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MEMS硅膜電容式氣象壓力傳感器的研制

　　1 引言　　大氣壓力傳感器在工業(yè)生產(chǎn)、氣象預(yù)報、氣候分析、環(huán)境監(jiān)測、航空航天等方面發(fā)揮著不可替代的作用。傳統(tǒng)的壓力傳感器一般為機(jī)械式，體積比較大，不利于微型化和集成化。利用MEMS技術(shù)不僅可以解決上述缺點，還能極大地降低成本，而性能更為優(yōu)異。如今基于MEMS技術(shù)得到廣泛應(yīng)用的壓力傳感器主要有壓阻式和電容式兩大類，壓阻式壓力傳感器的線性度很好，但精度一般，溫漂大，一致性差;電容式壓力傳感器與之相比，精度更高，溫漂小，芯片結(jié)構(gòu)更具魯棒性，但線性度差且易受寄生電容的影響。目前MEMS電容式壓力傳感器多用
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MEMS固態(tài)風(fēng)速風(fēng)向傳感器的設(shè)計與制作

　　1 引言　　風(fēng)速及風(fēng)向的測量是氣象觀測中重要的一環(huán)。風(fēng)速風(fēng)向可以基于流體力學(xué)原理、熱學(xué)原理、聲學(xué)原理和仿生學(xué)原理來測量。熱式測風(fēng)儀基于風(fēng)對熱體的對流作用來測量風(fēng)速和風(fēng)向，其存在一個精密的熱源，通過把兩對相對的熱源與熱電偶正交放置測量風(fēng)向。超聲測風(fēng)儀可以同時進(jìn)行超聲波的發(fā)射和接收，基于多普勒效應(yīng)測量風(fēng)速，用三個或者四個探頭根據(jù)三角關(guān)系測量風(fēng)向信息?；贛EMS技術(shù)傳感器有體積小、重量輕及成本低的特點，基于MEMS技術(shù)的風(fēng)速和風(fēng)向測量傳感器受到了研究者的重視。　　本文介紹了基于MEMS的固態(tài)風(fēng)速風(fēng)
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MEMS傳感器進(jìn)駐汽車發(fā)動機(jī)

　　近年來，從半導(dǎo)體集成電路(IC)技術(shù)發(fā)展而來的MEMS (微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)日漸成熟。利用這一技術(shù)可以制作各種性能敏感的力學(xué)量、磁學(xué)量、熱學(xué)量、化學(xué)量和微生物的微型傳感器，這些傳感器的體積和能耗小，可實現(xiàn)許多全新的功能，便于大批量和高精度生產(chǎn)，單件成本低，易構(gòu)成大規(guī)模和多功能陣列，這些特點使得它們非常適合于汽車方面的應(yīng)用。 MEMS將成為汽車傳感器的主流技術(shù) 　　20世紀(jì)80年代微型加速度傳感器開始用于汽車安全氣囊，它們是到目前為止大量生產(chǎn)的、并在汽車中得到廣泛應(yīng)用的微型傳感器。然而微型傳感器的
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MEMS機(jī)油壓力傳感器可靠性研究

1 引言　　MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專用的微機(jī)電加工方法的基礎(chǔ)上蓬勃發(fā)展起來的高新技術(shù)，用MEMS技術(shù)研制的壓力傳感器具有體積小、重量輕、響應(yīng)快、靈敏度高、易于批量生產(chǎn)、成本低的優(yōu)勢，它們已經(jīng)開始逐步取代基于傳統(tǒng)機(jī)電技術(shù)的壓力傳感器。目前已有多種MEMS壓力傳感器應(yīng)用到了汽車電子系統(tǒng)中，如發(fā)動機(jī)共軌壓力、機(jī)油壓力、歧管空氣進(jìn)氣壓力、汽車胎壓壓力等。其中機(jī)油壓力傳感器是用于測量汽車發(fā)動機(jī)油壓力的重要傳感器，其可靠性直接關(guān)系到汽車和人的安全性。本文選用MEMS壓力芯片，成功開發(fā)出汽車發(fā)動機(jī)機(jī)油壓力傳
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汽車MEMS傳感器應(yīng)用及發(fā)展

