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基于硅納米波導(dǎo)倏逝場(chǎng)耦合的超緊湊光學(xué)式MEMS加速度計(jì)

近些年，MEMS加速度計(jì)因其體積小、功耗低、易于與互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體晶體管集成電路（CMOS IC）整合而受到持續(xù)關(guān)注。目前已經(jīng)開發(fā)了電容、壓阻、壓電、光學(xué)等原理的加速度計(jì)，以檢測(cè)輸入加速度引起的檢測(cè)質(zhì)量塊位移。在這些技術(shù)中，光學(xué)方案已被證明具有更高的精度和穩(wěn)定性，并且不會(huì)受到電磁干擾（EMI）。近些年，MEMS加速度計(jì)因其體積小、功耗低、易于與互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體晶體管集成電路（CMOS IC）整合而受到持續(xù)關(guān)注。目前已經(jīng)開發(fā)了電容、壓阻、壓電、光學(xué)等原理的加速度計(jì)，以檢測(cè)輸入加速度引起的檢測(cè)質(zhì)量塊位
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微流控電阻抗檢測(cè)系統(tǒng)，用于細(xì)胞無(wú)標(biāo)記即時(shí)檢測(cè)

基于電阻抗的細(xì)胞分析是一種無(wú)標(biāo)記、非侵入性技術(shù)，已廣泛用于分析和識(shí)別各種應(yīng)用中的細(xì)胞特征，如組織培養(yǎng)、細(xì)胞生長(zhǎng)及活力檢測(cè)等。微流控技術(shù)能夠?qū)⑸婕皹悠分苽?、操作和基于阻抗檢測(cè)的分析過(guò)程集成到單片芯片上，最大限度地減少系統(tǒng)尺寸、重量。據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，近期，中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所的研究人員于《功能材料與器件學(xué)報(bào)》發(fā)表論文，搭建了一種簡(jiǎn)便的微流控電阻抗檢測(cè)系統(tǒng)，可根據(jù)電學(xué)差異對(duì)體積相近的不同微粒進(jìn)行區(qū)分，具有成本低、易集成、非標(biāo)記等優(yōu)勢(shì)，未來(lái)可進(jìn)一步用于現(xiàn)場(chǎng)細(xì)胞即時(shí)檢測(cè)。微流控芯片的設(shè)計(jì)與制作采用
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慣性傳感器+類卡爾曼誤差補(bǔ)償，預(yù)測(cè)AR/VR設(shè)備方向

增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)（AR）和虛擬現(xiàn)實(shí)（VR）技術(shù)近年在產(chǎn)業(yè)界和學(xué)術(shù)界吸引了極高的關(guān)注度，它們豐富了現(xiàn)實(shí)世界環(huán)境，或用模擬環(huán)境替代現(xiàn)實(shí)世界。然而，AR/VR設(shè)備存在的端到端延遲會(huì)嚴(yán)重影響用戶體驗(yàn)。尤其是動(dòng)顯延遲（Motion-to-photons latency，定義為從用戶發(fā)生動(dòng)作到該動(dòng)作觸發(fā)的反饋顯示在屏幕上所需要的時(shí)間），它是限制AR/VR應(yīng)用的主要挑戰(zhàn)之一。例如，動(dòng)顯延遲高于20 ms就會(huì)導(dǎo)致用戶惡心或眩暈。因此，減少動(dòng)顯延遲對(duì)于改善用戶的虛擬體驗(yàn)至關(guān)重要。減少動(dòng)顯延遲的一種常見方法是通過(guò)預(yù)判用戶的移動(dòng)來(lái)預(yù)測(cè)
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睿感（ScioSense）推出基于CMOS-MEMS工藝的單芯片壓力傳感器

荷蘭埃因霍溫，中國(guó) 濟(jì)南，2022年11月15日——業(yè)界領(lǐng)先的環(huán)境和高精度流量和時(shí)間測(cè)量傳感芯片廠商睿感（ScioSense）今日宣布，推出采用緊湊型封裝的內(nèi)置溫度傳感器的超低功耗壓力傳感器--ENS220，可提供卓越的測(cè)量速度、分辨率和精度。 ENS220將在慕尼黑電子展（electronica，11月15-18日慕尼黑）B3.419號(hào)ScioSense展臺(tái)展出。該傳感器采用業(yè)界主流的2.0mm×2.0mm尺寸LGA封裝，適用于移動(dòng)設(shè)備和可穿戴設(shè)備，如智能手表和腕帶、GPS導(dǎo)航系
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基于紅外熱釋電效應(yīng)的微型NDIR CO2傳感器，可在不同溫度、濃度下精確測(cè)量

