè)計(jì)2項(xiàng)、美國專利5項(xiàng)。因?yàn)橹祆鲜乔迦A大學(xué)的長(zhǎng)聘教授，華卓精科與清華大學(xué)存在較為密切的技術(shù)交流、合作。上會(huì)稿寫道，華卓精科承接了清華大學(xué)原發(fā)技術(shù)積累，并在報(bào)告期內(nèi)委托清華大學(xué)進(jìn)行了65nm雙工件臺(tái)關(guān)鍵技術(shù)測(cè)試開發(fā)項(xiàng)目。華卓精科與清華大學(xué)作為共同專利權(quán)人擁有的專利共計(jì)162項(xiàng)，其中協(xié)議轉(zhuǎn)讓方式獲取的專利115項(xiàng)、委托開發(fā)方式獲取的專利30項(xiàng)、合作研發(fā)方式獲取的專利17項(xiàng)，清華大學(xué)授權(quán)華卓精科獨(dú)占實(shí)施許可的專利1項(xiàng)。

研發(fā)團(tuán)隊(duì)占比超30%2名核心技術(shù)人員系清華兼職

華卓精科研發(fā)人員共有133人，占員工總數(shù)比例為33.08%。核心技術(shù)人員共有7人，分別為朱煜、張鳴、楊鵬遠(yuǎn)、陳靜、張利、張豹和劉效巖，其中朱煜和張鳴為華卓精科原有核心技術(shù)人員。朱煜2001年于中國礦業(yè)大學(xué)獲機(jī)械設(shè)計(jì)及理論專業(yè)博士學(xué)位。畢業(yè)后，朱煜曾先后于中國礦業(yè)大學(xué)和清華大學(xué)從事教學(xué)和博士后工作。2004年10月至今，朱煜為清華大學(xué)教授，也是科技部重點(diǎn)領(lǐng)域創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人及國家02科技重大專項(xiàng)技術(shù)副總師。此外，朱煜在全球擁有授權(quán)專利227項(xiàng)，其中發(fā)明專利173項(xiàng)；他還發(fā)表了200余篇論文，出版專著2本。2007年和2016年，朱煜曾在北京七星華創(chuàng)電子和北方華創(chuàng)任獨(dú)立董事；2012年5月至2015年7月，他任華卓有限董事長(zhǎng)兼總經(jīng)理；2015年8月至2015年9月，朱煜為華卓精科董事長(zhǎng)；2015年9月至今，他擔(dān)任華卓精科董事、首席科學(xué)家。值得一提的是，朱煜也是國產(chǎn)CMP廠商華海清科的股東，擁有華海清科4.98%的股份。

張明2005年于清華大學(xué)獲機(jī)械工程專業(yè)博士學(xué)位。1999年3月至2000年7月，他在中國運(yùn)載火箭技術(shù)研究院任助理工程師；2005年7月，張鳴在清華大學(xué)任博士后、助理研究員、副研究員等職。2017年8月，張鳴任華卓精科技術(shù)顧問；2018年2月起，他開始擔(dān)任華卓精科董事。張鳴曾參與過國家重大專項(xiàng)、973計(jì)劃、863計(jì)劃等6項(xiàng)國家級(jí)項(xiàng)目，發(fā)表論文66篇，其中SCI期刊收錄17篇。目前，張鳴擁有國家授權(quán)專利164項(xiàng)，其中發(fā)明專利147項(xiàng)。當(dāng)前朱煜、張鳴已取得清華大學(xué)兼職批復(fù)，作為兼職人員在華卓精科任職。兩人也承諾，如果華卓精科順利上市，其將繼續(xù)向清華大學(xué)辦理兼職批復(fù)，繼續(xù)從事兼職工作；如果未能取得清華大學(xué)同意兼職的批復(fù)，則將從清華大學(xué)辦理離職手續(xù)并全職在華卓精科工作。

朱煜實(shí)際控股比例過半

根據(jù)上會(huì)稿，朱煜直接持有華卓精科35.72%的股份，他還通過艾西科技和艾西博銳持有5.45%的股份。而華卓精科的徐登峰、張鳴、楊開明、尹文生、胡金春、穆海華、成榮7名股東合計(jì)持有13.06%的公司股份，并于與朱煜保持一致行動(dòng)關(guān)系。所以朱煜實(shí)際控制的股份比例為54.23%，是華卓精科的實(shí)際控制人和控股股東。此外，持有華卓精科股份比例超過5%的股東還有水木愿景和水木長(zhǎng)風(fēng)兩家公司，持股比例分別為8.75%和6.78%。華卓精科董事長(zhǎng)吳勇為水木愿景、水木長(zhǎng)風(fēng)和吳勇本人推薦擔(dān)任。

結(jié)語：產(chǎn)學(xué)合作填補(bǔ)空白需要面對(duì)多領(lǐng)域巨頭競(jìng)爭(zhēng)

與此前過會(huì)的華海清科類似，華卓精科也是依托于清華大學(xué)的技術(shù)積累，并通過“產(chǎn)學(xué)研用”模式，將學(xué)術(shù)成果轉(zhuǎn)化為商用化產(chǎn)品，填補(bǔ)了我國光刻機(jī)工件臺(tái)這一半導(dǎo)體核心部件的空白。因此，華卓精科如果能夠上市成功，對(duì)我國光刻機(jī)的國產(chǎn)替代有著積極意義。但同時(shí)，華卓精科的產(chǎn)品業(yè)務(wù)較多，部分產(chǎn)品尚未規(guī)?；慨a(chǎn)，能否在這些已經(jīng)比較成熟的行業(yè)獲得成功仍需觀望。