摘要：本文通過大量的文獻(xiàn)資料，評述汽車MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器的應(yīng)用現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢，其中重點介紹幾種傳感器的原理和結(jié)構(gòu)，同時對該領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)化也進(jìn)行了探討。關(guān)鍵詞：汽車傳感器、微機(jī)電系統(tǒng)、力敏器件。一、引言　　MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專用的微機(jī)電加工方法的基礎(chǔ)上蓬勃發(fā)展起來的高新科技，其研究開發(fā)主要集中在微傳感器、微執(zhí)行器和微系統(tǒng)三個方面，目前主導(dǎo)MEMS市場的傳感器已形成產(chǎn)業(yè)。用此技術(shù)研制的五花八門的微傳感器具有體積小、質(zhì)量輕、響應(yīng)快、靈敏度高、易生產(chǎn)、成本低的優(yōu)勢，可以測量各種物理
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傳統(tǒng)半導(dǎo)體廠商對MEMS的思考

最近幾年來MEMS（Micro Electro MECHANICAL Systems）技術(shù)在國內(nèi)外得到了迅猛的發(fā)展，MEMS產(chǎn)品已經(jīng)有了開拓性的應(yīng)用，MEMS產(chǎn)業(yè)鏈將會迅速掘起，預(yù)計2007年全球MEMS元器件銷售總額將突破70億美元。
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傳感器：與IC趨于集成MEMS遍及高端

汽車電子控制系統(tǒng)的“正常運(yùn)轉(zhuǎn)”離不開傳感器的保駕護(hù)航，通過傳感器可將各種諸如壓力、流量、位置、高度、距離、速度、轉(zhuǎn)速、溫度等信號傳遞到動力系統(tǒng)、安全系統(tǒng)等控制單元，達(dá)到汽車正常駕駛的目的。
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三軸加速度計在水下結(jié)構(gòu)振動測試中的應(yīng)用

電子產(chǎn)品世界,為電子工程師提供全面的電子產(chǎn)品信息和行業(yè)解決方案,是電子工程師的技術(shù)中心和交流中心,是電子產(chǎn)品的市場中心,EEPW 20年的品牌歷史,是電子工程師的網(wǎng)絡(luò)家園
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飛思卡爾建成先進(jìn)的200-mm MEMS生產(chǎn)線

　　飛思卡爾半導(dǎo)體建成先進(jìn)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)200-mm(8-inch)生產(chǎn)線來滿足不斷增長的傳感器市場需求。這套新生產(chǎn)線是在飛思卡爾設(shè)在德克薩斯州奧斯汀的Oak Hill Fab建成的，是對公司在日本仙臺的現(xiàn)有150-mm(6-inch) MEMS生產(chǎn)線的補(bǔ)充。　　隨著MEMS傳感器市場的持續(xù)增長，大批量MEMS生產(chǎn)技術(shù)仍顯得至關(guān)重要。飛思卡爾在生產(chǎn)基于MEMS的傳感器方面已有25年以上的歷史，是業(yè)界領(lǐng)先的大批量傳感器提供商，可提供全面的加速、壓力和接近傳感器。借助可實現(xiàn)全面的傳感、控制、連接
關(guān)鍵字：飛思卡爾半導(dǎo)體 MEMS MCU和嵌入式微處理器

市場分析：大陸傳感器產(chǎn)業(yè)面臨新發(fā)展

　　中國傳感器近年來，通過技術(shù)引進(jìn)與改造，中國大陸敏感元件及傳感器業(yè)已形成一定的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)與生產(chǎn)能力，MEMS等5項新型傳感器已列入研究開發(fā)的重點。據(jù)信息產(chǎn)業(yè)部科技情報研究所編制的《2006～2007年中國電子廠商名錄》統(tǒng)計，目前中國大陸有455個從事敏感元件及傳感器生產(chǎn)的廠商，所涉及企業(yè)多達(dá)1,400多家，呈現(xiàn)出良好的發(fā)展態(tài)勢，但綜合實力較強(qiáng)的骨干企業(yè)較少。目前，能批量生產(chǎn)的產(chǎn)品涉及光敏、電壓敏、熱敏、力敏、氣敏、磁敏和濕敏7大類，約3,000多個品種。據(jù)中國電子元件協(xié)會統(tǒng)計，2006年中國大陸傳感器產(chǎn)品
關(guān)鍵字：傳感器 MEMS 傳感器執(zhí)行器

高通公司為韓國KTF提供低功耗顯示技術(shù)