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，近日，中北大學(xué)譚秋林教授團(tuán)隊(duì)在《中國(guó)激光》期刊上發(fā)表了題為“雙通道非分光紅外CO2氣體傳感器設(shè)計(jì)與測(cè)試”的最新論文，文中設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了一種微型雙通道非分光紅外（NDIR）CO2氣體傳感器，采用標(biāo)準(zhǔn)氣體濃度標(biāo)定傳感器的方法，實(shí)現(xiàn)了傳感器的溫度補(bǔ)償，使其能夠在不同溫度與不同濃度的環(huán)境下進(jìn)行精確測(cè)量?；诩t外吸收原理的氣體傳感器具有選擇性高的突出優(yōu)勢(shì)，但面臨集成度不高、尺寸大、精度低以及核心部件依賴進(jìn)口等問題。國(guó)內(nèi)目前普遍采用進(jìn)口傳感器，或者購(gòu)入半成品二次加工。近年來(lái)，在各大研究機(jī)構(gòu)與高校的努力下
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基于傳感器內(nèi)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的模擬-信息轉(zhuǎn)換技術(shù)，可顯著降低傳感器功耗

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，近日，亞利桑那州立大學(xué)（Arizona State University）介紹了一種片上模擬-信息轉(zhuǎn)換技術(shù)，該技術(shù)利用基于儲(chǔ)層計(jì)算范式的模擬超維計(jì)算，在本地傳感器內(nèi)處理心電圖（electrocardiograph，ECG）信號(hào)，并將射頻（RF）傳輸減少三個(gè)數(shù)量級(jí)以上。片上模擬-信息轉(zhuǎn)換器不是傳輸稀疏的ECG信號(hào)或提取的特征，而是通過(guò)一個(gè)附有人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的非線性存儲(chǔ)內(nèi)核來(lái)分析ECG信號(hào)，并傳輸預(yù)測(cè)結(jié)果。所開發(fā)的技術(shù)被證明可用于檢測(cè)敗血癥發(fā)作，并實(shí)現(xiàn)了超高的準(zhǔn)確度和能效，同時(shí)使用65nm C
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基于三重采樣Δ-Σ ADC的數(shù)字電容式MEMS麥克風(fēng)，可有效提高信噪比

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，近期，韓國(guó)首爾國(guó)立大學(xué)（Seoul National University）開發(fā)了一種基于三重采樣Δ-Σ ADC的數(shù)字電容式MEMS麥克風(fēng)，其中的讀出電路采用0.18μm CMOS工藝制造，面積為0.98mm2，在94dBSPL、520μA電流消耗下，A加權(quán)信噪比（SNR）為62.1dBA，三重采樣可提高4.5dBA的信噪比。MEMS麥克風(fēng)已經(jīng)成為智能手機(jī)和平板電腦的標(biāo)配，也廣泛應(yīng)用于汽車和醫(yī)療設(shè)備中。與駐極體電容式麥克風(fēng)（ECM）相比，MEMS麥克風(fēng)更易于集成、更可保證性能一致性且尺寸
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微小型近紅外光譜儀及其應(yīng)用

近些年，近紅外光譜分析技術(shù)得到了迅猛發(fā)展，該技術(shù)可直接對(duì)氣體、液體和固體等各種復(fù)雜混合物進(jìn)行定性和定量分析，具有分析速度快、效率高，可實(shí)現(xiàn)無(wú)損和在線分析等優(yōu)勢(shì)，在科研和工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)中發(fā)揮著越來(lái)越重要的作用。近紅外光譜分析儀的微小型化是一個(gè)重要的發(fā)展方向，近期出現(xiàn)了眾多不同類型的商品化微小型近紅外光譜儀器。手持式或便攜式現(xiàn)場(chǎng)快速分析是一種更經(jīng)濟(jì)、更高效、更靈活的方法，具有小體積、低功耗、低成本、便于二次開發(fā)等優(yōu)點(diǎn)，在農(nóng)業(yè)、食品、醫(yī)藥、石油化工和安全等眾多領(lǐng)域獲得了廣泛的研究與應(yīng)用。物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)在智能農(nóng)業(yè)、智能工
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如何用MEMS仿真模型設(shè)計(jì)地震儀

