HKMG

HKMG(high-k絕緣層+金屬柵極) HKMG的優(yōu)勢和缺點 優(yōu)勢：不管使用Gate-first和Gate-last哪一種工藝，制造出的high-k絕緣層對提升晶體管的性能均有重大的意義。high-k技術不...... [查看詳細]