　　美國高通公司的全資子公司高通MEMS技術(shù)有限公司今天宣布，韓國KT Freetel(KTF)公司宣布選擇高通公司基于MEMS的 mirasol ™顯示技術(shù)用于其SHOW WCDMA監(jiān)控系統(tǒng)。KTF是韓國最大的電信運(yùn)營商之一，也是韓國首家WCDMA無線運(yùn)營商。KTF公司和高通公司將在2008年國際消費(fèi)電子展的高通公司合作伙伴展區(qū)(南3號館，展位號30340)上展示該SHOW監(jiān)控系統(tǒng)。　　KTF的SHOW監(jiān)控系統(tǒng)利用3G WCDMA將SHOW攝像裝置拍攝的實況視頻傳輸?shù)街付ǖ囊苿与娫?，是進(jìn)
關(guān)鍵字：高通 MEMS KTF 音視頻技術(shù)

新型傳感器研發(fā)呈現(xiàn)的五大特點

　　當(dāng)今世界發(fā)達(dá)國家對傳感器技術(shù)發(fā)展極為重視，視為涉及國家安全、經(jīng)濟(jì)發(fā)展和科技進(jìn)步的關(guān)鍵技術(shù)之一，將其列入國家科技發(fā)展戰(zhàn)略計劃之中。因此，近年來傳感技術(shù)迅速發(fā)展，傳感器新原理、新材料和新技術(shù)的研究更加深入、廣泛，傳感器新品種、新結(jié)構(gòu)、新應(yīng)用不斷涌現(xiàn)、層出不窮。　　微型化速度加快　　值得特別關(guān)注的是近年來隨著集成微電子機(jī)械加工技術(shù)的日趨成熟，傳感器制作技術(shù)進(jìn)入了一個展新階段。微電子技術(shù)和微機(jī)械技術(shù)相結(jié)合，器件結(jié)構(gòu)從二維到三維，實現(xiàn)進(jìn)一步微型化、微功耗，并研究把傳感器送入人體，進(jìn)入血管，研究稱分子的重
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加速度計與MEMS明日之星

　　微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)在發(fā)展了近四十年后，近來因為游戲機(jī)(Wii、PS3)、手機(jī)(iPhone)、MP3(iPod touch)等消費(fèi)性電子產(chǎn)品的應(yīng)用，終于劃下時代性的一刻，成功打入產(chǎn)量最大的消費(fèi)性市場。這對于微機(jī)電產(chǎn)業(yè)來說無疑是值得慶賀的時刻，因為有太多的研發(fā)心力已投入這項將微機(jī)械與微電子工程融合的微機(jī)電設(shè)計訴求之上，如今總算看到令人欣慰的一些成果。　　當(dāng)然，這仍然只是MEMS進(jìn)軍更廣泛市場的一個開端，打開這個市場的功臣即是加速度計(accelerometer)。在本文中將會對加速度計的技術(shù)及應(yīng)
關(guān)鍵字： 0712_A 雜志_技術(shù)長廊 MEMS 微機(jī)電系統(tǒng) 嵌入式

ST 4 x 4mm模擬輸出加速計自由度更高

世界領(lǐng)先的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）器件供應(yīng)商意法半導(dǎo)體（紐約證券交易所代碼：STM）今天公布一個新的三軸模擬輸出傳感器解決方案，進(jìn)一步加強(qiáng)了該公司的尺寸極小的“低g”線性加速計的產(chǎn)品陣容。新產(chǎn)品LIS344AL是一個注重成本的MEMS解決方案，在電路板上的占位面積非常小，功耗低，特別適合電池供電和空間受限制的便攜設(shè)備，如手機(jī)、便攜媒體播放器、PDA或遙控器。新產(chǎn)品在一個封裝內(nèi)整合了一個強(qiáng)健的三軸MEMS傳感器和一個CMOS接口芯片，不論設(shè)備的方位如何，三軸傳感功能都能提供傾斜和運(yùn)動的信息。 LIS344A
關(guān)鍵字： ST 模擬輸出加速計 MEMS 消費(fèi)電子消費(fèi)電子

MEMS振蕩器101(圖)

關(guān)鍵字： MEMS 101 振蕩器

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mems 介紹

MEMS是微機(jī)電系統(tǒng)的縮寫。MEMS主要包括微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應(yīng)的處理電路等幾部分，它是在融合多種微細(xì)加工技術(shù)，并應(yīng)用現(xiàn)代信息技術(shù)的最新成果的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的高科技前沿學(xué)科。 MEMS技術(shù)的發(fā)展開辟了一個全新的技術(shù)領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè)，采用MEMS技術(shù)制作的微傳感器、微執(zhí)行器、微型構(gòu)件、微機(jī)械光學(xué)器件、真空微電子器件、電力電子器件等在航空、航天、汽車、生物醫(yī)學(xué)、環(huán)境監(jiān)控、軍事以及幾 [ 查看詳細(xì) ]