由于地震傳感器網(wǎng)絡(luò)分布較少（或有限），地震事件的表征和監(jiān)測(cè)之間可能會(huì)發(fā)生延遲。解決這一問題的其中一種方法是使用基于MEMS的地震傳感器作為傳統(tǒng)傳感網(wǎng)絡(luò)的補(bǔ)充。MEMS傳感器體積小，價(jià)格實(shí)惠，適用于局部監(jiān)測(cè)，也可以提高地震監(jiān)測(cè)能力。無(wú)論在哪一年，全世界大約都會(huì)發(fā)生16次大地震，其中15次是7級(jí)，1次是8級(jí)或8級(jí)以上的地震[1]。因此，地震早期預(yù)警(EEW)系統(tǒng)的需求量很大。由日本氣象廳(JMA)管理的覆蓋全國(guó)的EEW系統(tǒng)[2]從2006年開始運(yùn)行。地震臺(tái)網(wǎng)由1000個(gè)間隔20至25公里的地震臺(tái)組成。在201
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漲知識(shí)了！MEMS也可以用來(lái)監(jiān)測(cè)地震

摘要：泛林集團(tuán)如何利用MEMS+?仿真模型設(shè)計(jì)地震儀無(wú)論在哪一年，全世界大約都會(huì)發(fā)生16次大地震，其中15次是7級(jí)，1次是8級(jí)或8級(jí)以上的地震[1]。因此，地震早期預(yù)警(EEW)系統(tǒng)的需求量很大。由日本氣象廳(JMA)管理的覆蓋全國(guó)的EEW系統(tǒng)[2]從2006年開始運(yùn)行。地震臺(tái)網(wǎng)由1000個(gè)間隔20至25公里的地震臺(tái)組成。在2011年日本東北9.1級(jí)地震之后，日本氣象廳收集了關(guān)于EEW系統(tǒng)的反饋：人們對(duì)地震預(yù)警系統(tǒng)表示熟悉，并發(fā)現(xiàn)它們很有用；參與者對(duì)JMA EEW系統(tǒng)的功效普遍給予了正面反饋，即使有假警報(bào)
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MEMS傳感器在電子煙中的應(yīng)用

電子煙不含焦油及懸浮顆粒等有害成分，隨著人們健康意識(shí)的提升，抽電子煙正成為一種趨勢(shì)。并且，電子煙的煙油可以加入不同成分的調(diào)味劑進(jìn)行調(diào)味，用戶可以根據(jù)自己的喜好選擇煙油的口味。電子煙及MEMS電子煙不含焦油及懸浮顆粒等有害成分，隨著人們健康意識(shí)的提升，抽電子煙正成為一種趨勢(shì)。并且，電子煙的煙油可以加入不同成分的調(diào)味劑進(jìn)行調(diào)味，用戶可以根據(jù)自己的喜好選擇煙油的口味。MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）一般指微機(jī)電系統(tǒng)，是在微米級(jí)尺寸上進(jìn)行精密微加工，制作形成各種類型的微傳
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ADI發(fā)布新款MEMS：從技術(shù)出發(fā)，改變生活

　　我們常常聽到一句話“科技改變生活”，在智能化數(shù)字化的今天，形形色色的硬件設(shè)備無(wú)時(shí)無(wú)刻不在改變著我們的生活。而在生活中常見的運(yùn)動(dòng)手表、汽車傳感器、災(zāi)害預(yù)警系統(tǒng)內(nèi)，MEMS傳感器是必不可少的器件之一?！　∧敲吹降资裁词荕EMS？MEMS即微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS,Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技半導(dǎo)體裝置。微機(jī)電系統(tǒng)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級(jí)，是一個(gè)獨(dú)立的智能系統(tǒng)。8月29日，在ADI的MEMS新品媒
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MEMS麥克風(fēng)已成消費(fèi)市場(chǎng)的主流產(chǎn)品選擇

麥克風(fēng)已經(jīng)是眾多電子產(chǎn)品中內(nèi)置的標(biāo)準(zhǔn)器件，從可穿戴設(shè)備到家庭助理，越來(lái)越多的設(shè)備被要求“聽到”它們的環(huán)境，并隨之做出相對(duì)的反應(yīng)。本文將全面概述麥克風(fēng)類型和基本原理，以及CUI Devices微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）麥克風(fēng)的產(chǎn)品特性。ECM和MEMS麥克風(fēng)的技術(shù)差異隨著麥克風(fēng)應(yīng)用的增加，對(duì)麥克風(fēng)的靈敏度和體積的要求也越來(lái)越高。目前用來(lái)構(gòu)建麥克風(fēng)的兩種最常見的技術(shù)是MEMS和駐極體電容，以下將先介紹MEMS和駐極體電容麥克風(fēng)（ECM）的基礎(chǔ)知識(shí)，比較技術(shù)之間的差異，并概述每種解決方案的優(yōu)勢(shì)。MEMS麥克風(fēng)由放置
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ST發(fā)布多款新型MEMS傳感器，突破性能功耗比，解鎖可穿戴應(yīng)用新場(chǎng)

意法半導(dǎo)體即將發(fā)布一系列具有更高的性能功耗比的新型傳感器。LSM6DSV16X是具有機(jī)器學(xué)習(xí)內(nèi)核的MEMS慣性傳感器的最新成員，具有更高精確度和更低功耗。此外，Qvar靜電感測(cè)也首次集成于這類器件，能夠監(jiān)測(cè)環(huán)境靜電電荷的變化。我們同時(shí)還發(fā)布了首款雙滿量程壓力傳感器：LPS22DF和LPS28DFW，功耗低至1.7 μA，絕對(duì)精度達(dá)到0.5 hPa；三軸加速度計(jì)LIS2DU12，功耗僅為0.45 μA。 LSM6DSV16X便攜式設(shè)備呼喚更高效的慣性傳感器盡管手機(jī)攝像頭的圖像質(zhì)量在不斷提升，制造商仍面臨
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淺析基于量子成像的下一代甚高靈敏度圖像傳感器技術(shù)

高靈敏度探測(cè)成像是空間遙感應(yīng)用中的一個(gè)重要技術(shù)領(lǐng)域，如全天時(shí)對(duì)地觀測(cè)、空間暗弱目標(biāo)跟蹤識(shí)別等應(yīng)用，對(duì)于甚高靈敏度圖像傳感器的需求日益強(qiáng)烈。隨著固態(tài)圖像傳感器技術(shù)水平的不斷提高，尤其背照式及埋溝道等工藝的突破，使得固態(tài)圖像傳感器的靈敏度有了極大提升。固態(tài)高靈敏圖像傳感器，尤其是科學(xué)級(jí)CMOS圖像傳感器，憑借其體積小、集成度高及功耗低等優(yōu)勢(shì)，在空間高靈敏成像領(lǐng)域的應(yīng)用中異軍突起。盡管科學(xué)級(jí)CMOS圖像傳感器可以實(shí)現(xiàn)低照度高靈敏成像，但還遠(yuǎn)未達(dá)到單光子探測(cè)的輻射分辨能力。量子CMOS圖像傳感器的出現(xiàn)，對(duì)于拓寬空
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MEMS是微機(jī)電系統(tǒng)的縮寫。MEMS主要包括微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應(yīng)的處理電路等幾部分，它是在融合多種微細(xì)加工技術(shù)，并應(yīng)用現(xiàn)代信息技術(shù)的最新成果的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的高科技前沿學(xué)科。 MEMS技術(shù)的發(fā)展開辟了一個(gè)全新的技術(shù)領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè)，采用MEMS技術(shù)制作的微傳感器、微執(zhí)行器、微型構(gòu)件、微機(jī)械光學(xué)器件、真空微電子器件、電力電子器件等在航空、航天、汽車、生物醫(yī)學(xué)、環(huán)境監(jiān)控、軍事以及幾 [ 查看詳細(xì) ]